多晶硅生产用的硅芯结构的制作方法

文档序号:18082947发布日期:2019-07-06 10:14阅读:512来源:国知局
多晶硅生产用的硅芯结构的制作方法

本发明涉及一种硅芯结构,尤其是涉及一种多晶硅生产用的硅芯结构。



背景技术:

还原炉生产多晶硅用的硅芯结构一般为框状结构,包括第一硅芯、第二硅芯和横梁,第一硅芯和第二硅芯间隔且竖直设置,横梁搭接在第一硅芯和第二硅芯顶部,横梁利用钼丝绑定在第一硅芯和第二硅芯上。

但是,这种硅芯结构利用钼丝固定的方式,结构强度有限,经常在生长过程中倒棒,导致生产事故。



技术实现要素:

为解决上述技术问题,本发明旨在提供一种更为安全的多晶硅还原炉的硅芯结构。

本发明包括如下内容:一种多晶硅生产用的硅芯结构,其包括第一硅芯、第二硅芯和搭接第一硅芯和第二硅芯的横梁,还包括石墨连接件,石墨连接件包括固定第一硅芯的硅芯搭接部和固定横梁的横梁搭接部。

本发明的多晶硅生产用的硅芯结构采用石墨连接件连接第一硅芯和横梁,石墨连接件包括固定第一硅芯的硅芯搭接部和固定横梁的横梁搭接部,石墨连接件可以将第一硅芯和横梁稳定固定在一起,而且石墨连接件可以导电,保持多晶硅生产用的硅芯结构使用过程中的电流通过,减少倒棒率。

附图说明

图1为本发明实施方式一多晶硅生产用的硅芯结构的示意图。

图2为本发明实施方式二多晶硅生产用的硅芯结构的石墨连接件示意图。

图3为本发明实施方式三多晶硅生产用的硅芯结构的石墨连接件示意图。

图4为本发明实施方式四多晶硅生产用的硅芯结构的石墨连接件俯视图。

图5为本发明实施方式五多晶硅生产用的硅芯结构的石墨连接件俯视图。

图6为本发明实施方式六多晶硅生产用的硅芯结构的石墨连接件俯视图。

具体实施方式

为更好理解本发明所述的技术方案,现结合附图进一步详细说明。

请参见图1,本发明实施方式一的多晶硅生产用的硅芯结构包括第一硅芯101、第二硅芯102、横梁103和石墨连接件104。其中,第一硅芯101、第二硅芯102平行且间隔设置,横梁103架设在第一硅芯101、第二硅芯102顶端。石墨连接件104呈l形,本实施方式中数量为两个。每个石墨连接件104包括硅芯搭接部1041和与硅芯搭接部1041垂直的横梁搭接部1043。其中,硅芯搭接部1041内开设有硅芯搭接孔1042,横梁搭接部1043内开设有横梁搭接孔1044。

使用时,第一硅芯101和第二硅芯102竖直且间隔设置,横梁103置于第一硅芯101和第二硅芯102顶部。一个石墨连接件104设置在横梁103一端和第一硅芯101的交接处,第一硅芯101上端插入到石墨连接件104的硅芯搭接孔1042内固定,横梁103一端插入到横梁搭接孔1044内固定。同时,另外一个石墨连接件104设置在横梁103一端和第二硅芯102的交接处,第二硅芯102上端插入到石墨连接件104的硅芯搭接孔1042内固定,横梁103另一端插入到横梁搭接孔1044内固定。这样就利用石墨连接件104将第一硅芯101、第二硅芯102和横梁103固定在一起。本实施方式中,石墨连接件104的硅芯搭接孔1042和横梁搭接孔1044间隔设置,并不连通。使用过程中,第一硅芯101和第二硅芯102设置在电极上,通电之后,电流通过第一硅芯101、石墨连接件104、横梁103和第二硅芯102并发热,还原炉内的物料发生反应生成多晶硅沉积在第一硅芯101、石墨连接件104、横梁103和第二硅芯102上,并不断长大成为硅棒,最后开炉取出硅棒。

请参见图2,本发明实施方式二多晶硅生产用的硅芯结构的石墨连接件204的硅芯搭接孔2042贯穿石墨连接件204到外部,横梁搭接孔2044也贯穿石墨连接件204到外部。硅芯搭接孔2042和横梁搭接孔2044相连通。第一硅芯、第二硅芯和横梁可以穿透石墨连接件204。

请参见图3,本发明实施方式三多晶硅生产用的硅芯结构的石墨连接件304与实施方式二类似,其不同在于,横梁搭接孔3044也贯穿石墨连接件304到外部,硅芯搭接孔3042与横梁搭接孔3044垂直连通,并未延伸出石墨连接件304外。

以上实施方式中,第一硅芯、第二硅芯和横梁均为圆形,显然,硅芯搭接孔、横梁搭接孔也相应为圆形。当然,第一硅芯、第二硅芯和横梁也可以为方形,相应地,硅芯搭接孔、横梁搭接孔也为方形。

请参见图4,本发明实施方式四多晶硅生产用的硅芯结构的第一硅芯401、第二硅芯横截面为三角形,相应地,夹持硅芯的石墨卡瓣也相应为三角形状,将硅芯稳定夹持。三角形的硅芯可以方便制造。

请参见图5,本发明实施方式五多晶硅生产用的硅芯结构的第一硅芯、第二硅芯横截面为工字形,相应地,夹持硅芯的石墨卡瓣也相应为工字形,将硅芯稳定夹持。工字形的硅芯可以增加硅芯的表面积,提高硅棒生长速度。

请参见图6,本发明实施方式六多晶硅生产用的硅芯结构的第一硅芯、第二硅芯横截面为十字形,相应地,夹持硅芯的石墨卡瓣也相应为十字形,将硅芯稳定夹持。十字形的硅芯可以增加硅芯的表面积,提高硅棒生长速度。

本发明的多晶硅生产用的硅芯结构采用石墨连接件连接第一硅芯和横梁,石墨连接件包括固定第一硅芯的硅芯搭接部和固定横梁的横梁搭接部,石墨连接件可以将第一硅芯和横梁稳定固定在一起,而且石墨连接件可以导电,保持多晶硅生产用的硅芯结构使用过程中的电流通过,减少倒棒率。

综上所述,以上仅为本发明的较佳实施例而已,不应以此限制本发明的范围。即凡是依本发明权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰,皆应仍属本发明专利涵盖的范围内。



技术特征:

技术总结
一种多晶硅生产用的硅芯结构,其包括第一硅芯、第二硅芯和搭接第一硅芯和第二硅芯的横梁,还包括石墨连接件,石墨连接件包括固定第一硅芯的硅芯搭接部和固定横梁的横梁搭接部。本发明的多晶硅生产用的硅芯结构采用石墨连接件连接第一硅芯和横梁,石墨连接件包括固定第一硅芯的硅芯搭接部和固定横梁的横梁搭接部,石墨连接件可以将第一硅芯和横梁稳定固定在一起,而且石墨连接件可以导电,保持多晶硅生产用的硅芯结构使用过程中的电流通过,减少倒棒率。

技术研发人员:齐林喜;陈建宇;赵亮;郝爱科
受保护的技术使用者:内蒙古盾安光伏科技有限公司
技术研发日:2017.12.28
技术公布日:2019.07.05
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