技术总结
本实用新型涉及一种扩散炉用石英炉管，在炉门与炉口之间采用双层密封结构，气体不容易从炉口处泄露，提升了密封效果，减少了反应室内气体扰动，减少了炉口热量损失；炉门上设置底面呈球面的导流槽，进气管穿过管体内部，在炉口处与炉门相对设置，当气体从进气管进入管体后，气体从进气管内喷出，直接喷向导流槽的底面，导流槽的底面为球面，喷向导流槽的气体经过导流槽底面的反弹后充满整个管体，并向炉尾流动，最终从炉尾中间的尾气管排出，掺杂原子在反应室内分布更均匀，各温区之间可以通过较小的温度差异得到均匀的方阻，提升了方阻的稳定性与均匀性，使常压扩散炉也能满足高方阻生产需求。
技术研发人员：吴俊;张凯胜;姚伟忠
受保护的技术使用者：常州亿晶光电科技有限公司
文档号码：201720567769
技术研发日：2017.05.19
技术公布日：2017.12.12