技术特征：
技术总结
本发明提出了一种氧化铟锡靶材的制备方法，包括以下步骤：1)预混液制备：将分散剂和粘结剂加入水中，搅拌均匀，然后用pH调节剂调节pH值至8～10，得预混液；2)悬浮浆料的制备：向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结助剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由氧化镨、导电炭黑和Nb2O5组成；3)注浆后坯体成型：把铝制模装在石膏板上，将步骤2)所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，得ITO坯体；4)烧结。该方法过程容易控制，降低了烧结温度促进致密化的同时提升了电性能，烧结出的靶材成分更均匀，电阻率低、相对密度高。
技术研发人员：章波;郭元
受保护的技术使用者：芜湖市元奎新材料科技有限公司
技术研发日：2018.07.10
技术公布日：2018.09.28