1.一种多晶硅还原生产新型汽化器,其特征在于:包括汽化器(7),所述汽化器(7)分别连接还原炉和蒸汽加热装置,汽化器(7)包括管壳(71),在管壳(71)的两端分别安装有平盖管箱(72),在管壳(71)上方设有气体出口,管壳(71)下方设有液体入口,在管壳(71)的内部设有蒸汽换热U管(73)和还原尾气换热U管(74),所述蒸汽换热U管(73)和还原尾气换热U管(74)分别安装在管壳(71)两端平盖管箱(72)的管板上,蒸汽换热U管(73)的一端通过蒸汽进口管(3)连接蒸汽加热装置,另一端连接冷凝水出水管(4),还原尾气换热U管(74)的两端分别通过还原尾气进口管(5)和还原尾气出口管(6)连接还原炉,所述管壳(71)上方的气体出口通过气相三氯氢硅出口管(2)连接还原炉,管壳(71)下方的液体入口连接液相三氯氢硅进口管(1)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原生产新型汽化器,其特征在于:所述蒸汽换热U管(73)的长度大于还原尾气换热U管(74)的长度。
3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅还原生产新型汽化器,其特征在于:所述管壳(71)的内径与蒸汽换热U管(73)或还原尾气换热U管(74)的直径之比小于2。