技术特征：
技术总结
本发明提供一种冷却装置、单晶炉和晶棒的冷却方法。冷却装置包括：第一冷却件、温度检测装置、驱动装置和控制装置。所述温度检测装置用于检测所述晶棒的温度信息。所述控制装置用于根据温度检测装置检测的温度信息，判断所述第一冷却件是否环绕所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分。所述控制装置还用于根据温度检测装置检测的温度信息控制驱动装置以驱动所述第一冷却件移动，以使所述第一冷却件环绕所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分。其中，所述晶棒的点缺陷析出长大的温度在所述预定温度区间内。本发明通过第一冷却件吸热冷却所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分，可以避免晶棒内的点缺陷析出长大形成微缺陷。
技术研发人员：赵向阳
受保护的技术使用者：上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日：2017.06.07
技术公布日：2018.12.14