一种管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法与流程

文档序号:21106713发布日期:2020-06-16 21:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤,

1)使用石英衬管作为基管,在衬管两端分别延接石英延长管;

2)在衬管进气端安装旋转接头,将衬管装夹于沉积车床上;

3)在管内通入sf6气体在高温下刻蚀衬管内壁;

4)在管内通入sicl4、gecl4、sf6和o2沉积光学包层,光学包层的折射率与衬管折射率一致;

5)在光学包层玻璃内壁沉积光学芯层;

6)对沉积完成的空心预制棒进行熔缩;

7)通入sf6气体对芯层内壁进行刻蚀。

2.根据权利要求1所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,还包括:对空心预制棒进行烧实及抛光;然后使用氢氧焰手持喷灯将芯棒进行拉断下棒操作。

3.根据权利要求1或2所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,步骤1)完成之后,分别使用碱性清洗剂、氢氟酸和硝酸的混合酸及纯水对衬管进行清洗,并使用高纯n2吹扫干燥。

4.根据权利要求3所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,使用的配合酸是由氢氟酸及硝酸按照6:1的配比配合而成。

5.根据权利要求1或2所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,所述步骤4)中,通入sicl4、gecl4、sf6和o2制备si-ge-f光学包层玻璃。

6.根据权利要求5所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,si-ge-f光学包层玻璃的厚度为2~10mm。

7.根据权利要求5所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,其中sicl4的流量为250~300sccm,gecl4的流量为150~200sccm,sf6的流量为3~4sccm,其中o2的流量为前三者总流量的1.8倍。

8.根据权利要求5所述的管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,其特征在于,控制出气端压强与大气压强差为0~1.2torr,控制进气端与出气端的压强差为2~3torr,控制沉积温度为1800~1900℃,热源移动速度为70~100mm/min。


技术总结
本发明公开了一种管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法,使用管内化学化学气相沉积法,在沉积包层之前先通入SF6在高温下刻蚀高纯石英衬管内壁,使衬管内壁光滑便于沉积,之后通入SiCl4,GeCl4和SF6等反应气体在高温下进行反应沉积光学包层。相较于传统的纯SiO2包层设计,在SiO2包层中掺杂Ge和F元素使光学包层的折射率与外部衬管的折射率一致,这样的好处在于可以有效降低光纤衰减,提高光纤的红光性能,同时可以避免Trench引起的光纤熔接对轴问题。

技术研发人员:夏祖明;徐江河;冯杨;廉正刚;皮亚斌
受保护的技术使用者:武汉长盈通光电技术有限公司
技术研发日:2020.01.07
技术公布日:2020.06.16
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