技术特征:
技术总结
本发明涉及一种半导体晶体的生长装置,该装置包括一炉体,炉体包括一支撑平台、垂直固定于支撑平台上的一支撑杆、一加热室,加热室形成封闭的一圆柱形空腔,支撑杆上开设一架设孔,该装置还包括位于空腔内的一环形加热器、一石英管、一籽晶、一碳帽、一第一PBN坩埚、一第二PBN坩埚以及一石英帽,石英管架设于支撑杆上;石英管包括一石英嘴以及沿石英嘴向上延伸的一石英筒,石英筒包括第一段、第二段以及连接第一段和第二段的过渡段,第一段、第二段呈直筒状且第一段和第二段的中心轴线为同一竖直线,过渡段为弧形状,第二段的直筒半径大于第一段的直筒半径。
技术研发人员:王金灵;廖彬;周铁军;刘留
受保护的技术使用者:广东先导先进材料股份有限公司
技术研发日:2019.01.30
技术公布日:2019.06.14