多晶硅铸锭炉漏硅防护结构的制作方法

文档序号:14703439发布日期:2018-06-15 22:57阅读:来源:国知局
多晶硅铸锭炉漏硅防护结构的制作方法

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭炉漏硅防护结构,用于包覆保护水冷多晶硅铸锭炉水冷铜盘组件中的两根水冷铜管,水冷铜管通过水路密封座固定装在多晶炉下炉体中部的通孔内;其特征在于,所述防护结构包括由阻燃固化毡制成的保护管,保护管包围在水冷铜管外部;在保护管上由内向外依次设置内层石棉、不锈钢支撑圈和外层石棉,并在外层石棉上以钼丝缠绕实现固定;在多晶炉下炉体内层的表面铺设炉体内壁石棉,所述防护结构的底部与炉体内壁石棉紧密接触。

2.根据权利要求1所述的防护结构,其特征在于,所述水路密封座的端部露出在通孔外,保护管底部设凹陷的沉孔,水路密封座的端部装在沉孔内。

3.根据权利要求1所述的防护结构,其特征在于,所述保护管是由两个带轴向凹槽的半圆柱体组成的环管状结构,两个半圆柱体之间的接口为矩形的齿型结构。

4.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,所述保护管分别包围在两根水冷铜管外部;内层石棉、不锈钢支撑圈和外层石棉同时或分别包裹两个保护管,并在外层石棉上以钼丝缠绕实现固定。

5.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,在防护结构底部与炉体内壁石棉之间设有底层石棉,且相互紧密接触。

6.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,所述内层石棉的厚度≥20mm,不锈钢支撑圈的厚度≥5mm;所述炉体内壁石棉有四层,单层厚度≥10mm。

7.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,所述内层石棉以钼丝缠绕实现固定。

8.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,在炉体内壁石棉的表面或在外层石棉的表面设置温度探头,温度探头通过信号线依次连接控制器和声光报警设备。

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