氩气净化装置的制作方法

文档序号:4972326阅读:1168来源:国知局
专利名称:氩气净化装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种气体净化的装置,特别涉及一种氩气的净 化装置。
背景技术
氩气的规格需求按国家标准分普氩(99.9%)、纯氩(99.99%)、 高纯氩(99.999%)、超纯氩(99.9999%),因为在供气站罐装杜瓦瓶 时一般会有杂质混入,造成纯度降低,所以供气站在供应不同纯度 产品时,通常以高一等级的气体供应。厂家一般设置三个液体储罐 供应三个规格的气体,超纯氩供应高纯氩,高纯氩供应纯氩,纯氩 供应普氩。液体储罐里的氩气再向杜瓦瓶罐装过程中,液体储罐和 杜瓦瓶中都会产生大量气化了的气体, 一般我们会排空释放掉,由 于高纯氩和超春氩市场价格很高,这样会造成浪费,而且以高一等 级的气体供应低一等级的气体也会造成成本的上升。 发明内容
本实用新型为了克服上述缺点,提供了可以对氩气供气站在罐 装过程中所回收的气化氩气进行净化的装置。
本实用新型的技术方案是 一种氩气净化装置包括电加热炉, 反应器,热交换器,真空泵,过滤器,其中原料氩气由热交换器进 口I进入,热交换器出口 I连接反应器进口,反应器外设有电加热
炉,反应器出口连接热交换器进口n,热交换器出口n通过管路次连接真空泵和过滤器,过滤器后连接压縮机至罐装设备。
所述反应器由组合式反应管构成,组合式反应管中填充有吸附剂。
本实用新型提供了 一种能对氩气净化提纯的装置,原料氩气首 先与经过反应器加热出来的高温气体在热交换器中换热,然后进入
电加热炉内的反应器中被加热度80(TC左右,反应器的反应管中填充 有吸附剂,氩气通过此填料层,其中的02、 C02、 CO、 N2、 H2、 CH4 等杂质被有效吸附,反应管出来的高温气体与低温气体热交换后进 一步被水冷却常温,进入由烧结镍管组成的过滤器,过滤到微米级 粉尘后进入低压缓冲罐回收。当原料采用纯氩时,通过本装置净化, 在净化的初期生产出高纯氩,中后期会生产出超纯氩,整个装置结 构简单,系统流程及操作过程简单,经济性强。

图1为本实用新型结构其中1、电加热炉,2、反应器,3、热交换器,4、冷却管, 5、真空泵,6、镍管过滤器,7、截止阀,8、连接法兰,9、流量计, 10、冷却水进口, 11、冷却水出口具体实施方式
如图1所示的氩气净化装置中,氩气进口通过管道经两个截止 阀7接入热交换器3入口 I ,其中第一个截止阀并联有一个流量计, 第二个截止阀与热交换器入口 I之间的管道上设有PI压力仪表,热 交换器出口 I通过管道和连接法兰8接入反应器2进口,反应器内 部为组合式管式反应管,反应管内填充有锆铝16吸附剂,反应器外设有电加热炉1,电加热炉上设有TIC温度显示控制仪表和TIA温度 控制仪表,反应器出口连接热交换器进口II,热交换器出口II连接 有冷却管4,冷却管上设有冷却水进口 IO与冷却水出口 11,冷却管 通过管路依次连接真空泵5和镍管过滤器6,过滤器后连接压縮机至 罐装设备,过滤器和压縮机之间还设有DA仪表、AI仪表以及放空阀 门。
权利要求1、一种氩气净化装置,其特征在于该装置包括电加热炉,反应器,热交换器,真空泵,过滤器,原料氩气经管道由热交换器进口I进入,热交换器出口I连接反应器进口,反应器外设有电加热炉,反应器出口连接热交换器进口II,热交换器出口II通过管路依次连接真空泵和过滤器,过滤器后连接压缩机。
2、 如权利要求1所述的氩气净化装置,其特征在于所述的反应 器由组合式反应管构成,组合式反应管中填充有吸附剂。
专利摘要本实用新型涉及一种氩气净化装置,该装置包括电加热炉,反应器,热交换器,真空泵,过滤器,原料氩气首先与经过反应器加热出来的高温气体在热交换器中换热,然后进入电加热炉内的反应器中被加热度,反应器的反应管中填充有吸附剂吸附杂质,反应管出来的高温气体经过热交换器进入冷却管,然后经过过滤器过滤掉微米级粉尘后进入低压缓冲罐回收。当原料采用纯氩时,通过本装置净化,在净化的初期生产出高纯氩,中后期会生产出超纯氩,整个装置结构简单,经济性强。
文档编号B01D53/04GK201284233SQ20082016183
公开日2009年8月5日 申请日期2008年10月22日 优先权日2008年10月22日
发明者刘志军, 周伟忠, 蒋建新, 金向华 申请人:苏州市金宏气体有限公司
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