玻璃装载装置、快速热处理设备及其支撑销的校准方法
【专利摘要】本发明涉及一种玻璃装载装置及具有该玻璃装载装置的快速热处理设备，还提供一种快速热处理设备的支撑销的校准方法。该玻璃装载装置包括玻璃装载装置包括固定元件、基座、支撑销及传感器，固定元件上开设有多个孔，且固定元件用于放置玻璃；基座设置在固定元件的一侧；多个支撑销设置在基座上，每个支撑销沿着对应的孔中运动，每个支撑销穿过一个孔，且多个支撑销用于支撑玻璃；传感器设置在固定元件的放置玻璃的表面上，传感器用于检测玻璃是否发生往传感器方向的偏移，玻璃的每一边上分布有至少一个传感器。上述玻璃装载装置、快速热处理设备及其支撑销的校准方法，能避免玻璃在热处理过程中产生的偏移或漂移而导致碎片的问题。
【专利说明】
玻璃装载装置、快速热处理设备及其支撑销的校准方法
技术领域
[0001]本发明涉及热处理技术领域，特别是涉及一种玻璃装载装置及具有该玻璃装载装置的快速热处理设备，还涉及一种快速热处理设备的支撑销的校准方法。
【背景技术】
[0002]快速热处理(Rapid Thermal Processing，RTA)指的是将工件加热到较高温度，根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间，然后进行快速冷却的过程。
[0003]一般地，在线式RTA设备呈U型，其具有较长的制程路径，且这种RTA拥有众多滚轮及升降系统。当RTA设备对玻璃进行快速热处理时，玻璃进去到出来必须十分的精准。
[0004]但是，由于在快速热处理过程中，需要先在高温下加热，再进行迅速冷却。高温使得玻璃产生翘曲，也会引起玻璃的漂移或偏移问题，从而导致在玻璃冷却后回到装载/卸载腔时，需要将玻璃顶起取出，由于玻璃发生漂移或偏移，在错误的位置处会导致碎片问题。
【发明内容】
[0005]基于此，有必要针对如何解决快速热处理过程中玻璃的漂移或偏移而导致的碎片的问题，提供一种玻璃装载装置及具有该玻璃装载装置的快速热处理设备，还提供一种快速热处理设备的支撑销的校准方法。
[0006]—种玻璃装载装置，所述玻璃装载装置用于装载和卸载进行热处理的玻璃，其中，所述玻璃装载装置包括:
[0007]固定元件，用于放置所述玻璃，所述固定元件上开设有多个孔；
[0008]基座，所述基座设置在所述固定元件的远离所述玻璃的一侧；
[0009]多个支撑销，多个所述支撑销设置在所述基座上，并与所述固定元件上开设的多个孔一一对应，每个所述支撑销穿过一个所述孔用于支撑所述玻璃，且每个所述支撑销沿着对应的所述孔中运动；以及
[0010]传感器，所述传感器设置在所述固定元件的放置所述玻璃的表面上，所述传感器用于检测所述玻璃是否发生往所述传感器方向的偏移，所述表面上位于所述玻璃的每一边的位置处都分布有至少一个所述传感器。
[0011]上述玻璃装载装置，通过在固定元件的靠近玻璃的表面上设置传感器，且玻璃的每边上分布有至少一个传感器，该传感器用于检测玻璃是否发生往传感器方向的偏移，从而传感器可以检测玻璃的任何一边是否发生偏移，而基座设置在固定元件的一侧，多个支撑销设置在基座上，每个支撑销穿过对应的开设在固定元件上的孔，且每个支撑销在其对应的孔中运动，从而当传感器检测到玻璃发生偏移时，相应的支撑销会在其对应的孔中运动，从而改变支撑销的位置，进而支撑销将玻璃正常顶出，避免由于玻璃的偏移或漂移而导致碎片的问题。
[0012]在其中一个实施例中，所述传感器为激光反射器。
[0013]在其中一个实施例中，所述传感器的数量为八个，所述玻璃的横截面的形状为矩形，所述玻璃的每一边上分布有两个所述传感器，且两个分布于所述玻璃的同一条边上的所述传感器呈对称分布。
[0014]在其中一个实施例中，所述孔的直径为5毫米-20毫米。
[0015]在其中一个实施例中，还包括补偿组件，所述补偿组件与所述基座连接，所述补偿组件用于带动所述基座移动，使得所述支撑销在其对应的所述孔内移动。
[0016]在其中一个实施例中，还包括控制单元，所述控制单元与所述传感器连接，且所述控制单元与所述补偿组件连接，所述控制单元用于接收所述传感器所传输的信号，且所述控制单元将接收的所述信号传输给所述补偿组件。
[0017]在其中一个实施例中，所述补偿组件为伺服电机。
[0018]一种快速热处理设备，所述快速热处理设备用于对玻璃进行热处理，其特征在于，所述快递热处理设备包括上述玻璃装置装置。
[0019]上述快速热处理设备，当进行热处理的玻璃发生偏移或漂移时，能避免由于玻璃的偏移或漂移而导致碎片的问题。
[0020]一种基于上述的快速热处理设备的支撑销的校准方法，所述快速热处理设备用于对玻璃进行热处理，所述快速热处理设备的支撑销的校准方法基于所述快速热处理设备进行，所述快速热处理设备包括玻璃装载装置，所述玻璃装载装置包括传感器、多个支撑销、基座以及固定元件;所述固定元件上开设有多个孔，且所述固定元件用于放置所述玻璃;所述基座设置在所述固定元件的一侧；多个所述支撑销设置在所述基座上，每个所述支撑销在对应的所述孔中运动，每个所述支撑销穿过一个所述孔，且多个所述支撑销用于支撑所述玻璃;所述传感器设置在所述固定元件的放置所述玻璃的表面上，所述传感器用于检测所述玻璃是否发生往所述传感器方向的偏移，所述表面上位于所述玻璃的每一边的位置处都分布有至少一个所述传感器；
[0021 ]所述快速热处理设备的支撑销的校准方法包括步骤:
[0022]传感器发送信号；
[0023]若所述传感器未接收到反馈信号，则控制支撑销在孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号。
[0024]在其中一个实施例中，所述玻璃装载装置包括控制单元和补偿组件;所述补偿组件与所述基座连接，所述补偿组件用于带动所述基座移动，使得所述支撑销在其对应的所述孔内移动;所述控制单元与所述传感器连接，且所述控制单元与所述补偿组件连接，所述控制单元用于接收所述传感器所传输的信号，且所述控制单元将接收的所述信号传输给所述补偿组件；
[0025]所述若所述传感器未接收到反馈信号，则控制支撑销在孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号的步骤包括:
[0026]若所述传感器未接收到反馈信号，则所述传感器传输控制信号给控制单元；
[0027]所述控制单元控制补偿组件运动；
[0028]所述补偿组件带动所述基座移动，使得所述支撑销在所述孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号。
[0029]上述快速热处理设备的支撑销的校准方法，通过传感器发送信号；若所述传感器未接收到反馈信号，则控制支撑销在孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号，从而实现对支撑销的校准，进而当进行热处理的玻璃发生偏移或漂移时，能避免由于玻璃的偏移或漂移而导致碎片的问题。
【附图说明】
[0030]图1为一实施例的玻璃装载装置的结构示意图；
[0031]图2为一实施例的快速热处理设备的支撑销的校准方法的流程示意图。
【具体实施方式】
[0032]如图1所示，一实施例的玻璃装载装置100包括固定元件110、基座(未示出)、支撑销(未示出)以及传感器120。玻璃装载装置100设置在快速热处理设备中，玻璃装载装置100用于装载和卸载通过快速热处理设备进行热处理的玻璃200。
[0033]具体地，固定元件110上开设有多个孔111，多个孔111在行和列方向上依次排列。固定元件110用于放置玻璃200O在本实施例中，固定元件110为石英板，且固定元件110的用于放置玻璃200的表面的形状为正方形。
[0034]基座设置在固定元件110的远离玻璃200的一侧。其中，以固定元件110的放置玻璃200的表面为基准设定X轴方向和Y轴方向，如图1所示。基座可沿着X轴和Y轴方向运动，且该基座可做远离和靠近固定元件110运动。
[0035]支撑销设置在基座上，支撑销的数量为多个，且支撑销的数量与孔111的数量相对应。基座带着支撑销在其对应的孔111中运动。每个孔111用于穿过其对应的支撑销，穿过孔111的支撑销用于支撑玻璃200，可将进行快速热处理后的玻璃200顶出。
[0036]玻璃装载装置100设置在快速热处理设备的加载腔室中，玻璃装载装置100带着玻璃200沿着各个工艺腔逐步升温，如工艺腔的个数为四个，四个工艺腔的温度分别为240 °C、350 °C、590°C以及690 °C，升温结束后，在升降系统的作用下将装载有玻璃200的玻璃装载装置100下降到工艺腔的下一层冷却腔进行自然降温冷却。玻璃装载装置100通过冷却腔后回到加载腔室。由于整个加热冷却过程中，路径较长且有升降等过程，从而会引起玻璃200的漂移或偏移问题，进而导致碎片。因此，为了解决快速热处理过程中玻璃200的漂移或偏移而导致的碎片的问题，需要测得玻璃200漂移或偏移的方向，从而改变支撑销的位置，进而将玻璃200顶出时不会产生碎片的问题。
[0037]在本实施例中，通过传感器120来检测玻璃200是否发生往传感器120的方向偏移。具体地，传感器120设置在固定元件110的放置玻璃200的表面上，且玻璃200的每一边分布有至少一个传感器120。
[0038]在本实施例中，由上述可知，玻璃200的形状为正方形，固定元件100的形状也为正方形。从而在玻璃200的每一条边附近各分布有两个传感器120，且两个分布于玻璃200的同一条边上的传感器120呈对称分布。
[0039]两个分布于玻璃200的同一条边上的传感器120呈对称分布，从而使得玻璃200的同一边上的传感器120能够很好地检测玻璃200是否发生偏移，当玻璃200发生一点偏移或漂移时，位于同一边的传感器120都能检测到，提高检测准确性。需要说明的是，玻璃200的每一边上可以各分布有一个传感器120，或者，玻璃200的每一边上也可以各分布有三个或三个以上传感器120。
[0040]此外，在本实施例中，传感器120为激光反射器，当玻璃200未发生偏移或漂移时，所有激光反射器发出信号时能接收到其反射信号，这是由于玻璃200未发生偏移或漂移时，激光反射器仍然位于玻璃200的每一边，任一激光反射器未被玻璃200覆盖。
[0041 ]当玻璃200发生偏移或漂移时，根据玻璃200偏移或漂移的方向，比如说玻璃200往X轴的正方向偏移或漂移，则位于X轴正方向的激光反射器被覆盖。当位于X轴正方向的激光反射器被覆盖时，则该激光发射器发出信号后，其并不能接收到反射信号。此时，多个支撑销在其对应的孔111中运动，多个支撑销在其对应的孔111中往X轴方向运动，直至激发反射器接收到反射信号，再通过多个支撑销将玻璃200顶出，从而避免玻璃的漂移或偏移而导致的碎片的问题。
[0042]在本实施例中，孔111的直径根据支撑销的最大校准量进行确定，优选地，孔111的直径为5毫米-20毫米。从而保证每个支撑销在其对应的孔111中有足够的空间运动，实现对多个支撑销的校准。
[0043]此外，在本实施例中，玻璃装载装置100还包括补偿组件和控制单元。具体地，补偿组件与基座连接，补偿组件用于带动基座移动，使得支撑销在其对应的孔111内移动。补偿组件带动基座沿着X轴和Y轴方向运动，且带动该基座作远离和靠近固定元件110运动。
[0044]控制单元与传感器120连接，且控制单元与补偿组件连接。控制单元用于接收传感器120所传输的信号，再将接收的该信号传输给补偿组件。当传感器120检测到玻璃200发生偏移或漂移时，则传感器120将该信号发送给控制单元，控制单元接收该信号，并对该信号进行处理，将处理了的信号发送给补偿组件，从而控制单元控制补偿组件运动，进而补偿组件带动基座移动，进而实现支撑销在对应的孔111内移动，实现支撑销的校准。
[0045]需要说明的是，在本实施例中，补偿组件为伺服电机。
[0046]由上述可知，在本实施例中的传感器120为激光反射器，以激光反射器为例，当玻璃装载装置100上玻璃200进行快速热处理以及冷却后返回到加载腔室中，八个激光反射器均工作，发出激光信号，若其中的任何一个激光反射器没有接收到反射信号，则表明玻璃200发生偏移或漂移，且偏移或漂移的方向为没有接收到反射信号的激光反射器所在的位置方向。
[0047]八个激光反射器将各自检测到的信号发送给控制单元，控制单元接收该信号。在本实施例中，设定激光反射器接收到反射信号时，显示为O;激光反射器未接收到反射信号，显示为I。从而激光反射器将各自的显示信号发给送控制单元，控制单元根据接收到的信号，确定哪个激光反射器被覆盖，从而确定玻璃200的偏移或漂移方向。若X轴正方向的激光反射器未接收到反射信号，则玻璃200向X轴的正方向发生偏移或漂移。
[0048]接着，控制单元发送信号给伺服电机，伺服电机根据控制单元发送的信号进行运动。由上述可知，玻璃200向X轴的正方向发生偏移或漂移，则控制单元控制伺服电机带动基座往X轴的正方向运动，则基座上的支撑销在其对应的孔111中运动，直至八个激光反射器均收到反射信号，完成对支撑销的校准。此时，再通过伺服电机带动基座运动，使得位于基座上的支撑销将玻璃200顶出，避免玻璃的偏移或漂移而导致碎片的问题。
[0049]需要说明的是，传感器120也可以为红外传感器等其他传感器，红外传感器直接检测玻璃200偏移或漂移的方向和距离。
[0050]上述玻璃装载装置100，通过在固定元件110的靠近玻璃200的表面上设置传感器120，且玻璃200的每个边上分布有至少一个传感器120，该传感器120用于检测玻璃200是否发生偏移，从而传感器120可以检测玻璃200的任何一个边是否发生偏移，而基座设置在固定元件110的一侧，多个支撑销设置在基座上，每个支撑销穿过对应的开设在固定元件110上的孔111，且每个支撑销在其对应的孔111中运动，从而当传感器120检测到玻璃200发生偏移时，相应的支撑销会在其对应的孔111中运动，从而改变支撑销的位置，进而支撑销将玻璃200正常顶出，避免由于玻璃200的偏移或漂移而导致碎片的问题。
[0051]一实施例的快速热处理设备，该快速热处理设备用于对玻璃进行热处理，且该快速热处理设备包括上述玻璃装载装置100。玻璃装载装置100设置在快速热处理设备的加载腔室中，玻璃装载装置100带着玻璃200沿着各个工艺腔逐步升温，如工艺腔的个数为四个，四个工艺腔的温度分别为240°(:、350°(:、590°(:以及690°(:，升温结束后，在升降系统的作用下将装载有玻璃200的玻璃装载装置100下降到工艺腔的下一层冷却腔进行自然降温冷却。玻璃装载装置100通过冷却腔后回到加载腔室。由于整个加热冷却过程中，路径较长且有升降等过程，从而会引起玻璃200的漂移或偏移问题，进而导致碎片。因此，为了解决快速热处理过程中玻璃200的漂移或偏移而导致的碎片的问题，需要测得玻璃200漂移或偏移的方向，从而改变支撑销的位置，进而将玻璃200顶出时不会产生碎片的问题。
[0052]如图2所示，一实施例的快速热处理设备的支撑销的校准方法，快速热处理设备用于对玻璃进行热处理，该校准方法包括步骤:
[0053]S1:传感器发送信号。
[0054]具体地，在本实施例中，玻璃的每一边分布有至少有一个传感器，传感器为激光反射器，激光反射器发出激光信号。
[0055]S2:判断传感器是否接收到反馈信号，若传感器接收到反馈信号，则执行S3:支撑销将玻璃顶出；若传感器未接收到反馈信号，则执行S4:控制支撑销在孔中移动，直至传感器接收到反馈信号。
[0056]具体地，在本实施例中，当其中任何一个激光反射器没有接收到反射信号，则表明玻璃发生偏移或漂移，且偏移或漂移的方向为没有接收到反射信号的激光反射器所在的位置方向。
[0057]各个激光反射器将各自检测到的信号发送给控制单元，控制单元接收该信号。在本实施例中，设定激光反射器接收到反射信号时，显示为O ;激光反射器未接收到反射信号，显示为I。从而激光反射器将各自的显示信号发给送控制单元，控制单元根据接收到的信号，确定哪个激光反射器被覆盖，从而确定玻璃的偏移或漂移方向。若X轴正方向的激光反射器未接收到反射信号，则玻璃向X轴的正方向发生偏移或漂移。
[0058]接着，控制单元发送信号给补偿组件，补偿组件根据控制单元发送的信号进行运动。由上述可知，玻璃向X轴的正方向发生偏移或漂移，则控制单元控制伺服电机带动基座往X轴的正方向运动，则基座上的支撑销在其对应的孔中运动，直至各个激光反射器均收到反射信号，完成对支撑销的校准。此时，再通过补偿组价带动基座运动，使得基座上的支撑销将玻璃顶出，避免玻璃的偏移或漂移而导致碎片的问题。
[0059]上述快速热处理设备的支撑销的校准方法，通过传感器发送信号；若所述传感器未接收到反馈信号，则控制支撑销在孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号，从而实现对支撑销的校准，进而当进行热处理的玻璃发生偏移或漂移时，能避免由于玻璃的偏移或漂移而导致碎片的问题。
[0060]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0061]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种玻璃装载装置，所述玻璃装载装置用于装载和卸载进行热处理的玻璃，其特征在于，所述玻璃装载装置包括: 固定元件，用于放置所述玻璃，所述固定元件上开设有多个孔； 基座，设置在所述固定元件的远离所述玻璃的一侧； 多个支撑销，多个所述支撑销设置在所述基座上，并与所述固定元件上开设的多个孔一一对应，每个所述支撑销穿过一个所述孔用于支撑所述玻璃，且每个所述支撑销在对应的所述孔中运动；以及 传感器，所述传感器设置在所述固定元件的放置所述玻璃的表面上，所述传感器用于检测所述玻璃是否发生往所述传感器方向的偏移，所述表面上位于所述玻璃的每一边的位置处都分布有至少一个所述传感器。2.根据权利要求1所述的玻璃装载装置，其特征在于，所述传感器为激光反射器。3.根据权利要求1所述的玻璃装载装置，其特征在于，所述传感器的数量为八个，所述玻璃的横截面的形状为矩形，所述玻璃的每一边上分布有两个所述传感器，且两个分布于所述玻璃的同一条边上的所述传感器呈对称分布。4.根据权利要求1所述的玻璃装载装置，其特征在于，所述孔的直径为5毫米-20毫米。5.根据权利要求1所述的玻璃装载装置，其特征在于，还包括补偿组件，所述补偿组件与所述基座连接，所述补偿组件用于带动所述基座移动，使得所述支撑销在其对应的所述孔内移动。6.根据权利要求5所述的玻璃装载装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元与所述传感器连接，且所述控制单元与所述补偿组件连接，所述控制单元用于接收所述传感器所传输的信号，且所述控制单元将接收的所述信号传输给所述补偿组件。7.根据权利要求5或6所述的玻璃装载装置，其特征在于，所述补偿组件为伺服电机。8.一种快速热处理设备，所述快速热处理设备用于对玻璃进行热处理，其特征在于，所述快速热处理设备包括权利要求1-7中任一项所述的玻璃装置装置。9.一种快速热处理设备的支撑销的校准方法，所述快速热处理设备用于对玻璃进行热处理，其特征在于，所述快速热处理设备的支撑销的校准方法基于所述快速热处理设备进行，所述快速热处理设备包括玻璃装载装置，所述玻璃装载装置包括传感器、多个支撑销、基座以及固定元件;所述固定元件上开设有多个孔，且所述固定元件用于放置所述玻璃;所述基座设置在所述固定元件的一侧；多个所述支撑销设置在所述基座上，每个所述支撑销在对应的所述孔中运动，每个所述支撑销穿过一个所述孔，且多个所述支撑销用于支撑所述玻璃;所述传感器设置在所述固定元件的放置所述玻璃的表面上，所述传感器用于检测所述玻璃是否发生往所述传感器方向的偏移，所述表面上位于所述玻璃的每一边的位置处都分布有至少一个所述传感器； 所述快速热处理设备的支撑销的校准方法包括步骤: 传感器发送信号； 若所述传感器未接收到反馈信号，则控制支撑销在孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号。10.根据权利要求9所述的快速热处理设备的支撑销的校准方法，其特征在于，所述玻璃装载装置还包括控制单元和补偿组件;所述补偿组件与所述基座连接，所述补偿组件用于带动所述基座移动，使得所述支撑销在其对应的所述孔内移动;所述控制单元与所述传感器连接，且所述控制单元与所述补偿组件连接，所述控制单元用于接收所述传感器所传输的信号，且所述控制单元将接收的所述信号传输给所述补偿组件； 所述若所述传感器未接收到反馈信号，则控制支撑销在孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号的步骤包括: 若所述传感器未接收到反馈信号，则所述传感器传输控制信号给控制单元； 所述控制单元控制补偿组件运动； 所述补偿组件带动所述基座移动，使得所述支撑销在所述孔中移动，直至所述传感器接收到反馈信号。
【文档编号】C03B35/00GK106007351SQ201610363891
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月27日
【发明人】常宇
【申请人】昆山国显光电有限公司