用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置的制作方法

本实用新型涉及单晶炉使用技术领域，特别涉及用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置。

背景技术：

目前，单晶炉是单晶产品拉制过程的基础环节，也是半导体材料硅由多晶转换成单晶成品的关键设备。单晶炉的安全可靠运行，才能保证产品正常生产。而单晶炉的防爆安全泄压装置是单晶设备安全可靠运行必不可少的一部分。

然而，现有的单晶炉安全泄压设备，还存在一些不足：

一、采用螺钉定位，螺钉的结构较为常规，在此处使用时存在弊端，一旦单晶炉内压力超过常压时可能会由于螺栓上的螺纹卡住盖板，而不能顺利实现泄压的目的，存在一定的危险性；

二、有的使用泄压阀，长时间的使用会导致阀门位置偏离，不够准确，在大气流或热态挥发物瞬间冲出时不能做到瞬间紧急泄压，安全度不够；

三、现有的安全泄压装置，上方的泄压器件容易在超高压情况下被气流冲出，飞出伤人等。

单晶棒拉制过程使用的单晶炉cg6000设备，能够很好的满足单晶产品生产需求。设备的好坏和运行安全，是保证产品正常拉制的保障。单晶炉在正常运行过程中处于负压状态，防爆盖安全泄压装置处在单晶炉抽空管道居中位置上方，在设备出现突发情况时防爆盖能够首先自行打开，保证附近人员和设备及其他设备结构的完好状态，避免意外情况发生时人身和设备的安全。

因此，设计一种防爆盖安全泄压装置，是设备的一部分，更是安全生产的保障。结合实际需求和人身设备安全要素，设计制作单晶炉防爆盖的安全保护装置，保障生产正常进行。

技术实现要素：

有鉴于此，为解决上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供了用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，结构简单新颖，操作方便高效，突发情况时，防爆盖和防爆罩靠气流能够自行升起泄压，则防爆盖和防爆罩不会脱离开防爆管道而飞出伤人，达到了瞬间准确、快速、安全泄压的目的，满足设备运行过程人身和设备安全要求，实用性更强。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，包括防爆管道、相配合地设在防爆管道顶部的防爆盖，所述防爆盖的上方设置相配合的防爆罩，气流通过防爆罩内延向下泄流，所述防爆罩上均匀开设有若干定位孔，定位孔处分别设有贯穿的防脱落螺丝，防脱落螺丝固定防爆罩于防爆盖上方，使得大气流或热态挥发物瞬间冲出防爆盖后顺着防爆罩内壁向下泄压；

所述防脱落螺丝表面的外螺纹为大螺纹和小螺纹间隔分布，所述防爆盖的下方在防爆管道内设置定位板，定位板上对应防脱落螺丝位置的通孔内表面设有与大螺纹相配合的内螺纹，定位板上其余位置为方便泄压的中空结构。

进一步的，所述防爆罩的罩口朝下，防爆罩罩口的内径大于防爆盖盖口的内径。

进一步的，所述防脱落螺丝为加长塞打螺丝。

进一步的，所述防脱落螺丝穿过防爆罩和防爆盖且拧紧在定位板的通孔内。

进一步的，所述定位孔、防脱落螺丝的个数均为4个。

进一步的，所述定位孔分别对称分布在防爆罩上表面上。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，结构简单新颖，操作方便高效，与现有情况相比，本实用新型具体具有以下优点：

1、防脱落螺丝表面的外螺纹为大螺纹和小螺纹间隔分布，定位板上对应防脱落螺丝位置的通孔内表面设有与大螺纹相配合的内螺纹，相比于常规的螺钉结构，大螺纹配合内螺纹，给防脱落螺丝留出了多段缓冲空间，防止防脱落螺丝外螺纹卡住防爆盖，避免出现一旦单晶炉内压力超过常压时可能会由于螺栓上的螺纹卡住防爆盖而不能顺利实现泄压的现象，提高安全性；另外，定位板上其余位置为方便泄压的中空结构，并不阻碍气流向上冲出或泄压状态，保证了防爆管道顺利的气循环；

2、加装的防爆罩上均匀开设有若干定位孔，防脱落螺丝固定防爆罩于防爆盖上方，防爆罩的罩口朝下安装，且防爆罩比防爆盖大；在大气流或热态挥发物瞬间冲出时能做到瞬间准确地紧急泄压，安全度高；

3、防脱落螺丝穿过防爆罩和防爆盖且拧紧在定位板的通孔内；突发情况时，防爆盖和防爆罩靠气流能够自行升起泄压，则防爆盖和防爆罩不会脱离开防爆管道而飞出伤人等；

4、防爆罩的设置，限制了气流从防爆盖接触处四周飞溅的危险，压力从防爆罩内壁向下分散泄压，保证附近人身和设备安全。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的主视图；

图2为本使用新型的俯视图；

图3为防爆盖、防爆罩、防脱落螺丝、定位板的关系示意图；

图4为防脱落螺丝的结构示意图；

图5为防爆管道的位置示意图；

图中标记：1、防爆管道，2、防爆盖，3、防爆罩，4、定位孔，5、防脱落螺丝，6、定位板，7、通孔。

具体实施方式

下面给出具体实施例，对本实用新型的技术方案作进一步清楚、完整、详细地说明。本实施例是以本实用新型技术方案为前提的最佳实施例，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，包括防爆管道1、相配合地设在防爆管道1顶部的防爆盖2，防爆盖2位于单晶炉炉台后端工作部位，正常情况下，防爆盖2通过密封盖在防爆管道1的防爆口上，防爆时防爆盖2与防爆口有气流水平流出；所述防爆盖2的上方设置相配合的防爆罩3，气流通过防爆罩3内延向下泄流，避免了气流水平流出对附近的人或物的伤害；所述防爆罩3上均匀开设有若干定位孔4，定位孔4处分别设有贯穿的防脱落螺丝5，防脱落螺丝5固定防爆罩3于防爆盖2上方，使得大气流或热态挥发物瞬间冲出防爆盖2后顺着防爆罩3内壁向下泄压；防脱落螺丝5的设置，使得防爆盖2和防爆罩3不会由于气流作用飞出伤人，防爆罩1很好的起到安全保护目的；

所述防脱落螺丝5表面的外螺纹为大螺纹和小螺纹间隔分布，所述防爆盖2的下方在防爆管道1内设置定位板6，定位板6上对应防脱落螺丝5位置的通孔7内表面设有与大螺纹相配合的内螺纹，定位板6上其余位置为方便泄压的中空结构。相比于常规的螺钉结构，大螺纹配合内螺纹，给防脱落螺丝5留出了多段缓冲空间，防止防脱落螺丝5外螺纹卡住防爆盖2，避免出现一旦单晶炉内压力超过常压时可能会由于螺栓上的螺纹卡住防爆盖2而不能顺利实现泄压的现象，提高安全性；另外，定位板6上其余位置为方便泄压的中空结构，并不阻碍气流向上冲出或泄压状态，保证了防爆管道顺利的气循环。

进一步的，所述定位孔4、防脱落螺丝5的个数均为4个，4个所述的防脱落螺丝5对称分布在防爆罩3上表面上。

进一步的，所述定位孔4分别对称分布在防爆罩3上表面上，使得防爆罩3受到高气压的向上冲出的压力均匀，保证防爆盖2、防爆罩3一方面因为受力不均匀导致滑落、倾斜、飞出等；防爆罩3的设置，限制了气流从防爆盖2接触处四周飞溅的危险，压力从防爆罩3内壁向下分散泄压，保证附近人身和设备安全。

进一步的，所述防脱落螺丝5为加长塞打螺丝，便于其表面外螺纹的大螺纹和内螺纹的设置，更好地实现定位、限制防爆盖2、防爆罩3的位置范围，防止二者不飞出。

进一步的，所述防脱落螺丝5穿过防爆罩3和防爆盖2且拧紧在定位板6的通孔7内。突发情况时，防爆盖2和防爆罩3靠气流能够自行升起泄压，则防爆盖2和防爆罩3不会脱离开防爆管道1而飞出伤人等。

进一步的，所述防爆罩3的罩口朝下，防爆罩3罩口的内径大于防爆盖2盖口的内径。防爆罩3起到了很好的安全作用，在大气流或热态挥发物瞬间冲出时能做到瞬间准确地紧急泄压，安全度高。

综上所述，本实用新型的用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，结构简单新颖，操作方便高效，突发情况时，防爆盖和防爆罩靠气流能够自行升起泄压，则防爆盖和防爆罩不会脱离开防爆管道而飞出伤人，达到了瞬间准确、快速、安全泄压的目的，满足设备运行过程人身和设备安全要求，实用性更强。

以上显示和描述了本实用新型的主要特征、基本原理以及本实用新型的优点。本行业技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会根据实际情况有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。