一种半导体级直拉单晶硅炉超高纯石墨热场的制作方法

本发明涉及超高纯石墨热场技术领域，具体为一种半导体级直拉单晶硅炉超高纯石墨热场。

背景技术：

现有装置存在以下问题：

1、现有的装置大多都是使用多组螺栓对盖帽进行固定的，使操作人员在后期对其进行拆除时较为繁琐；

2、现有的装置其内部冷却效果较为不明显，在其冷却过程中操作人员还需等待较长的时间，从而增加该装置的不便性；

3、现有的装置大多对冲击力的缓冲效果较为不明显，从而导致内部零件的损坏，还需操作人员频繁的更换。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种半导体级直拉单晶硅炉超高纯石墨热场，以解决上述背景技术中提出现有装置存在以下问题：1、现有的装置大多都是使用多组螺栓对盖帽进行固定的，使操作人员在后期对其进行拆除时较为繁琐；2、现有的装置其内部冷却效果较为不明显，在其冷却过程中操作人员还需等待较长的时间，从而增加该装置的不便性；3、现有的装置大多对冲击力的缓冲效果较为不明显，从而导致内部零件的损坏，还需操作人员频繁的更换的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体级直拉单晶硅炉超高纯石墨热场，包括底座，所述底座顶部两侧的两端对称设置有四组伸缩杆，四组所述伸缩杆的顶部共同设置有安装板，四组所述伸缩杆的外侧皆设置有弹簧b，且弹簧b与安装板相互连接，所述底座顶部的中间位置处设置有弹簧a，且弹簧a与安装板相互连接，所述安装板顶部的一侧设置有单晶硅炉本体，所述单晶硅炉本体外侧的顶部均匀设置有卡块，所述单晶硅炉本体的顶部设置有单晶硅炉盖，且单晶硅炉盖与单晶硅炉本体相互适配，所述单晶硅炉盖外侧的底部均匀设置有卡扣，且卡扣与卡块相互适配，所述底座顶部靠近单晶硅炉本体的一侧设置有抽气磊，所述抽气磊的输入端设置有进气管，且进气管延伸至单晶硅炉本体的内部，所述底座顶部远离单晶硅炉本体的一侧设置有安装仓，所述安装仓内部的背面一端设置有出气管，所述出气管的一端延伸至安装仓的外部与抽气磊的输出端相互连接，所述出气管远离抽气磊的一端延伸至安装仓的外部与单晶硅炉本体背面一端的顶部相互连通，所述安装仓内部远离出气管一端的中间位置处设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端设置有连接杆，所述连接杆的外侧套设有双槽皮带轮，所述安装仓内部远离出气管一端的两侧对称设置有转动杆，两组所述转动杆的外侧皆设置有皮带轮，两组所述皮带轮的外侧套设有皮带，且皮带与双槽皮带轮相互适配，所述连接杆和转动杆远离安装仓的一端皆设置有扇叶，所述安装仓内部的顶部设置有透气网板，且透气网板与安装仓的内部和外部相互连通，所述底座正面一端顶部的一侧设置有控制面板，所述控制面板通过导线分别与抽气磊和伺服电机电连接。

优选的，所述单晶硅炉盖顶部的两侧对称设置有把手，且把手的外侧设置有防滑纹。

优选的，所述底座底部的四角处皆设置有制动式万向轮。

优选的，所述单晶硅炉本体正面一端的底部设置有仓门，且仓门的真没一端设置有把手。

优选的，所述抽气磊和伺服电机的外侧皆设置有保护仓，且保护仓的内部设置有减震消音棉。

优选的，所述底座顶部靠近单晶硅炉本体的一侧设置有安装块，且安装块与抽气磊相互连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该半导体级直拉单晶硅炉超高纯石墨热场可方便操作人员拿取投放物料，还可对单晶硅炉本体的内部进行快速降温冷却，并且可减少该装置在移动过程冲击力对其造成的影响；

1、通过单晶硅炉盖、卡扣、卡块和单晶硅炉本体的相互配合，可方便操作人员拿取投放物料，同时还对单晶硅炉本体的内部形成一定的密封能力，从而节省能源的消耗；

2、通过抽气磊、单晶硅炉本体、进气管、出气管、安装仓、伺服电机、连接杆、双槽皮带轮、皮带、皮带轮、转动杆、扇叶、出气管和透气网板的相互配合，可对单晶硅炉本体的内部进行快速降温冷却，同时还使单晶硅炉本体内部的物料加快成型，从而提高操作人员的工作效率；

3、通过底座、弹簧a、弹簧b、安装板和伸缩杆的相互配合，可减少该装置在移动过程冲击力对其造成的影响，使其减少该装置内部零件的损坏，从而延长使用寿命。

附图说明

图1为本发明的主视剖视图；

图2为本发明的主视图；

图3为本发明的背视图；

图4为本发明的安装仓的俯视放大图；

图5为本发明的单晶硅炉盖的仰视图；

图6为本发明的单晶硅炉的俯视图。

图中：1、底座；2、弹簧a；3、进气管；4、弹簧b；5、安装板；6、单晶硅炉本体；7、卡块；8、单晶硅炉盖；9、卡扣；10、抽气磊；11、透气网板；12、出气管；13、安装仓；14、伸缩杆；15、皮带轮；16、转动杆；17、伺服电机；18、连接杆；19、皮带；20、双槽皮带轮；21、扇叶；22、控制面板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供的实施例：一种半导体级直拉单晶硅炉超高纯石墨热场，包括底座1，底座1顶部两侧的两端对称设置有四组伸缩杆14，四组伸缩杆14的顶部共同设置有安装板5，四组伸缩杆14的外侧皆设置有弹簧b4，且弹簧b4与安装板5相互连接，底座1顶部的中间位置处设置有弹簧a2，且弹簧a2与安装板5相互连接，可减少该装置在移动过程冲击力对其造成的影响，使其减少该装置内部零件的损坏，从而延长使用寿命，安装板5顶部的一侧设置有单晶硅炉本体6，单晶硅炉本体6外侧的顶部均匀设置有卡块7，单晶硅炉本体6的顶部设置有单晶硅炉盖8，且单晶硅炉盖8与单晶硅炉本体6相互适配，单晶硅炉盖8外侧的底部均匀设置有卡扣9，且卡扣9与卡块7相互适配，可方便操作人员拿取投放物料，同时还对单晶硅炉本体6的内部形成一定的密封能力，从而节省能源的消耗，底座1顶部靠近单晶硅炉本体6的一侧设置有抽气磊10，抽气磊10的输入端设置有进气管3，且进气管3延伸至单晶硅炉本体6的内部，底座1顶部远离单晶硅炉本体6的一侧设置有安装仓13，安装仓13内部的背面一端设置有出气管12，出气管12的一端延伸至安装仓13的外部与抽气磊10的输出端相互连接，出气管12远离抽气磊10的一端延伸至安装仓13的外部与单晶硅炉本体6背面一端的顶部相互连通，安装仓13内部远离出气管12一端的中间位置处设置有伺服电机17，伺服电机17的输出端设置有连接杆18，连接杆18的外侧套设有双槽皮带轮20，安装仓13内部远离出气管12一端的两侧对称设置有转动杆16，两组转动杆16的外侧皆设置有皮带轮15，两组皮带轮15的外侧套设有皮带19，且皮带19与双槽皮带轮20相互适配，连接杆18和转动杆16远离安装仓13的一端皆设置有扇叶21，安装仓13内部的顶部设置有透气网板11，且透气网板11与安装仓13的内部和外部相互连通，可对单晶硅炉本体6的内部进行快速降温冷却，同时还使单晶硅炉本体6内部的物料加快成型，从而提高操作人员的工作效率，底座1正面一端顶部的一侧设置有控制面板22，控制面板22通过导线分别与抽气磊10和伺服电机17电连接。

进一步的，单晶硅炉盖8顶部的两侧对称设置有把手，且把手的外侧设置有防滑纹，便于转动。

进一步的，底座1底部的四角处皆设置有制动式万向轮，便于移动。

进一步的，单晶硅炉本体6正面一端的底部设置有仓门，且仓门的真没一端设置有把手，便于打开。

进一步的，抽气磊10和伺服电机17的外侧皆设置有保护仓，且保护仓的内部设置有减震消音棉，便于保护。

进一步的，底座1顶部靠近单晶硅炉本体6的一侧设置有安装块，且安装块与抽气磊10相互连接，便于安装。

工作原理：该装置用电部件皆由外接电源进行供电，首先将该装置移动到指定位置处，接通电源打开控制面板22；

在使用使，操作人员可先握紧把手带动单晶硅炉盖8进行转动，使单晶硅炉盖8带动卡扣9解除对卡块7的控制，从而拿取单晶硅炉盖8使操作人员可将物料投放至单晶硅炉本体6的内部，投放完成后，在通过单晶硅炉盖8带动卡扣9进行转动，使卡扣9对卡块7进行卡合，从而使单晶硅炉盖8对单晶硅炉本体6形成密封，通过该部件的配合可方便操作人员拿取投放物料，同时还对单晶硅炉本体6的内部形成一定的密封能力，从而节省能源的消耗；

当工作完成后，通过控制面板22打开抽气磊10，通过抽气磊10的工作对单晶硅炉本体6内部的热气抽离进入进气管3的内部，在通过进气管3进入出气管12的内部，热气通过出气管12进入安装仓13的内部，通过安装仓13内部的伺服电机17带动连接杆18进行转动，通过连接杆18带动双槽皮带轮20进行转动，通过双槽皮带轮20带动皮带19进行转动，通过皮带19带动皮带轮15进行转动，通过皮带轮15带动转动杆16进行转动，通过转动杆16和连接杆18的转动带动扇叶21进行转动，使扇叶21对出气管12内部的热气进行降温，通过扇叶21转动形成的冷力在从透气网板11的内部排除，降温后的形成的冷气在通过出气管12进入单晶硅炉本体6的内部，通过该部件的配合可对单晶硅炉本体6的内部进行快速降温冷却，同时还使单晶硅炉本体6内部的物料加快成型，从而提高操作人员的工作效率；

当需对该装置的位置进行移动时，在移动过程中凹凸不平的地面对该装置产生冲击时，通过冲力对底座1进行按压，通过底座1同时对弹簧a2、弹簧b4和伸缩杆14进行按压，通过弹簧a2和弹簧b4的弹性缓冲对凹凸不平的地面造成的冲击力进行缓冲，使其减少该装置内部零件的损坏，从而延长使用寿命，在通过弹簧a2和弹簧b4的弹性恢复力带动伸缩杆14进行复原，使伸缩杆14带动安装板5及其以上部件进行复原。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。。