一种多晶硅生产还原炉用电极组件的制作方法

文档序号:15300933发布日期:2018-08-31 20:21阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种多晶硅生产还原炉用电极组件,包括设置于还原炉底盘上的绝缘支撑组件,卡接于所述绝缘支撑组件上的电极,设置于所述电极顶部的石墨底座,固定设置于所述石墨底座上的石墨卡瓣和控制所述石墨卡瓣开合的石墨卡套;所述绝缘支撑组件包括卡接于所述还原炉底盘上的阶梯状绝缘支撑件,设置于所述阶梯状绝缘支撑件内并套设于所述电极外的石英套筒,套设于所述石英套筒外并与所述还原炉底盘抵接、密封的上石英座,套设于所述阶梯状绝缘支撑件下部的下石英座,设置于所述下石英座底部的垫片和卡设于所述电极外的环形卡件。本实用新型电极组件能提高电极与还原炉底盘之间的绝缘性,减少倒炉现象。

技术研发人员:杨刊;郝福涛;孟昱良
受保护的技术使用者:河北东明中硅科技有限公司
技术研发日:2017.12.14
技术公布日:2018.08.31

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