扩散炉用石英炉管的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，尤其是涉及一种扩散炉用石英炉管。

背景技术：

现有常压扩散炉进气方式为炉尾进气，通过尾气管从炉口出气，在炉内形成气体流场，通过磷源掺杂在高温环境下对硅片表面进行扩散。随着太阳能电池工艺的优化，现有常压扩散炉很难满足高性能电池片对技术的发展需求。尤其是当硅片表面方块电阻增大至110Ω/□以上时，常压扩散炉的均匀性会变得较差。现有进气方式气体流场不均匀，掺杂原子在反应室内分布不均匀，炉尾气体浓度偏高，炉口气体浓度偏低，容易造成炉口扩散方阻偏高，炉尾扩散方阻偏低，需要调整温度进行补偿。因热场与气流分布不均也导致了扩散后硅片片内与片间的均匀性相对较差。而且，现有扩散炉管与炉门间密合度一般，受炉门密封的影响，炉口容易漏气，扰乱了炉内气流，容易导致炉口扩散方阻偏高或扩散方阻均匀性较差。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术中现有的石英炉管进气方式气体流场不均匀，掺杂原子在反应室内分布不均匀，容易造成炉口扩散方阻偏高，炉尾扩散方阻偏低，因热场与气流分布不均也导致了扩散后硅片片内与片间的均匀性相对较差，扩散炉管与炉门间密合度一般，炉口容易漏气，扰乱了炉内气流，容易导致炉口扩散方阻偏高或扩散方阻均匀性较差的问题，提供一种扩散炉用石英炉管。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉用石英炉管，包括管体，所述管体一端的炉口处设置有炉门，所述炉门与所述炉口之间采用双层密封结构，所述炉门与管体连通的面上开设有导流槽，所述导流槽的底面为球面，所述管体另一端的炉尾端面的中间设置有尾气管，所述炉尾端面上圆周均布有若干进气管，所述进气管穿过所述管体内部，在炉口处与炉门相对设置。

本实用新型在炉门与炉口之间采用双层密封结构，气体不容易从炉口处泄露，提升了密封效果，减少了反应室内气体扰动，减少了炉口热量损失；炉门上设置底面呈球面的导流槽，进气管穿过管体内部，在炉口处与炉门相对设置，当气体从进气管进入管体后，气体从进气管内喷出，直接喷向导流槽的底面，导流槽的底面为球面，喷向导流槽的气体经过导流槽底面的反弹后充满整个管体，并向炉尾流动，最终从炉尾中间的尾气管排出。

所述炉门上固定安装有密封圈，所述密封圈与所述管体贴合，气体不容易从炉口处泄露。

所述进气管仅有一条，所述进气管位于所述尾气管的上方，从进气管内流出的气体往下流动，更容易充满整个管体。

本实用新型的有益效果是:本实用新型在炉门与炉口之间采用双层密封结构，气体不容易从炉口处泄露，提升了密封效果，减少了反应室内气体扰动，减少了炉口热量损失；炉门上设置底面呈球面的导流槽，进气管穿过管体内部，在炉口处与炉门相对设置，当气体从进气管进入管体后，气体从进气管内喷出，直接喷向导流槽的底面，导流槽的底面为球面，喷向导流槽的气体经过导流槽底面的反弹后充满整个管体，并向炉尾流动，最终从炉尾中间的尾气管排出，掺杂原子在反应室内分布更均匀，各温区之间可以通过较小的温度差异得到均匀的方阻，提升了方阻的稳定性与均匀性，使常压扩散炉也能满足高方阻生产需求。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的二维示意图；

图2是本实用新型的气体流向图。

图中：1.管体，2.炉门，3.导流槽，4.尾气管，5.进气管，6.密封圈。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的一种扩散炉用石英炉管，包括管体1，所述管体1一端的炉口处设置有炉门2，所述炉门2上固定安装有密封圈6，所述密封圈6与所述管体1贴合，所述炉门2与所述炉口之间采用双层密封结构，气体不容易从炉口处泄露。所述炉门2与管体1连通的面上开设有导流槽3，所述导流槽3的底面为球面，所述管体1另一端的炉尾端面的中间设置有尾气管4，所述炉尾端面上尾气管4的上方设有进气管5，所述进气管5穿过所述管体1内部，在炉口处与炉门2相对设置。

本实用新型在炉门2与炉口之间采用双层密封结构，气体不容易从炉口处泄露，提升了密封效果，减少了反应室内气体扰动，减少了炉口热量损失；炉门2上设置底面呈球面的导流槽3，进气管5穿过管体1内部，在炉口处与炉门2相对设置，当气体从进气管5进入管体1后，气体从进气管5内喷出，直接喷向导流槽3的底面，导流槽3的底面为球面，喷向导流槽3的气体经过导流槽3底面的反弹后充满整个管体1，并向炉尾流动，最终从炉尾中间的尾气管4排出，如图2所示。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。