用于清洁高温压头的磨石、清洁装置及清洁控制方法与流程

本发明涉及电子半导体技术领域，尤其涉及一种用于清洁高温压头的磨石、清洁装置及清洁控制方法。

背景技术：

高温压头在持续压合操作过程中，其表面会粘附一层胶状类异物。如图1所示，目前多采取间隔一段时间，使用的长条状或方块状的磨石10对高温压头20的端面进行摩擦清洁，但上述磨石10难以将摩擦作用力集中在高温压头端面的待清洁区域，清洁效果较差。并且，上述磨石10反复摩擦使用后的表面会形成凹陷，高温压头与磨石相互移动时会产生侧向摩擦作用力，减小了高温压头端面的接触压力，难以清除黏附较为顽固的胶状物，进而使得高温压头清洁不完全，造成产品异常，同时还会增加高温压头的磨损。

鉴于此，有必要提供一种新的磨石、清洁装置及清洁控制方法。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种磨石、清洁装置及清洁控制方法，能够对高温压头端面进行有效清洁，消除磨石与高温压头侧面之间的摩擦作用力，以保证正常生产。

为实现上述发明目的，本发明提供了一种用于清洁高温压头的磨石，所述磨石与高温压头前后相对往复移动以清洁所述高温压头的端面的待清洁区域。所述磨石包括基部及形成于基部表面的若干清洁部，所述清洁部沿横向呈间隙设置并形成有第一沟槽，任一所述清洁部沿所述端面的横向宽度小于所述端面的宽度，并且，所述清洁部与所述端面的待清洁区域相接触时，所述端面沿横向的侧缘位于所述第一沟槽上方或所述磨石的外侧。

作为本发明的进一步改进，所述清洁部还形成有第二沟槽。

作为本发明的进一步改进，所述第二沟槽沿横向延伸并与第一沟槽相垂直。

作为本发明的进一步改进，所述第二沟槽的深度小于第一沟槽的深度。

作为本发明的进一步改进，所述清洁部具有形成于相邻两条所述第一沟槽内并相对设置的两个侧壁及朝向高温压头的顶壁，所述侧壁与顶壁的连接处形成有倒角面。

作为本发明的进一步改进，所述磨石呈长方块状或圆柱状。

本发明还提供一种具有所述磨石的清洁装置，所述清洁装置还包括驱使所述高温压头或磨石前后相对往复移动的驱动机构。

本发明还提供一种所述清洁装置的清洁控制方法，包括：安装磨石；

通过驱动机构调节磨石与高温压头的横向相对位置，使得某一既定清洁部位于高温压头下方且与端面的待清洁区域沿前后方向相对齐；

调节高温压头的高度，使得既定清洁部与所述端面相接触；

启动驱动机构，累计高温压头或磨石往复运行时长或往复运行次数直至达到预设时长t或预设往复运行次数n，完成清洁操作。

本发明的有益效果是：采用本发明磨石、清洁装置及清洁控制方法，通过形成于基部的某一清洁部既能对高温压头端面的待清洁区域进行摩擦清洁，消除磨石与高温压头侧面之间的摩擦作用力，能够对高温压头端面进行有效清洁，保证正常生产。

附图说明

图1是现有磨石与高温压头表面相互摩擦作用示意图；

图2是本发明磨石一较佳实施例的结构示意图；

图3是图2中磨石与高温压头表面相互摩擦作用示意图；

图4是图3中磨石与高温压头表面相互摩擦前后方向平面示意图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的实施方式对本发明进行详细描述。但该实施方式并不限制本发明，本领域的普通技术人员根据该实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本发明的保护范围内。

请参阅图2至图4为本发明一较佳实施例。本发明提供的磨石100用以对高温压头20的端面21进行清洁，包括基部11及形成于基部11表面的若干清洁部12。具体地，通过将所述磨石100安装至高温压头20下方的机台上，再与所述高温压头20的端面21进行前后相对往复摩擦，以将所述端面21的待清洁区域上粘附的胶状物或其它杂质去除。一般地，所述待清洁区域位于端面21的中央位置。

所述清洁部12沿横向呈间隙设置并形成有第一沟槽13，任一所述清洁部12沿所述端面21的横向宽度小于所述端面21的宽度，并且，所述清洁部12与所述端面21的待清洁区域相接触时，所述端面21沿横向的侧缘位于所述第一沟槽13上方或所述磨石100的外侧。藉此，所述清洁部12与端面21进行前后相对移动摩擦时，所述高温压头20的侧面22不会与磨石100相接触，避免清洁进程中所述侧面22与磨石100进行相互摩擦而产生的侧向摩擦力，以保证端面21与磨石的相互作用力，保证端面21的有效清洁。

所述清洁部12具有形成于相邻两条所述第一沟槽13内并相对设置的两个侧壁121及朝向高温压头的顶壁122。所述侧壁121与顶壁122的连接处还形成有倒角面123，以避免所述清洁部12的顶角处在工作进程中受应力崩坏。所述倒角面123设置为斜面或弧面。

所述清洁部12还形成有自所述顶壁122朝下凹陷设置的第二沟槽14，所述第二沟槽14用以增强所述顶壁122与待清洁区域之间的局部摩擦力，有效克服传统磨石10由于表面较为平整而使得粘附较牢固的胶状物难以清除的问题。

在本实施例中，所述磨石100呈长方块状。所述第二沟槽14沿横向连通相应清洁部12两侧的两条第一沟槽13并与所述第一沟槽13相垂直。并且，由于所述清洁部12在前后方向受到的应力较大，所述第二沟槽14的深度小于第一沟槽13的深度。为实现上述目的，在本发明的其它实施方式中，所述第二沟槽14还可以沿偏离前后延伸的方向设置，抑或者呈非连续状设置。

本发明还提供一种具有所述磨石100的清洁装置，所述清洁装置还包括驱使所述高温压头20相对磨石100前后往复移动的驱动机构30。

本发明还提供一种所述清洁装置的清洁控制方法，包括：安装磨石100；

通过驱动机构30调节磨石100与高温压头20的横向相对位置，使得某一既定清洁部12位于高温压头20下方且与端面21的待清洁区域沿前后方向相对齐；

调节高温压头20的高度，使得既定清洁部12与所述端面21相接触；

启动驱动机构30，累计高温压头20或磨石100往复运行时长或往复运行次数直至达到预设时长t或预设往复运行次数n，完成清洁操作。

在本发明的另一实施方式中（未图示），所述磨石100呈圆柱状，其轴心线呈横向设置，所述第一沟槽13呈环形开设在所述磨石100的柱面上。相应地，所述清洁装置还具有驱使磨石100进行旋转的驱动电机。

综上所述，采用本发明磨石100、清洁装置及清洁控制方法，所述基部11便于磨石100的安装并加强清洁部12的支撑结构强度；所述清洁部12能够对高温压头20的端面21的待清洁区域进行摩擦清洁，消除磨石100与高温压头20的侧面22之间的摩擦作用力，以对高温压头20的端面21进行有效清洁，保证正常生产。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。