技术总结
本实用新型涉及石墨承载盘技术领域，具体涉及一种可调控局域温场的石墨承载盘，包括石墨承载盘上设有用于收容外延片的多个第一收容部、多个第二收容部和多个第三收容部；多个第一收容部围绕石墨承载盘中心间隔排布并形成第一承载环，多个第二收容部围绕石墨承载盘中心间隔排布并形成第二承载环，多个第三收容部围绕石墨承载盘中心间隔排布并形成第三承载环，相邻的承载环之间设置有散热槽；第一收容部、第二收容部和第三收容部三者的形状均不相同，与现有技术相比，不同形状的收容部可以用于收容不同规格的外延片，解决外延片容易混淆的问题，另外，相邻的承载环之间设置有散热槽，避免石墨承载盘温度过高以及各个收容部受热温度不均匀的问题。
技术研发人员：刘文君
受保护的技术使用者：东莞市业晟石墨科技有限公司
技术研发日：2018.05.10
技术公布日：2018.12.25