一种氩气净化工艺的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种氩气净化工艺，属于气体技术领域。
【背景技术】
[0002]前氩气高纯度净化一般采用大批量提纯的设备，产品气分装后再供不同生产部门使用，由于现有提纯设备难以实现一次性将氩气提纯净化到99.9999%的目标，而且不能在生产现场根据实际使用情况对低纯度氩气进行净化处理，所以现有大批量提纯设备不能满足生产、科研等部门的实际应用需求。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种氩气净化工艺，能够克服以上所述缺陷。
[0004]为解决以上技术问题，本发明提供如下技术方案:一种氩气净化工艺，净化工艺所涉及的设备包括氩气净化系统和脱氧剂再生系统，净化的顺序由氩气净化系统至脱氧剂再生系统，再经过氩气净化系统和脱氧剂再生系统，依次类推，多次循环后，由氩气净化系统管路末端收集口收集氩气。
[0005]进一步地，所述氩气净化系统包括通过管路连接的原料气过滤器、一级净化柱、二级净化柱、氩气风冷冷却器、氩气水冷冷却器和产品气过滤器，所述原料气过滤器安装在原料气气源与一级净化柱之间的管路上，所述一级净化柱出气口与二级净化柱进气口连接，在二级净化柱出口处并联氩气风冷冷却器和氩气水冷冷却器。
[0006]本发明涉及的这种氩气净化工艺，净化效果好。
【具体实施方式】
[0007]实施例1
一种氩气净化工艺，净化工艺所涉及的设备包括氩气净化系统和脱氧剂再生系统，净化的顺序由氩气净化系统至脱氧剂再生系统，再经过氩气净化系统和脱氧剂再生系统，依次类推，多次循环后，由氩气净化系统管路末端收集口收集氩气。
[0008]进一步地，所述氩气净化系统包括通过管路连接的原料气过滤器、一级净化柱、二级净化柱、氩气风冷冷却器、氩气水冷冷却器和产品气过滤器，所述原料气过滤器安装在原料气气源与一级净化柱之间的管路上，所述一级净化柱出气口与二级净化柱进气口连接，在二级净化柱出口处并联氩气风冷冷却器和氩气水冷冷却器。
[0009]本发明涉及的这种氩气净化工艺，净化效果好。
[0010]本发明所述的【具体实施方式】并不构成对本申请范围的限制，凡是在本发明构思的精神和原则之内，本领域的专业人员能够作出的任何修改、等同替换和改进等均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种氩气净化工艺，其特征是，净化工艺所涉及的设备包括氩气净化系统和脱氧剂再生系统，净化的顺序由氩气净化系统至脱氧剂再生系统，再经过氩气净化系统和脱氧剂再生系统，依次类推，多次循环后，由氩气净化系统管路末端收集口收集氩气。2.根据权利要求1所述的一种氩气净化工艺，其特征是，所述氩气净化系统包括通过管路连接的原料气过滤器、一级净化柱、二级净化柱、氩气风冷冷却器、氩气水冷冷却器和产品气过滤器，所述原料气过滤器安装在原料气气源与一级净化柱之间的管路上，所述一级净化柱出气口与二级净化柱进气口连接，在二级净化柱出口处并联氩气风冷冷却器和氩气水冷冷却器。
【专利摘要】本发明提供一种氩气净化工艺，净化工艺所涉及的设备包括氩气净化系统和脱氧剂再生系统，净化的顺序由氩气净化系统至脱氧剂再生系统，再经过氩气净化系统和脱氧剂再生系统，依次类推，多次循环后，由氩气净化系统管路末端收集口收集氩气。本发明涉及的这种氩气净化工艺，净化效果好。
【IPC分类】C01B23/00
【公开号】CN104925769
【申请号】CN201510307866
【发明人】覃哲贵
【申请人】柳州市山泰气体有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年6月8日