一种新型蚀刻机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及玻璃减薄设备领域，具体涉及一种新型蚀刻机。
【背景技术】
[0002]目前，液晶屏玻璃基板减薄通常采用化学蚀刻的方式实现，现有的蚀刻机采用双蚀刻槽的设计，这样的设计初衷是希望形成双循环蚀刻的目的，而在实际生产过程中由于工艺需求需要重复蚀刻的情况就不好通过机械手进行调配，不能完成工艺需求。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的就是针对目前，液晶屏玻璃基板减薄通常采用化学蚀刻的方式实现，现有的蚀刻机采用双蚀刻槽的设计，这样的设计初衷是希望形成双循环蚀刻的目的，而在实际生产过程中由于工艺需求需要重复蚀刻的情况就不好通过机械手进行调配，不能完成工艺需求之不足，而提供一种新型蚀刻机。
[0004]本实用新型包括机架、一号蚀刻槽、二号鼓泡初洗槽、三号鼓泡漂洗槽、四号鼓泡精洗槽、加热器、水冷盘管、三个鼓泡器、龙门式机械手、温度传感器和PLC控制器,一号蚀刻槽、二号鼓泡初洗槽、三号鼓泡漂洗槽和四号鼓泡精洗槽依次排列，且分别通过支架安装在机架上，且一号蚀刻槽上分别设有进酸管、进水管和排水管，二号鼓泡初洗槽、三号鼓泡漂洗槽和四号鼓泡精洗槽上分别设有进水管和排水管，加热器和水冷盘管分别安装在一号蚀刻槽内部，三个鼓泡器分别安装在二号鼓泡初洗槽、三号鼓泡漂洗槽和四号鼓泡精洗槽底部，且三个鼓泡器的出气管位于槽内部，龙门式机械手通过支架安装在机架上，且龙门式机械手的机械臂可通过轨道在四个槽上方移动，温度传感器的探头位于一号蚀刻槽内部，且温度传感器通过模拟量输入模块与PLC控制器通讯连接，PLC控制器分别通过电磁阀控制进酸管、进水管、排水管和水冷盘管的通断，且PLC控制器分别控制加热器和三个鼓泡器的启停和工作时间。
[0005]本实用新型优点是:将原有的双蚀刻槽设计改为单蚀刻，使得循环更加清晰，能满足复杂蚀刻工艺需求，且单循环蚀刻运行更加稳定。
[0006]
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0008]如图1所不,本实用新型包括机架1、一号蚀刻槽2、二号鼓泡初洗槽3、三号鼓泡漂洗槽4、四号鼓泡精洗槽5、加热器6、水冷盘管7、三个鼓泡器8、龙门式机械手9、温度传感器10和PLC控制器11, 一号蚀刻槽2、二号鼓泡初洗槽3、三号鼓泡漂洗槽4和四号鼓泡精洗槽5依次排列，且分别通过支架安装在机架上，且一号蚀刻槽2上分别设有进酸管、进水管和排水管，二号鼓泡初洗槽3、三号鼓泡漂洗槽4和四号鼓泡精洗槽5上分别设有进水管和排水管，加热器6和水冷盘管7分别安装在一号蚀刻槽2内部，三个鼓泡器8分别安装在二号鼓泡初洗槽3、三号鼓泡漂洗槽4和四号鼓泡精洗槽5底部,且三个鼓泡器8的出气管位于槽内部，龙门式机械手9通过支架安装在机架I上，且龙门式机械手9的机械臂可通过轨道在四个槽上方移动，温度传感器10的探头位于一号蚀刻槽2内部,且温度传感器10通过模拟量输入模块与PLC控制器11通讯连接，PLC控制器11分别通过电磁阀控制进酸管、进水管、排水管和水冷盘管7的通断，且PLC控制器11分别控制加热器6和三个鼓泡器8的启停和工作时间。
[0009]工作原理:一号蚀刻槽2内加氢氟酸溶液，PLC控制器11通过加热器6和水冷盘管7控制氢氟酸溶液的温度符合工艺要求，玻璃基板在一号蚀刻槽2内蚀刻完成后，PLC控制器11控制龙门式机械手9将玻璃基板移动到二号鼓泡初洗槽3中初洗，初洗完成后，PLC控制器11控制龙门式机械手9将玻璃基板移动到三号鼓泡漂洗槽4中进行漂洗，同时PLC控制器11控制龙门式机械手9往一号蚀刻槽2内加装玻璃基板，漂洗完成后，PLC控制器11控制龙门式机械手9将玻璃基板移动到四号鼓泡精洗槽5中精细，即完成了玻璃基板的减薄蚀刻操作。
【主权项】
1.一种新型蚀刻机，其特征在于它包括机架(I)、一号蚀刻槽(2)、二号鼓泡初洗槽(3)、三号鼓泡漂洗槽(4)、四号鼓泡精洗槽(5)、加热器(6)、水冷盘管(7)、三个鼓泡器(8、龙门式机械手(9)、温度传感器(10)和PLC控制器(11), 一号蚀刻槽(2)、二号鼓泡初洗槽(3)、三号鼓泡漂洗槽(4)和四号鼓泡精洗槽(5)依次排列，且分别通过支架安装在机架上，且一号蚀刻槽(2)上分别设有进酸管、进水管和排水管，二号鼓泡初洗槽(3)、三号鼓泡漂洗槽(4)和四号鼓泡精洗槽(5)上分别设有进水管和排水管，加热器(6)和水冷盘管(7)分别安装在一号蚀刻槽(2)内部，三个鼓泡器(8)分别安装在二号鼓泡初洗槽(3)、三号鼓泡漂洗槽(4)和四号鼓泡精洗槽(5)底部，且三个鼓泡器(8)的出气管位于槽内部，龙门式机械手(9)通过支架安装在机架(I)上，且龙门式机械手(9)的机械臂可通过轨道在四个槽上方移动，温度传感器(10)的探头位于一号蚀刻槽(2)内部，且温度传感器(10)通过模拟量输入模块与PLC控制器(11)通讯连接，PLC控制器(11)分别通过电磁阀控制进酸管、进水管、排水管和水冷盘管(7)的通断，且PLC控制器(11)分别控制加热器(6)和三个鼓泡器(8)的启停和工作时间。
【专利摘要】一种新型蚀刻机，其特征在于它包括机架（1）、一号蚀刻槽（2）、二号鼓泡初洗槽（3）、三号鼓泡漂洗槽（4）、四号鼓泡精洗槽（5）、加热器（6）、水冷盘管（7）、三个鼓泡器（8、龙门式机械手(9)、温度传感器(10)和PLC控制器(11) 。优点是：将原有的双蚀刻槽设计改为单蚀刻，使得循环更加清晰，能满足复杂蚀刻工艺需求，且单循环蚀刻运行更加稳定。
【IPC分类】C03C15-00
【公开号】CN204400829
【申请号】CN201520038539
【发明人】张秀喜, 戴凤辉, 张治国
【申请人】湖北鸿创科技有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2015年1月21日