用于坩埚通气体的管道支撑装置的制作方法

文档序号:26078878发布日期:2021-07-30 13:28阅读:144来源:国知局
用于坩埚通气体的管道支撑装置的制作方法

本实用新型涉及坩埚加工技术领域,尤其涉及一种用于坩埚通气体的管道支撑装置。



背景技术:

石英玻璃坩埚通常是czochralski法(cz法)拉制单晶硅棒的重要辅件,且是单晶硅生长过程中占据成本比重较高的辅料,因产品材料的特殊性,需要抑制石英玻璃坩埚制作过程中的气泡膨胀,气体的有效通入可以抑制气泡的膨胀。目前通入气体的气管未能按照预想的角度固定,如此,会使通入气体不能够充分抑制气泡膨胀。



技术实现要素:

有鉴于此,有必要提供一种能够固定通入气体管道角度的用于坩埚通气体的管道支撑装置。

一种用于坩埚通气体的管道支撑装置包括底部支撑架、上部支撑头、用于夹持气管的夹持机构,所述底部支撑架的上端与上部支撑头连接,夹紧机构设置在上部支撑头上,夹紧机构与上部支撑头套设连接,所述夹紧机构包括水平支撑杆、手柄、角度调节环、挡板、下夹板、上夹板、旋紧螺钉,所述水平支撑杆套设在上部支撑头上,水平支撑杆的第一端设有手柄,以便于转动水平支撑杆,角度调节环与水平支撑杆套设连接,角度调节环分布若干调节孔,其中一个调节孔与上部支撑头套设连接,角度调节环和挡板分别位于上部支撑头的两侧,以夹紧上部支撑头,下夹板的一侧与水平支撑杆的第二端固定连接,下夹板与上夹板的一侧枢接,下夹板和上夹板的中部设有分别设有一个凹槽,以夹放气管,下夹板和上夹板的另一侧设有螺纹孔,旋紧螺钉与螺纹孔螺纹连接,以将下夹板和上夹板固定。

优选的,所述底部支撑架包括支撑底座、支撑杆组件、第一旋紧螺母,所述支撑底座的上端与支撑杆组件的下端固定连接,支撑杆组件的上端与上部支撑头套设连接,上部支撑头的顶部设有外螺纹,第一旋紧螺母通过外螺纹与上部支撑头连接,支撑杆组件和第一旋紧螺母能够将上部支撑头夹紧。

优选的,所述支撑杆组件包括第一支撑杆、第二支撑杆、螺纹销、第二旋紧螺母,所述第一支撑杆的下端与支撑底座固定连接,第一支撑杆的上端与第二支撑杆的下端套设连接,第一支撑杆和第二支撑杆的套接处设有螺纹孔,螺纹销套设在第一支撑杆和第二支撑杆的螺纹孔内,第二旋紧螺母与螺纹销套设连接。

优选的,所述支撑底座包括支撑圆盘、支撑转盘、第三旋紧螺母,所述支撑圆盘的上表面至少设置两个定位凸台,相应的支撑转盘上设有两个定位孔,定位孔套设在定位凸台上,定位凸台上设有螺纹孔,第三旋紧螺母与定位凸台连接,以固定支撑转盘,支撑转盘的中心与第一支撑杆的下端固定连接。

优选的,所述上部支撑头在水平方向设有第一套孔,上部支撑头在竖直方向上设有第二套孔,第一套孔与水平支撑杆套设连接,第二套孔与第二支撑杆套设连接,第一套孔的侧壁上还设有弹簧销,所述弹簧销与角度调节环上的一个调节孔套设连接。

有益效果:本实用新型的用于坩埚通气体的管道支撑装置包括底部支撑架、上部支撑头、用于夹持气管的夹持机构,所述底部支撑架的上端与上部支撑头连接,夹紧机构设置在上部支撑头上,夹紧机构与上部支撑头套设连接,所述夹紧机构包括水平支撑杆、手柄、角度调节环、挡板、下夹板、上夹板、旋紧螺钉,所述水平支撑杆套设在上部支撑头上,水平支撑杆的第一端设有手柄,以便于转动水平支撑杆,角度调节环与水平支撑杆套设连接,角度调节环分布若干调节孔,其中一个调节孔与上部支撑头套设连接,角度调节环和挡板分别位于上部支撑头的两侧,以夹紧上部支撑头,下夹板的一侧与水平支撑杆的第二端固定连接,下夹板与上夹板的一侧枢接,下夹板和上夹板的中部设有分别设有一个凹槽,以夹放气管,下夹板和上夹板的另一侧设有螺纹孔,旋紧螺钉与螺纹孔螺纹连接,以将下夹板和上夹板固定。夹持机构将气管夹住,通过角度调节环能够调节气管的角度,从而使气体沿着预定的角度通入。

附图说明

图1为本实用新型的坩埚通气体的管道支撑装置的结构示意图。

图2为图1的局部放大图。

图3为图1的另一局部放大图。

图中:用于坩埚通气体的管道支撑装置10、底部支撑架20、支撑底座201、支撑圆盘2011、支撑转盘2012、第三旋紧螺母2013、支撑杆组件202、第一支撑杆2021、第二支撑杆2022、第二旋紧螺母2023、第一旋紧螺母203、上部支撑头30、夹持机构40、水平支撑杆401、手柄402、角度调节环403、调节孔4031、挡板404、下夹板405、上夹板406、旋紧螺钉407。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

请参看图1至图3,一种用于坩埚通气体的管道支撑装置10包括底部支撑架20、上部支撑头30、用于夹持气管的夹持机构40,所述底部支撑架20的上端与上部支撑头30连接,夹紧机构设置在上部支撑头30上,夹紧机构与上部支撑头30套设连接,所述夹紧机构包括水平支撑杆401、手柄402、角度调节环403、挡板404、下夹板405、上夹板406、旋紧螺钉407,所述水平支撑杆401套设在上部支撑头30上,水平支撑杆401的第一端设有手柄402,以便于转动水平支撑杆401,角度调节环403与水平支撑杆401套设连接,角度调节环403分布若干调节孔4031,其中一个调节孔4031与上部支撑头30套设连接,角度调节环403和挡板404分别位于上部支撑头30的两侧,以夹紧上部支撑头30,下夹板405的一侧与水平支撑杆401的第二端固定连接,下夹板405与上夹板406的一侧枢接,下夹板405和上夹板406的中部设有分别设有一个凹槽,以夹放气管,下夹板405和上夹板406的另一侧设有螺纹孔,旋紧螺钉407与螺纹孔螺纹连接,以将下夹板405和上夹板406固定。

进一步的,所述底部支撑架20包括支撑底座201、支撑杆组件202、第一旋紧螺母203,所述支撑底座201的上端与支撑杆组件202的下端固定连接,支撑杆组件202的上端与上部支撑头30套设连接,上部支撑头30的顶部设有外螺纹,第一旋紧螺母203通过外螺纹与上部支撑头30连接,支撑杆组件202和第一旋紧螺母203能够将上部支撑头30夹紧。

进一步的,所述支撑杆组件202包括第一支撑杆2021、第二支撑杆2022、螺纹销、第二旋紧螺母2023,所述第一支撑杆2021的下端与支撑底座201固定连接,第一支撑杆2021的上端与第二支撑杆2022的下端套设连接,第一支撑杆2021和第二支撑杆2022的套接处设有螺纹孔,螺纹销套设在第一支撑杆2021和第二支撑杆2022的螺纹孔内,第二旋紧螺母2023与螺纹销套设连接。

进一步的,所述支撑底座201包括支撑圆盘2011、支撑转盘2012、第三旋紧螺母2013,所述支撑圆盘2011的上表面至少设置两个定位凸台,相应的支撑转盘2012上设有两个定位孔,定位孔套设在定位凸台上,定位凸台上设有螺纹孔,第三旋紧螺母2013与定位凸台连接,以固定支撑转盘2012,支撑转盘2012的中心与第一支撑杆2021的下端固定连接。

进一步的,所述上部支撑头30在水平方向设有第一套孔,上部支撑头30在竖直方向上设有第二套孔,第一套孔与水平支撑杆401套设连接,第二套孔与第二支撑杆2022套设连接,第一套孔的侧壁上还设有弹簧销,所述弹簧销与角度调节环403上的一个调节孔4031套设连接。

本实用新型的用于坩埚通气体的管道支撑装置10可根据气管需要摆放的角度进行调整,在水平方向上,通过设置角度调节环403,在转动水平支撑杆401时,角度调节环403上对应的调节孔4031就会与上部支撑头30上的弹簧销套设连接,从而能够使气管在竖直平面内调整角度。通过转动上部支撑头30,可在水平面内调整气管角度,从而使气管能够按照预定角度对坩埚进行吹气。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。

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