一种可调控局域温场的石墨承载盘的制作方法

文档序号:16412536发布日期:2018-12-25 20:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:石墨承载盘上设有用于收容外延片的多个第一收容部、多个第二收容部和多个第三收容部;多个第一收容部围绕石墨承载盘中心间隔排布并形成第一承载环,多个第二收容部围绕石墨承载盘中心间隔排布并形成第二承载环,多个第三收容部围绕石墨承载盘中心间隔排布并形成第三承载环,所述第一承载环、第二承载环和第三承载环依次由里至外排布在石墨承载盘上,第一承载环与第二承载环之间以及第二承载环和第三承载环之间均设置有多个沿石墨承载盘轴向排布的散热槽;第一收容部、第二收容部和第三收容部三者的形状均不相同。

2.如权利要求1所述可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:第一收容部呈圆形设置。

3.如权利要求1所述可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:第二收容部呈矩形设置。

4.如权利要求1所述可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:第三收容部呈三角形状设置。

5.如权利要求1所述可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:第一承载环与第二承载环之间设置有四个散热槽,四个散热槽以圆形状的方式排布。

6.如权利要求1所述可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:第二承载环与第三承载环之间设置有四个散热槽,四个散热槽以圆形状的方式排布。

7.如权利要求1所述可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:石墨承载盘由石墨烯制备而成。

8.如权利要求1所述可调控局域温场的石墨承载盘,其特征在于:石墨承载盘的外表面涂覆有碳化硅涂层。

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