扩散炉用石英炉管的制作方法

文档序号:13164603阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种扩散炉用石英炉管,其特征在于:包括管体(1),所述管体(1)一端的炉口处设置有炉门(2),所述炉门(2)与所述炉口之间采用双层密封结构,所述炉门(2)与管体(1)连通的面上开设有导流槽(3),所述导流槽(3)的底面为球面,所述管体(1)另一端的炉尾端面的中间设置有尾气管(4),所述炉尾端面上圆周均布有若干进气管(5),所述进气管(5)穿过所述管体(1)内部,在炉口处与炉门(2)相对设置。

2.如权利要求1所述的扩散炉用石英炉管,其特征在于:所述炉门(2)上固定安装有密封圈(6),所述密封圈(6)与所述管体(1)贴合。

3.如权利要求1所述的扩散炉用石英炉管,其特征在于:所述进气管(5)仅有一条,所述进气管(5)位于所述尾气管(4)的上方。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1