1.一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）选取高纯石英砂作为原料，其化学组成为：sio2≥99.9%，al2o3≤0.0020%，fe2o3≤0.0005%；
（2）清洗：采用擦洗机对高纯石英砂进行洗矿，用过滤机进行脱水，清洗介质为去离子水，得到高纯石英砂；其水萃取液要求：电导率≤1μs/cm，k+/na+/cl+≤1ppm；
（3）超细磨矿：将步骤（2）中产品在搅拌磨中进行磨矿，分散介质为去离子水，同时加入产品重量1~6%的硅烷偶联剂，得到d50≤0.8μm、d100≤8μm的亚微米硅微粉料浆；
（4）泡沫化料浆制备：将步骤（3）中的产品加入到分散机中，分散机内衬为聚氨酯，叶轮为氧化锆喷涂，叶轮为双层，加入产品重量1~5%的起泡剂、0.25~1.0%的泡沫稳定剂以及0.25~1.0%泡沫粘度促进剂，搅拌10~20min后形成稳定的泡沫化料浆；
（5）烘干：将步骤（4）中的产品加入到烘干机中，托盘为氧化锆喷涂，烘干温度≤200℃；
（6）解聚及分级：将步骤（5）中的产品加入到气流粉碎机中解聚分级，得到d50≤0.5μm、d100≤5μm的亚微米硅微粉最终产品。
2.根据权利要求1所述一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）中清洗工艺中的擦洗机内衬为聚氨酯，叶轮为双层不锈钢外衬聚氨酯。
3.根据权利要求1所述一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）所述的硅烷偶联剂为a-1387和a-187按质量比为1:1~1:4混合而成。
4.根据权利要求1所述一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）和步骤（3）中去离子水电导率要求为≤1μs/cm。
5.根据权利要求1所述一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）起泡剂为季铵盐型阳离子表面活性剂，烷基链长为c12~c16；稳泡剂为磺酸类或羧酸类阴离子表面活性剂，烷基链长为c12~c18；泡沫粘度促进剂为高级烷醇，烷基链长为c12~c16。
6.根据权利要求1-5任一项所述一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法，其特征在于：所述步骤（6）解聚分级用的气流粉碎机的分级叶轮为氧化锆整体陶瓷，管道及连接处均喷涂氧化锆或聚氨酯防护材料。
7.根据权利要求1-5任一项所述一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）搅拌磨内衬及搅拌杆外衬材质为聚氨酯，磨介为高纯脉石英颗粒，其化学成份控制：sio2≥99.9%，al2o3≤0.0020%，fe2o3≤0.0005%，颗粒大小为3~30mm。