一种多晶硅铸锭炉的制作方法

文档序号:14791242发布日期:2018-06-28 03:10阅读:426来源:国知局

本实用新型涉及多晶硅片、铸造单晶硅片制造领域,具体涉及一种多晶硅铸锭炉。



背景技术:

现有的用于制造晶硅铸锭的坩埚及热场为四方形,只能铸造出形状为四方体的硅锭,不能充分发挥圆柱形炉体的空间,影响了铸锭炉的生产效率。



技术实现要素:

针对上述现有技术的不足,本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉,能够铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种多晶硅铸锭炉,包括圆柱形炉体,圆柱形炉体内设有隔热笼,隔热笼内设有坩埚,坩埚的外侧包覆有坩埚侧护板和坩埚底护板,坩埚侧护板外设置有用于对坩埚加热形成热场的侧加热器,坩埚底护板底部设置有冷凝块;所述坩埚的侧壁数为n;与坩埚的n个侧壁相对应的,坩埚侧护板的个数为n,坩埚底护板为边数为n的多边形,隔热笼的侧面数为n,侧加热器的侧面数为n,冷凝块为边数为n的多边形;所述n为正整数,且大于4;所述坩埚的侧壁与多边形铸锭的侧面相对应,两者数量相同。

本实用新型具有如下有益效果:本实用新型中的坩埚及热场,可铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭,相对四个侧面柱状的硅锭,更多侧面面的柱状硅锭,单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量,降低生产成本。

附图说明

图1本实用新型的结构示意图;

图中标号:1、晶硅铸锭;2、圆柱形炉体;3、隔热笼;4、侧加热器;5、坩埚侧护板; 6、坩埚;7、坩埚的底护板;8、冷凝块。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如图1所示,本实用新型提供的多晶硅铸锭炉包括圆柱形炉体2,圆柱形炉体2内设有隔热笼3,隔热笼3内设有坩埚6,坩埚6的外侧包覆有坩埚侧护板5和坩埚底护板7,坩埚侧护板5外设置有用于对坩埚6加热形成热场的侧加热器4,坩埚底护板7 底部设置有冷凝块8。坩埚6的矩形侧壁数为n,n>4;坩埚的侧护板5有n个面,分别对应坩埚6的n个侧壁;坩埚的底护板7为边数为n的多边形。隔热笼3的侧面有n个面,分别对应坩埚6的n个侧壁。侧加热器4的侧面有n个面,分别对应坩埚6的n个侧壁。冷凝块8为边数为n的多边形。利用上述多晶硅铸锭炉能够制造出侧面数为n的多边形铸锭,n>4,多边形铸锭的侧面与坩埚的侧壁相对应。

实施例1:

1.根据设计得到侧面数为5的隔热笼、坩埚侧护板数量为5、边数为5的冷凝块、5 侧加热器侧面为5的热场。

2.将硅料放入侧边为5的多边形坩埚中,然后放于设计好的热场中进行铸锭;

3.最终通过工艺融化长晶过程将得到侧边为5的多边型硅锭。

在不改变原有的铸锭炉体的情况下,可铸出的多边形晶硅锭体积增大,从而达到单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量,降低生产成本。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

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