用于切割玻璃片的方法和设备与流程

用于切割玻璃片的方法和设备
1.本技术要求申请号为de102020123928.9的德国申请的优先权，其全部内容并入本文。特别是，申请人保留在本技术中恢复到de102020123928.9的公开内容的权利和/或要求基于该公开内容的主题的权利。
技术领域
2.本发明总体涉及薄玻璃的切割。特别地，本发明涉及一种用激光照射切割玻璃的方法和设备。


背景技术：

3.薄玻璃的分离标准地使用传统的刻划和断裂工艺进行。这些工艺至少有两个阶段。首先，使用划痕工具(例如划痕轮或金刚石)引入表面损伤，然后通过机械弯曲或引入热机械应力(例如通过co2激光器)沿着表面损伤分离玻璃板。
4.从de 10 2018 131 179 a1已知一种使用金刚石或类似形状的雕刻工具引入裂纹的切割工艺。使用此工艺可以生产非常坚固的边缘。另一方面，作为刻划工具的金刚石非常敏感并且可能会损坏，尤其是当其放在玻璃上时。
5.从us2013/0126576a1、wo2011/026074a1和us6327875b1已知激光诱导的张力-裂纹-分离。这些工艺对于薄玻璃通常是不稳定的，因为很难在玻璃的顶部和底部之间建立足够大的温度梯度。此外，即使是最小的温度梯度也会导致不稳定的三维变形(“隆起”)。wo2016/156235a1提出了一种非对称光束波形以获得更陡峭的温度梯度。类似地，wo2016/156234a提供了一种特别的光束波形，其中激光作用域的两个子区域与分界线横向间隔开，并且在分界线延伸穿过的作用域中框出一部分，从而薄玻璃的靠近分界线的区域和在间隔的该部分中的区域将被加热到比分界线上的区域更高的程度。
6.此外，de102017100015a1公开了一种用于分离玻璃基板的方法，其中使用脉冲激光束沿着预定的分离线以彼此相距一定距离的方式在基板中引入损伤，其中选择相邻损伤之间的平均距离以及产生一个损伤的激光脉冲的数量从而使得用于分离基板的断裂应力小于参考应力，并且由此在分离后获得的分离边缘的边缘强度大于取决于相应基板的第二参考应力。在引入损伤后，可以通过施加张力沿分离线分离基板。然而，特别是对于薄基板，存在的问题是强度已经通过穿孔被削弱的玻璃基板在处置(例如运输)期间可能以不确定的方式分离。结果，就边缘轮廓而言，其会以不受控制的方式发生分离，并且因此也可能导致边缘强度降低。原因是薄玻璃由于其固有刚度低，在处置力的作用下容易变形，因此可能会无意中引入比切割所需的力更高的拉应力。特别是，如果这些应力未沿着预先准备好的线起作用，而是与该线成一定角度偏离，则可能会发生不受控制的断裂或边缘强度降低。


技术实现要素：

7.因此，本发明的目的是即便是薄玻璃也能够在稳定的工艺中可靠地分离。该问题由独立权利要求的主题解决。在各个从属权利要求中指定了有利的实施例。因此，提供了一
种分离玻璃片的方法，其中-提供厚度至多为300μm的玻璃片，并且-用超短脉冲激光器的脉冲激光束照射玻璃片，-激光束在玻璃片内的光强度高至使得激光束沿其穿过玻璃片的路径留下丝状损伤，并且-激光束和玻璃片相对于彼此移动，使得在激光束的脉冲作用下，沿着在玻璃片上延伸的路径将丝状损伤彼此紧邻引入，并且其中-在引入丝状损伤期间，在丝状损伤处并且优选在横向于、特别是垂直于相邻的丝状损伤的路径的方向上作用在玻璃上的拉应力被施加到玻璃片的至少一个表面上，使得-在引入丝状损伤期间，玻璃片沿路径分离。
8.优选地，玻璃片的厚度至多为200μm，更优选至多为100μm。特别地，本发明还可以应用于厚度为50μm或更小、特别是至多35μm的非常薄的玻璃片。在一个实施例中，处理厚度为30μm的玻璃片。
9.玻璃片应理解为非常薄的玻璃板，由于厚度小，其固有刚度低。
10.优选地，如果玻璃片的玻璃相对于激光束的波长是透明的，则激光束可以穿过玻璃片。
11.此外，激光束可以用聚焦光学器件聚焦。因此，由于聚焦，激光束在玻璃片内部的光强度可变得足够高，使得激光束沿其穿过玻璃片的路径留下丝状损伤。
12.在引入丝状损伤期间施加拉应力可以是在引入细丝的同时施加拉应力。然而，通常可以在与引入多根细丝的时间段重叠的时间段内施加拉应力，从而在此时间重叠期间，同时进行细丝的引入和拉应力的施加。
13.为简单起见，以下将丝状损伤简称为细丝。丝状损伤可以是连续的、细的、开放的通路。同样，在材料中可能存在仅细丝状或更确切地说是线性形状的变化。还可行的是混合类型，其中空腔或材料变化沿着线延伸。例如，一种类型可以包括由强激光束的周期性自聚焦产生的以链状方式沿线排列成行的短损伤。
14.令人惊讶的是，发现用超短脉冲激光器的脉冲进行穿孔或预损伤的过程可以与分离直接连续进行，因此，这些过程可以以限定的方式组合在共同的工艺步骤中。由此，在玻璃片的玻璃经受限定的拉应力的同时在玻璃上进行穿孔。通过将拉应力与穿孔和由此产生的预弱化相结合，基板可以直接在一种设置或构造中以限定的方式弱化并直接分离。因此，可以使用超短脉冲激光器在一个步骤中实现从已建立的分离过程得到通常和所需的边缘质量。
15.特别是在拉应力的影响下，通常在引入新细丝后，裂纹就从一个细丝跳跃到下一个细丝。因此，这不仅消除了带有划痕和随后断裂的分离的通常两个阶段。由于裂纹从细丝到细丝连续移动，也避免了裂纹越过已经引入的细丝行，然后继续以不受控制的方式扩展。这能够很好地控制裂纹的进程。
16.如果玻璃片被弯曲以产生横向于路径的拉应力，则将实现对裂纹扩展的特别好的控制。为此，将玻璃片放置在具有突出部的支撑件上，使得玻璃片在突出部上弯曲。优选地，突出部是细长的，其中排列成行的细丝的路径沿着突出部的纵向方向延伸。
17.玻璃片的分离尤其还可用于定制具有所需尺寸的玻璃元件。因此，可以通过将玻
璃片与玻璃带分离来进行预处理。那么，因与玻璃带分离而产生的分离边缘不必是高质量的。
18.例如，分离边缘不必与玻璃带的边缘严格成直角。由于分离线严格遵循一个接一个排列的细丝的路径，因此，通过激光器支持的分离实现了高度的形状精度。因此，在该方法的一个实施例中提供了：在热成型工艺中生产连续的玻璃带，其中玻璃片与玻璃带分离，并且其中玻璃元件通过引入丝状损伤并将其排列成行而从玻璃片分离。
19.在此描述的方法的特别益处是使用直线分界线以及相交分界线。基本上，弯曲的分界线(角半径)也是可以想到的。
20.下面，参照附图更详细地解释本发明。
附图说明
21.图1示出了用于分离玻璃板的设备。
22.图2示出了图1中所示设备的变体。
23.图3示出了图1所示设备的另外的变体，其具有用于玻璃片的运送装置。
24.图4示出了从玻璃带分离的玻璃片。
25.图5示出了具有不同起点的两条穿孔路径的玻璃片。
26.图6示出了具有两个相交激光束路径的玻璃片。
27.图7示出了激光束的不同光束轮廓。
28.图8至11示出了用于分离玻璃片的设备的进一步实施例。
具体实施方式
29.在图1中，示出了用于执行本文所述方法的设备4。一般情况下，不限于具体的示例中所示，用于分离厚度为至多300μm的玻璃片1的设备4包括-超短脉冲激光器3，该超短脉冲激光器采用脉冲激光束5照射玻璃片1，其中玻璃相对于激光束5的波长是透明的，使得激光束5能够穿过玻璃片1，以及-聚焦光学器件7，该聚焦光学器件用于聚焦激光束5，使得激光束5在玻璃片1内的光强度变得足够高从而使得激光束5沿其穿过玻璃片1的路径留下丝状损伤9，和-使激光束5和玻璃片1相对于彼此移动的装置21，该装置，使得激光束5的脉冲沿着在玻璃片1上延伸的路径11将丝状损伤9彼此紧邻引入，以及-用于在引入丝状损伤9期间在玻璃片1上施加拉应力的装置，其中拉应力在丝状损伤9处并且在横向于相邻的丝状损伤9的路径11的方向上作用在玻璃上，使得在引入丝状损伤9期间，玻璃片1沿路径11分离。
30.根据一个实施例，超短脉冲激光器3可以以所谓的脉冲串模式操作。在这种操作模式下，激光脉冲不是作为单个脉冲发射，而是作为快速连续发射的一系列脉冲。这些脉冲一起形成脉冲包，即所谓的脉冲串。脉冲串内的脉冲频率明显高于脉冲串的重复频率。这种脉冲包的能量通常比普通单发操作中的单个脉冲略高。然而，脉冲串的脉冲包含的能量比单个脉冲要少得多。脉冲串内的脉冲能量不必是恒定的，而是也可以减少或增加。用于本文所述方法的合适的激光器是例如在1064纳米的波长下工作的掺钕钇铝石榴石激光器。根据一个实施例，超短脉冲激光器3以在1khz至1000khz范围内、优选10khz至400khz范围内、最优
选30khz至200khz范围内的重复频率操作。可以选择激光束5在玻璃片1上方沿所提供的路径11移动的重复频率和扫描速度，使得实现相邻丝状损伤9之间的期望距离，也称为“间距”。激光脉冲的合适脉冲持续时间在小于100皮秒的范围内，优选小于20皮秒。超短脉冲激光器3的典型平均功率优选在50至500瓦的范围内。根据本发明的有利发展，使用脉冲串中的超过400微焦的脉冲能量以在玻璃中产生丝状损伤9，此外，总脉冲串能量超过500微焦是有利的。
31.丝状损伤9优选地彼此隔开一定距离，即间距在1μm到10μm、优选在3μm到8μm的范围内。
32.脉冲激光器3在脉冲串模式下工作时，重复频率是脉冲串释放的重复频率。通常，脉冲持续时间基本上与激光器在单脉冲模式还是脉冲串模式下工作无关。因此，脉冲串通常具有与单脉冲模式中的脉冲相似的脉冲长度。脉冲串内的各个脉冲的频率可以在15mhz到90mhz的范围内，优选地在20mhz到85mhz的范围内，并且例如是50mhz。脉冲串的脉冲数可以在2到10个脉冲之间，例如6个脉冲。优选的重复频率、即脉冲串重复的频率在50khz到500khz的范围内。
33.如在示例中所示，设备4优选地包括支撑件15，其中玻璃片1放置在支撑件15上。支撑件15可具有带有突出部的支撑表面16，使得玻璃片1在突出部上弯曲。拉应力由玻璃片1在突出部上的弯曲部产生。
34.根据一个实施例，支撑件15包括支撑表面16，其中杆17放置在支撑表面16上，杆17形成细长的突出部，所放置的玻璃片1在突出部上弯曲。
35.玻璃片1在突出部(例如杆17)上的弯曲部导致产生了在突出部的纵向方向上延伸的弯曲轴线13。由弯曲部引起的玻璃表面上的拉应力的方向横向于、特别是垂直于弯曲轴线13延伸，因此也横向于突出部的纵向轴线延伸。
36.用于使激光束5和玻璃片1相对于彼此移动的装置21在图1中由横梁表示，其中在玻璃片1上方超短脉冲激光器3与聚焦光学器件7一起在该横梁上移动。作为激光器的移动的替代或除此之外，还可以相对于固定的激光束5移动玻璃片1，以便在玻璃片1的表面上方沿着所提供的路径11引导激光束5。为了实现玻璃片1沿着排列成行的丝状损伤9的预定路径11自发、可控地分离，路径11、进而激光束5在玻璃片1表面上方的移动方向沿突出部的纵向方向延伸，或更一般地，沿着玻璃片1的弯曲部的弯曲轴线13延伸。由于杆17上的弯曲，弯曲部的弯曲轴线13也平行于杆17的纵向轴线，或更一般地，平行于细长的突出部的纵向轴线。
37.通过引入由沿着由弯曲部产生的拉应力线排列成行的细丝9制成的穿孔，在穿孔工艺步骤中玻璃片1立即被分离。如果几何弯曲线和穿孔线在通常的制造公差范围内彼此偏离，也可以发生分离。优选地，偏差在小于1mm、优选地小于0.5mm、特别优选地小于0.3mm的范围内。
38.有利的是产生限定的弯曲部，这通过将弯曲部放置在相应形状的支撑件上来确保。此外，通常有利的是，激光束5在很大程度上垂直地撞击玻璃，从而在玻璃中形成穿孔或激光细丝。优选地，入射方向与垂直于表面的方向的偏差优选地小于5
°
。
39.假设在分离期间发生的断裂沿路径11从一个丝状损伤9跳跃到下一个丝状损伤9。这确保了断裂不会赶超过在玻璃片1上方引导的激光束5，这是因为由于前面没有另一根细
丝而使得断裂在引入的最后一根细丝9处停止。如果断裂将赶超过一排连续引入的细丝，则断裂边缘可能会由于缺乏沿细丝的引导而出现不受控制的进程。
40.在此描述的分离过程的上下文中的一个参数是玻璃片1中的拉应力，该拉应力例如由不同直径的杆17施加。因此，d＝6mm的圆杆和30μm厚的as87型玻璃可能会产生360mpa的最大拉应力，这比通常的分离强度(通常为15-35mpa，取决于激光工艺)超出了一个数量级。在一个步骤中调整激光线和机械弯曲可以对非常薄的玻璃进行可控的分离处理。
41.通常，不限于所示示例或甚至不限于通过弯曲部产生拉应力，根据一个实施例，提供在路径11的区域中在玻璃片1的至少一个表面上产生的拉应力为至少75mpa，优选至少150mpa，最优选至少250mpa。另一方面，过高的拉应力可能是不利的，因为可能会导致自破裂。优选地，施加在玻璃片1上的最大拉应力为至多750mpa。
42.下表列出了示例性实施例，利用这些示例性实施例研究了杆17的直径对在玻璃片1中产生的分离边缘的质量的影响：测试编号杆直径[mm]断裂边缘的质量评论12好 22好 32坏横向偏移(2mm)42坏横向偏移(1mm)52好 62中等 72中等 83很好 93好 103好 114很好 124好 136好 146很好 156很好 168好 178很好 [0043]
实验是在由as87玻璃制成的厚度为30μm的玻璃片1上进行的。根据表中列出的结果，使用直径为6mm的杆可获得最佳边缘。
[0044]
根据备选或附加实施例，玻璃片1在支撑件15中的台阶18上弯曲，其中丝状损伤9沿路径11引入，路径11沿台阶18延伸。由于基板在台阶18上形成斜坡，因而受到限定的拉应力。根据该实施例，图2示出了根据图1的设备4的变体。为了在分离过程之后(随后进行另一分离)通过将玻璃片1向前移动越过台阶18来以平行切口连续地分离玻璃片1，这种设备可能是有利的。
[0045]
图3示出了图1所示设备的另外的变体，该另外的变体具有进给装置或运送装置23。玻璃片1通过该进给装置或运送装置23移动。该实施例的原理基于这样一个事实，即运
送装置23被设计成使得玻璃片1在运送装置23上弯曲，其中玻璃片1的弯曲部的弯曲轴线13定向为横向于、特别是垂直于运送装置23的进给方向24。玻璃片1的弯曲特别是通过各种运送元件的布置和设计来实现的。图3中所示的示例包括作为运送元件的两条传送带25。这两条传送带被布置在不同的水平上，从而类似于图2所示的实施例那样形成了台阶，其中玻璃片1在该台阶上延伸。
[0046]
图4说明了该方法的典型应用。该方法或用于实施该方法的设备4分别可用于从玻璃片1移除玻璃元件2。因此，玻璃片1具有珠边(bead)19。珠边19代表两个相对侧上的加厚边缘区域。当将玻璃片1作为多个部分从玻璃带分离时获得这种玻璃片1，其中玻璃带在连续热成型工艺中生产。在优选的实施例中，玻璃带在下拉工艺中生产，其中玻璃带从向下开口的喷嘴拉出。珠边19是由于从喷嘴中拉出后仍然热趋收缩的软玻璃而产生的。这种收缩主要发生在玻璃带的边缘。由于珠边19，与弯曲部的弯曲轴线13平行于珠边19的纵向方向的情况相比，在弯曲部的弯曲轴线13与珠边19交叉的情况下玻璃片1具有更高的刚度。
[0047]
该方法尤其可以用于生产在形状和尺寸方面被精确限定的玻璃元件2。从图4中可以看出，玻璃片1的与珠边19交叉的边缘98、99与带有珠边的边缘100、101不完全成直角。特别是如果通过仅在玻璃带的边缘处引入短刻痕将玻璃片1与连续玻璃带分离，则会获得这种玻璃片1。然后由玻璃带中从刻痕开始的断裂产生边缘98、99，因此刻痕不一定与玻璃带的两个纵向边缘完美地成直角。另一方面，这种预切割方法允许进行快速、粗略的切割，从而实现玻璃带的高进给率。因此，不限于本文所述的示例，在该方法的一个实施例中，提供在热成型工艺中生产连续玻璃带，其中通过在玻璃带边缘处引入刻痕将玻璃片1与玻璃带分离，并且其中由从裂缝开始且横向切断玻璃带的断裂来分离玻璃片1。然后，如所描述的，可以通过沿着一个或多个预定路径11引入丝状损伤9并将其排列成行来将玻璃元件2从玻璃片1分离。
[0048]
在图4所示的示例中，在玻璃片1的外轮廓中延伸的路径11被分成更小的路径或部分111、112。路径11作为一个整体包含要从玻璃片1移除的玻璃元件2的轮廓。为了便于玻璃片1发生弯曲以在用激光束5穿孔期间产生用于分离的拉应力，通常有利的是，首先在沿珠边19延伸的部分111处分离玻璃片1，然后在横向于珠边19延伸的部分112处分离玻璃片1。也就是说，玻璃片1可以容易地在平行于珠边19延伸的突出部上弯曲，而在突出部与珠边19交叉的情况下，非常硬的珠边19也必须弯曲。优选地，在玻璃片1的至少一个边缘上引导沿珠边19延伸的部分111。在所示示例中，两个部分111甚至越过玻璃片1的两个横向边缘98、99而延伸。如果分离了珠边19，则玻璃片1也可以容易地沿与珠边19垂直的方向弯曲。不限于所示示例，一个实施例通常提供玻璃片1，该玻璃片1包括两个相对边缘100、101，该两个相对边缘100、101包括呈沿这些边缘延伸的加厚区域形式的珠边19，其中玻璃片1首先是沿着两条路径111分离，这两条路径111在带有珠边19的边缘100、101的方向上延伸，并且其中玻璃片1然后沿着至少一个另外的路径112分离，该另外的路径112在边缘方向上横向于两条路径111延伸。优选地，如图所示，分离还沿着两条路径112发生，这两条路径112横向于带有珠边19的边缘100、101延伸。在带有珠边19的边缘100、101方向上的路径111优选地平行于这些边缘100、101延伸。然而，取决于以这种方式分离的玻璃元件2的期望形状，这些路径也可以与边缘成一定角度。然而，在这种情况下，路径112或其延伸部优选地不与珠边19交叉，以避免珠边19也必须弯曲从而产生拉应力。同样，如图4所示，横向于带有珠边19的边缘
100、101延伸的路径112垂直于边缘100、101延伸。使用路径111或112(一个平行延伸，一个垂直延伸)，以这种方式可将矩形的玻璃元件2从玻璃片1分离。
[0049]
为了实现稳定的过程引导，通常有利的是，玻璃片1的切割边缘处(例如带有珠边19的玻璃带的一部分)的拉应力不超过此处存在的边缘强度，从而不会发生不可控制的断裂。边缘强度可以通过对以类似方式生产的样品进行断裂测试来确定。样品断裂时的拉应力的平均值可用作边缘强度。通常，不限于附图中所示的示例，因此提供玻璃片1受到的拉应力低于拉应力的平均值，即，使得玻璃片1的一侧边缘处撕裂的平均断裂应力。优选地，施加的拉应力不超过平均断裂应力的约2/3的值，优选不超过平均断裂应力的一半。
[0050]
在使用超短脉冲激光的过程中，该方法尤其可有两种版本。参照图5更详细地解释了该方法的这些变体。图5示出了具有两个穿孔的路径111、112(即排列成行的丝状损伤9)的玻璃片1。两条路径111、112的不同之处在于起点113不同。根据该方法的一个实施例，激光束的路径与玻璃片1的两个相对边缘100、101交叉。因此，在玻璃片1的边缘上连续引入穿孔(激光线或路径11)，即具有前进行程和后续行程。然而，可能的是，取决于切割工艺，在毛坯玻璃片1或玻璃片1的边缘处的应力可能是不确定的，使得断裂以不确定的方式开始。然而，在路径111的示例中实施的这种连续穿孔是有利的，以便产生连续的、明确界定的分离边缘。
[0051]
另一种可能性是通过路径112实施的所应用的穿孔。因此，激光束的路径112的起点113定位在玻璃片1上，并因此与玻璃片1的所有边缘间隔一定距离。因此，穿孔(激光线或路径11)起初在玻璃片1内开始，并优选地仅进行相应的后续行程。然后，在这种情况下未穿孔的第一部分出人意料地由于在拉应力下发生在剩余区域中的断裂机制而通常由自身以受控方式分离。根据一个实施例，到最近边缘的距离是1-2mm。然后优选地，在结束时在玻璃片1的边缘之一上方引导激光束，从而激光束的路径112相应地与边缘之一(在这种情况下为边缘101)交叉。
[0052]
两个实施例也可以组合，特别是可以引入两种形式的路径111、112。以此方式，可以引入在玻璃上具有起点的第一不连续切割。然后，与两个相对边缘交叉的第二路径可以与该不连续切割或路径交叉，并因此分离玻璃元件2。该实施例在图6中示出。在这种情况下，玻璃片1因此不必自发地在路径112的起点113和边缘100之间断裂。
[0053]
玻璃片1的可分离性以及由此待施加的拉应力可能受到多个参数影响，例如间距，即丝状损伤9的相互间隔。降低拉应力的一种可能性是设定激光束5的特定光束轮廓。根据一个实施例，为此目的提供了聚焦光学器件7。聚焦光学器件7在玻璃片1中产生激光束5的光束轮廓。该光束轮廓在沿着路径11的方向上比在垂直于该路径的方向上更大。通过用具有这种光束轮廓的激光束5照射玻璃片1，可以产生微裂纹的优选方向，这促进可分离性或允许在较低拉应力下的分离。不失一般性地，图7示出了激光束5的不同光束轮廓的示例，如上所述，这些光束轮廓在路径11的方向上比在垂直于路径11的方向延伸得更多。局部图像(a)示出了具有椭圆光束轮廓的激光束5，该激光束的长半轴线沿路径11的方向定向。在根据局部图像(b)的光束轮廓中，光束轮廓被分成两个单独的光点，这两个光点在沿路径11的方向上间隔开。由于这个距离，光束轮廓在路径11的方向上也比在垂直于路径11的方向延伸得更多。还可以提供相对于垂直于路径11的镜轴不对称的光束轮廓。与此相关的示例在局部图像(c)中示出。光束轮廓具有沿路径11拉长的水滴形状。例如图7中示例性示出的拉
长的光束轮廓可以促进分离，特别是在非直线路径11的情况下。
[0054]
图8至图10示出了用于分离玻璃片1的设备4的另外的实施例。图8是图1所示示例的变体。图8是其中提供了具有细长突出部的支撑件15的实施例的示例，其中突出部在激光束5的入射点的区域中具有中断，使得定位在支撑件15上的玻璃片1在激光束5的入射点处暴露。在图8的示例中，通过杆17中的凹槽27实现中断。玻璃片1跨越该凹槽27。这样，激光束5在穿过玻璃片1之后不会直接撞击杆17。这避免了对杆17的损伤。
[0055]
在目前所示的示例性实施例中，玻璃片1的弯曲部在玻璃片1的面对超短脉冲激光器3的一侧或激光束5的入射方向上产生拉应力。然而，弯曲玻璃片1以使得在玻璃片1的背离超短脉冲激光器3的一侧产生拉应力通常也是可行的。图9示出了其示例。通常，不限于所示示例，在一个实施例中提供，玻璃片1的面向超短脉冲激光器3的一侧以凹入方式弯曲。为了实现这一点，通常可以提供具有间隙29的支撑件15，其中玻璃片1拱起进入间隙29。在所示示例中，提供了运送装置或进给装置23形式的支撑件15，运送装置或进给装置23具有由间隙29分开的两条传送带25。玻璃片1在间隙29处下垂，并因此拱起进入其中。该实施例的一个优点是，当玻璃片1由于其自重而下垂时，拉应力分布在玻璃片1的相对侧的宽阔区域上，从而该布置对路径11的位置或激光束5的入射点不太敏感。这样，也可以以简单的方式实现非直线路径或分离边缘。通过沿相反方向移动传送带25或更一般地移动移动装置，还可以调整玻璃片1的弯曲半径并因此调整拉应力。然而，在这种情况下，玻璃片1的竖直位置也相对于激光束5发生变化。
[0056]
在以上参照附图描述的实施例中，通过弯曲玻璃片1在玻璃片1的至少一个表面上产生拉应力。弯曲时，在凸出弯曲侧产生拉应力，而在相对的凹入弯曲侧产生压应力。然而，也可以牵拉玻璃片1以产生拉应力。然后，向相对的两侧施加拉应力。对于技术人员明显的是，对玻璃片1的牵拉有利地发生在横向于、优选垂直于细丝路径的方向上。
[0057]
图10示出了用于实施该实施例的设备。提供牵拉装置30(在图中用两个夹钳表示)。牵拉装置30横向于路径11牵拉玻璃片1，从而在玻璃片1的两个相对表面上产生拉应力。
[0058]
图11以剖切透视图示出了用于分离开玻璃片1的设备4的另一个变体。使用该设备4，可以沿着非线性路径11分离玻璃片4。通常，该设备基于使用印模32和突出部，其中印模32和突出部彼此偏移并且放在一起，其中玻璃片1在这些放在一起的元件之间弯曲。在所示示例中，印模32是板状的，并且突出部是环34。这产生环形拉应力区，其中拉应力沿玻璃表面在径向方向上作用。这样，玻璃片1可以沿着大致环形路径11分离，例如沿着如图所示的圆形路径。对于本领域技术人员来说明显的是，该方法和设备不限于这里描述的特定示例性实施例，而是可以在所附权利要求的主题的范围内对其进行修改。尤其是，不同的实施例也可以相互组合。例如，图3中提供的运送装置23也可以设置在图1的示例中。杆17通常也可以是被动式或主动式旋转辊。此外，具有印模32和环形突出部以产生玻璃元件的非线性轮廓的示例也是示例性的。同样，关于上述示例，其他可能性也是可能的，例如施加较小的压力以产生沿至少一个玻璃表面作用的拉应力。附图标记1
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玻璃片2
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玻璃元件3ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
超短脉冲激光4
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用于分离玻璃片的设备5
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激光束7
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聚焦光学器件9
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丝状损伤11，111，112
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路径13
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弯曲轴线15
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支撑件16
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支撑表面17
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杆18
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台阶19
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珠边21
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移动装置23
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运送设备24
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进给方向25
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传送带27
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凹槽29
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间隙30
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牵拉装置32
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印模34
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环98，99，100，101
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玻璃片的边缘113
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路径11、111、112的起点