一种多晶硅生产还原炉用电极组件的制作方法

文档序号:15300933发布日期:2018-08-31 20:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅生产还原炉用电极组件,其特征在于:包括设置于还原炉底盘(1)上的绝缘支撑组件(2),卡接于所述绝缘支撑组件(2)上的电极(3),设置于所述电极(3)顶部的石墨底座(4),固定设置于所述石墨底座(4)上的石墨卡瓣(5)和控制所述石墨卡瓣(5)开合的石墨卡套(6);

所述绝缘支撑组件(2)包括卡接于所述还原炉底盘(1)上的阶梯状绝缘支撑件(21),设置于所述阶梯状绝缘支撑件(21)内并套设于所述电极(3)外的石英套筒(22),套设于所述石英套筒(22)外并与所述还原炉底盘(1)抵接、密封的上石英座(23),套设于所述阶梯状绝缘支撑件(21)下部的下石英座(24),设置于所述下石英座(24)底部的垫片(25)和卡设于所述电极(3)外的环形卡件(26)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产还原炉用电极组件,其特征在于:所述电极(3)内开设有水冷空腔(31),所述水冷空腔(31)的内壁上设有绝缘导热层(32)。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产还原炉用电极组件,其特征在于:所述绝缘导热层(32)底端伸出所述电极(3)的底端后设有外螺纹(321),所述电极(3)底部设置有电极冷却装置(7),所述电极冷却装置(7)包括第一冷却水进管(71)和套设于所述第一冷却水进管(71)内的冷却水出管(72),所述第一冷却水进管(71)顶部开口,底部密封,所述第一冷却水进管(71)顶部开口处设有与所述外螺纹(321)相配合的内螺纹(711),所述第一冷却水进管(71)与所述绝缘导热层(32)螺接,所述第一冷却水进管(71)的底部设有第二冷却水进管(712),所述冷却水出管(72)的顶部伸入所述水冷空腔(31)的顶部,所述冷却水出管(72)底部伸出所述第一冷却水进管(71)的底部。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产还原炉用电极组件,其特征在于:所述电极(3)的顶端设有弹性卡块(33),所述石墨底座(4)的底面上开设有供所述电极(3)插入的插槽(41),所述插槽(41)内壁上设有与所述弹性卡块(33)相配合的卡槽(411),所述石墨底座(4)的侧壁上设有伸入所述卡槽(411)内的顶杆(412)。

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