一种台式退火炉出炉装置的制作方法

本实用新型属于退火炉相关技术领域，具体涉及一种台式退火炉出炉装置。

背景技术：

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

现有的退火炉出炉装置大多数都是使用轨道进行推拉，取出时通过滑块或杠杆从退火炉中出来，这种方式比较费力，且滑块经过长时间摩擦就会松动，需要经常更换，增加企业的制造成本，还降低了生产率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种台式退火炉出炉装置，以解决上述背景技术中提出的滑块易磨损问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种台式退火炉出炉装置，包括上盖板和侧墙，所述上盖板的后方下部连接有侧墙，所述侧墙共设置两面，且两面所述侧墙互相平行，所述上盖板的左侧下方连接有背墙，且上盖板与背墙焊接固定，所述上盖板的右侧下方连接有炉门，且上盖板的下方设置有喷口，所述喷口共设置有多个，且多个所述喷口连接在侧墙表面，所述喷口的下方设置有垫板，所述垫板的底部连接有轨道，所述轨道的侧面连接有退火箱，且轨道的底部连接有热处理垫铁，所述背墙的下方连接有底座，所述底座的正面左侧设置有插座，所述底座的四角连接有支腿。

优选的，所述退火箱包括上层移动板、下层板和退火室，所述上层移动板的底部设置有退火室，所述退火室的底部设置有下层板,所述退火箱的两侧连接在两个轨道的内部，且退火箱被两侧的热处理垫铁支撑。

优选的，所述轨道包括滑轨和滑轮组，所述滑轨的内部设置有滑轮组，所述滑轮组共设置有多个，且多个所述滑轮组互相平行。

优选的，所述滑轮组包括轮杆、固定螺钉、底块、滑轮和连接块，所述轮杆的一端设置有固定螺钉，且轮杆的一端底部连接有底块，所述轮杆的中部设置有滑轮，所述滑轮共设置有两个，且两个所述滑轮互相平行，所述轮杆的后部连接有连接块。

优选的，所述垫板、轨道和热处理垫铁共设置有两个，且垫板、轨道和热处理垫铁分别连接在两个侧墙的表面。

优选的，所述上层移动板与下层板之间的空间组成退火室，且退火室的内部分成多个工件块。

优选的，所述底块被固定螺钉连接在轮杆两端的底部，所述底块的形状呈倒置半球形，且两个所述底块与两个滑轮互相平行。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种台式退火炉出炉装置，具备以下有益效果：

1、本实用新型出炉装置在退火箱和轨道之间设置了滑轮组，两个滑轮卡在轨道内部，滑轮组通过连接块与退火箱固定连接，通过推动或回拉退火箱，滑轮就能在轨道内部来回移动，使用滑轮移动的方式推拉能减少很大的摩擦力，保护了轨道不被破坏，而且操作时省力。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的一种台式退火炉出炉装置结构示意图；

图2为本实用新型提出的退火箱结构示意图；

图3为本实用新型提出的轨道结构示意图；

图4为本实用新型提出的滑轮结构示意图；

图中：1、上盖板；2、侧墙；3、炉门；4、喷口；5、垫板；6、轨道；61、滑轨；62、滑轮组；621、轮杆；622、固定螺钉；623、底块；624、滑轮；625、连接块；7、退火箱；71、上层移动板；72、下层板；73、退火室；8、背墙；9、热处理垫铁；10、底座；11、插座；12、支腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种台式退火炉出炉装置技术方案：

一种台式退火炉出炉装置，包括上盖板1和侧墙2，上盖板1的后方下部连接有侧墙2，侧墙2共设置两面，且两面侧墙2互相平行，上盖板1的左侧下方连接有背墙8，且上盖板1与背墙8焊接固定，上盖板1的右侧下方连接有炉门3，且上盖板1的下方设置有喷口4，喷口4共设置有多个，且多个喷口4连接在侧墙2表面，喷口4的下方设置有垫板5，垫板5的底部连接有轨道6，轨道6的侧面连接有退火箱7，且轨道6的底部连接有热处理垫铁9，背墙8的下方连接有底座10，底座10的正面左侧设置有插座11，底座10的四角连接有支腿12。

进一步，退火箱7包括上层移动板71、下层板72和退火室73，上层移动板71的底部设置有退火室73，退火室73的底部设置有下层板72，退火室73内部的工件被保护起来，避免与退火材料直接接触，保护了工件,退火箱7的两侧连接在两个轨道6的内部，且退火箱7被两侧的热处理垫铁9支撑，防止退火箱7泡在退火炉内部的冷却液内部。

进一步，轨道6包括滑轨61和滑轮组62，滑轨61的内部设置有滑轮组62，通过滑轮组62在滑轨61内部滚动，从而可以拉出退火箱7，滑轮组62共设置有多个，且多个滑轮组62互相平行。

进一步，滑轮组62包括轮杆621、固定螺钉622、底块623、滑轮624和连接块625，轮杆621的一端设置有固定螺钉622，且轮杆621的一端底部连接有底块623，轮杆621的中部设置有滑轮624，滑轮624共设置有两个，两个滑轮624的稳定性更好，且两个滑轮624互相平行，轮杆621的后部连接有连接块625，连接块625与退火箱7连接，才能通过滑轮组62把退火箱7拉出。

进一步，垫板5、轨道6和热处理垫铁9共设置有两个，且垫板5、轨道6和热处理垫铁9分别连接在两个侧墙2的表面，两侧的部件共同支撑退火箱7会更稳定。

进一步，上层移动板71与下层板72之间的空间组成退火室73，且退火室73的内部分成多个工件块，在工件块内部可以放置需退火的工件，易于分类。

进一步，底块623被固定螺钉622连接在轮杆621两端的底部，底块623的形状呈倒置半球形，且两个底块623与两个滑轮624互相平行，底块623不会突出一块导致滑轮组62被卡住。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，首先检查退火炉内部和退火箱7的密封性，出现密封损坏时，需要及时修理，防止退火原料直接接触退火箱7内部的工件，导致工件的损坏，或是退火炉内的冷气等泄露，造成退火不均匀，导致工件的品质不高。检修完毕后，把上层移动板71开启，再把需退火的工件分类好，然后放入退火块内部，关闭上层移动板71，将退火箱7沿着轨道6推进退火炉内部，退火箱7受到推力，连接块625从而受到推力，连接块625与轮杆621固定连接，轮杆621中部的两个滑轮624也受到推力，滑轮624就在滑轨61内部滚动，多个滑轮组62同时进行移动，从而把退火箱7推进退火炉内部，再关闭炉门3，卡上锁扣即可，等到退火完毕后，需等待炉内温度降低到室温，才可以开启炉门3，然后把退火箱7拉出，打开上层移动板71，把内部的工件取出，就可以再进行下一批工件的退火。当退火炉使用完毕后，需要对轨道6所组成部部件进行润滑保养，防止生锈或27移动时滑轮组62卡住。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。