1.一种管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤,
1)使用石英衬管作为基管,在衬管两端分别延接石英延长管;
2)在衬管进气端安装旋转接头,将衬管装夹于沉积车床上;
3)在管内通入sf6气体在高温下刻蚀衬管内壁;
4)在管内通入sicl4、gecl4、sf6和o2沉积光学包层,光学包层的折射率与衬管折射率一致;
5)在光学包层玻璃内壁沉积光学芯层;
6)对沉积完成的空心预制棒进行熔缩;
7)通入sf6气体对芯层内壁进行刻蚀。
2.根据权利要求1所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,还包括:对空心预制棒进行烧实及抛光;然后使用氢氧焰手持喷灯将芯棒进行拉断下棒操作。
3.根据权利要求1或2所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,步骤1)完成之后,分别使用碱性清洗剂、氢氟酸和硝酸的混合酸及纯水对衬管进行清洗,并使用高纯n2吹扫干燥。
4.根据权利要求3所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,使用的配合酸是由氢氟酸及硝酸按照6:1的配比配合而成。
5.根据权利要求1或2所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,所述步骤4)中,通入sicl4、gecl4、sf6和o2制备si-ge-f光学包层玻璃。
6.根据权利要求5所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,si-ge-f光学包层玻璃的厚度为2~10mm。
7.根据权利要求5所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,其中sicl4的流量为250~300sccm,gecl4的流量为150~200sccm,sf6的流量为3~4sccm,其中o2的流量为前三者总流量的1.8倍。
8.根据权利要求5所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,控制出气端压强与大气压强差为0~1.2torr,控制进气端与出气端的压强差为2~3torr,控制沉积温度为1800~1900℃,热源移动速度为70~100mm/min。