多晶硅锭铸锭炉内腔结构的制作方法

文档序号:14703443发布日期:2018-06-15 22:57阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉内腔结构,包括壳体;保温腔室,所述保温腔室包括侧保温板和顶保温板,所述侧保温板和顶保温板上均独立设置有升降组件,且侧保温板与顶保温板之间相对密封滑动配合;侧加热器、顶加热器、以及坩埚,所述坩埚包括坩埚本体、开设在坩埚本体侧壁上的楔形槽、和匹配设置在楔形槽内的碳纤维保温条;所述侧加热器和顶加热器外侧均设置有热辐射反射板,在侧保温板内壁和顶保温板的外侧边均设置有耐磨层。本实用新型能够有效的防止产生的石墨粉对热场造成的影响,同时能够有效的增加热利用率,降低热量的散失,并促使多晶硅的长晶质量得到提升。 1

技术研发人员:房灵辉;王岩
受保护的技术使用者:河南省博宇新能源有限公司
技术研发日:2017.11.30
技术公布日:2018.06.15

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