多晶硅锭铸锭炉内腔结构的制作方法

技术特征：

1.一种多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，包括：

壳体；

保温腔室，所述保温腔室包括侧保温板和顶保温板，所述侧保温板和顶保温板上均独立设置有升降组件，且侧保温板与顶保温板之间相对密封滑动配合；

侧加热器和顶加热器，所述侧加热器和顶加热器分别对应设置在侧保温板和顶保温板内侧；

以及坩埚，所述坩埚包括坩埚本体、开设在坩埚本体侧壁上的楔形槽、和匹配设置在楔形槽内的碳纤维保温条；

所述侧加热器和顶加热器外侧均设置有热辐射反射板，在侧保温板内壁和顶保温板的外侧边均设置有耐磨层。

2.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，所述耐磨层为石墨纸，所述石墨纸经高碳磷片处理，并经高温膨胀压制而成。

3.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，所述侧加热器呈S型设置，相邻两侧加热器之间通过直角板连接，所述顶加热器呈曲线盘设。

4.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，顶保温板上设置有导气管，与所述顶加热器对应的热辐射反射板上设置有通气孔。