一种尾排防堵装置及高温扩散炉的制作方法

本实用新型涉及高温扩散炉领域，尤其涉及一种尾排防堵装置及高温扩散炉。

背景技术：

高温扩散炉是国内太阳能行业的主要设备之一，由于客户生产工艺的改善，为达到提高硅片的转换效率的目的，在反应腔内通入的源会增加，导致反应腔内会产生一些固态颗粒随尾排一起排抽出。

现有高温扩散炉的尾排反应腔室内反应的气体和产生的一些固态颗粒（偏磷酸等）随尾排一起通过真空泵经冷却瓶抽出。由于尾排抽出气体在管道中冷却、冷凝会产生固态物质，例如固态偏磷酸，导致尾排接头、真空泵、阀等部件容易出现堵塞现象。

技术实现要素：

为解决以上问题，本实用新型提供了一种防止尾排堵塞的尾排防堵装置及高温扩散炉。

一种尾排防堵装置，包括依次设置的尾气管、冷却瓶和真空泵，所述冷却瓶收集尾气冷却后形成的物质，所述尾排防堵装置还包括氮气储罐和储水装置，所述氮气储罐与储水装置通过氮气管相互贯通密封连接，所述尾气管与储水装置通过进气管相互贯通密封连接，所述氮气管包括出气口，所述进气管包括进气口，所述出气口和进气口间隔设置于储水装置的液面上方；在真空泵提供的低压环境下，氮气管通入的氮气经过储水装置后，氮气携带水蒸气与尾气管的尾气汇合形成液态混合物，经过真空泵抽离排出。

优选地，所述进气管上设有开关阀。

优选地，所述储水装置底部设有加热装置。

一种高温扩散炉，包含如上所述的尾排防堵装置。

本实用新型的有益效果如下：

在传统的尾排装置处增加氮气储罐、储水装置，所述氮气储罐提供的氮气经过储水装置，氮气携带水蒸气与尾气交汇，起到降温冷凝作用，加之固态偏磷酸固体溶于水蒸气中，尾气中气体冷凝和固体溶解后形成液态混合物从尾排排出，不会造成堵塞，从而降低高温扩散炉堵塞故障的发生率，降低堵塞故障的维修成本和生产损失。该结构设计合理有效，实现简单，有利于增加设备利用率和延长高温扩散炉的使用寿命。

附图说明

下面结合附图，通过对本实用新型的具体实施方式详细描述，将使本实用新型的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为传统高温扩散炉尾排装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的尾排装置的结构示意图。

主要元件符号说明：

100、尾排防堵装置；10、尾气管；20、冷却瓶；30、真空泵；40、氮气储罐；45、氮气管；450、出气口；50、储水装置；51、进气管；510、进气口；60、开关阀；70、反应腔。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型所采取的技术手段及其效果，以下结合本实用新型的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参考图1，为传统高温扩散炉的尾排装置，包括依次设置的尾气管10、冷却瓶20及真空泵30，冷却瓶20收集尾气冷却后形成的物质。

请参考图2，为本实用新型的实施例的一种尾排防堵装置100，所述尾排防堵装置100在传统尾排装置的基础上增设氮气储罐40和储水装置50，所述氮气储罐40与储水装置50通过氮气管45相互贯通密封连接，所述尾气管10与储水装置50通过进气管51相互贯通密封连接，所述氮气管45包括出气口450，所述进气管51包括进气口510，所述出气口450和进气口510间隔设置于储水装置50的液面上方；所述进气口510进入的氮气和储水装置50液面上方存在的水蒸气混合，在气压差的作用下，进入进气管51。

具体地，所述储水装置50可以以玻璃瓶、不锈钢罐、塑料桶的形式存在，只要能蓄水和密封连接氮气管45和进气管51即可。

在真空泵30提供的低压环境下，氮气管45通入的氮气经过储水装置50后，携带储水装置50中的水蒸气进入进气管51，在进气管51与尾气管10的交汇处与尾气汇合，在水蒸气的冷凝降温作用下，尾气的一部分气体冷凝成液体物质，尾气中的偏磷酸类固体颗粒溶解于水蒸气中，形成液态混合物，经过真空泵30抽离至冷却瓶20排出。

优选地，所述进气管51上设有开关阀60。所述开关阀60用于控制进气管51进气的气流量大小。在使用状态时，所述开关阀60处于小流量开启状态，以使得氮气和水蒸气小流量地与尾气交汇形成液态混合物顺利排出，具体使用过程中，开关阀60的开启状态根据实际生产排出的尾气成分情况和进气管51的直径大小而定，以尾气冷却、溶解后不会固化凝结而以液态顺利流动排出为准。

具体地，所述储水装置50和尾气管10内的真空度需要根据实际生产和尾气成分情况进行调节。

优选地，所述储水装置50底部设有加热装置，所述加热装置加热储水装置50内的水以提供足量水蒸气，使得储水装置50内具有足够多的水蒸气溶解尾气中的偏磷酸固体颗粒和对尾气中的其他物质起到降温冷凝作用。

一种高温扩散炉，包含如上所述的尾排防堵装置100。所述高温扩散炉反应腔70制备单晶硅产品产生的气体和偏磷酸类固体颗粒经尾气管10排出至冷却瓶20。氮气储罐40内氮气经过储水装置50后携带水蒸气进入进气管51，在进气管51与尾气管10交汇处，氮气、水蒸气与尾气交汇，高温环境中的气体和偏磷酸类固体颗粒组成的热气流尾气在水蒸气降温冷凝作用和偏磷酸类固体颗粒溶解下，形成液态混合物，在真空泵30的抽动作用下，经过管道进入冷却瓶20排出炉体外，不会造成高温扩散炉的尾排堵塞，降低尾排堵塞引发的设备故障造成的维护成本和生产损失。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本实用新型的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。