技术特征：
技术总结
本发明公开了一种稳态晶体生长方法，涉及晶体的生长方法技术领域。本发明所述方法可以通过多种方式进行晶体生长。第一种：保持循环熔体的流速恒定，通过控制多组循环熔体预热加热器的功率来控制生长温度的变化。第二种：保持多组循环熔体预热加热器的功率恒定，通过控制循环熔体的流速来控制生长温度的变化。第三种：降低多组循环熔体预热加热器的功率，同时加速循环泵中循环熔体的流动来控制生长温度的变化。第四种：保持循环熔体的流速和循环熔体预热加热器的功率恒定，逐渐降低水冷铜管的温度或者增加水冷铜管内冷却液的流速，来控制生长温度的变化。所述方法由于不是通过加热器直接给熔体加热，因而晶体生长过程平稳，易于制备高质量晶体。
技术研发人员：孟静
受保护的技术使用者：孟静
技术研发日：2018.03.23
技术公布日：2018.08.24