带测距的石英玻璃制砣机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种带测距的石英玻璃制砣机。
【背景技术】
[0002]石英玻璃具有特殊的光谱透过性能，热膨胀系数低、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀，在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。石英玻璃可采用氢氧焰或等离子体为热源，原料可采用水晶粉在石英基底表面分布熔融制备而成；或采用含硅前驱体(通常为SiCl4)原料经水解或氧化反应产生的S12纳米颗粒在石英基底表面沉积熔融制备而成。石英玻璃制砣机是制备上述石英玻璃的关键设备，其结构直接影响石英玻璃产品的尺寸、性能和成品率。
[0003]现有技术中公开了一种合成石英玻璃的制砣机，它由上至下依次设置有驱动电机、主轴箱、立柱及底座。在立柱内垂设有滚珠丝杠，该滚珠丝杠的顶端与主轴箱连接，底端固定有轴承座。滚珠丝杠上套设有升降座，升降座上设置有主轴和主轴电机。主轴电机与主轴驱动连接，以驱动主轴转动。主轴上设置有用于安装外部沉积基底的连接部，合成石英玻璃的熔制过程在沉积基底上进行。立柱上设有光栅尺，制砣机通过光栅尺对升降座的升降进行检测。
[0004]在实现上述技术方案的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题:光栅尺在工业环境下使用极易损坏，光栅尺的环境耐受性较差，使用寿命短。
【实用新型内容】
[0005]有鉴于此，本实用新型提供一种带测距的石英玻璃制砣机，主要目的在于解决现有技术中制砣机的测距装置极易损坏，使用寿命短的技术问题。
[0006]为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案:
[0007]本实用新型的实施例提供一种带测距的石英玻璃制砣机，包括:
[0008]底座；
[0009]升降座；
[0010]主轴，可转动地竖直设置在升降座上，所述主轴上设有连接部，所述连接部用于安装制备石英玻璃的沉积基底；
[0011]升降机构，设置在底座上，升降机构的输出端与升降座连接，以驱动升降座升降；
[0012]旋转编码器；
[0013]升降动力装置，其一个输出端分别与所述升降机构的输入端和所述旋转编码器的输入轴驱动连接。
[0014]本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0015]前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，
[0016]升降动力装置的输出端连接有输出轴；
[0017]输出轴上固定地套置有主动齿轮；
[0018]旋转编码器的输入轴上固定地套置有第一测距齿轮；
[0019]主动齿轮与第一测距齿轮驱动连接。
[0020]前述的带测距的石英玻璃制砣机，还包括:
[0021]第一传动轴，可转动地设置在底座上，第一传动轴上分别固定地套置有第一传动齿轮和第二测距齿轮；
[0022]其中，第二测距齿轮与第一测距齿轮啮合传动；主动齿轮与第一传动齿轮传动连接。
[0023]前述的带测距的石英玻璃制砣机，还包括:
[0024]第二传动轴，可转动地设置在底座上，第二传动轴上固定地套置有第二传动齿轮，第二传动齿轮置于第一传动齿轮和主动齿轮之间，主动齿轮与第二传动齿轮啮合传动，第二传动齿轮与第一传动齿轮啮合传动。
[0025]前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，升降机构包括:
[0026]升降丝杠，可升降地竖直设置在底座上，升降丝杠作为升降机构的输出端；
[0027]丝杠螺母，套设在升降丝杠上，且与升降丝杠的外壁螺纹连接，丝杠螺母可转动地设置在底座上，丝杠螺母的外环设有齿轮结构；
[0028]其中，齿轮结构与第一传动齿轮嗤合传动。
[0029]前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，
[0030]底座包括基座和设置在基座上的传动箱，传动箱具有内腔；
[0031]升降丝杠穿过传动箱；
[0032]内腔的上腔壁上设有与丝杠螺母的上端相适配的第一轴孔，内腔的下腔壁上设有与丝杠螺母的下端相适配的第二轴孔；
[0033]丝杠螺母置于传动箱内部，丝杠螺母的上端插入第一轴孔内，丝杠螺母的下端插入第二轴孔内；
[0034]丝杠螺母下端的侧壁沿径向向内凹陷形成第一卡台，第一卡台与第二轴孔的上端面转动配合；
[0035]丝杠螺母在两端之间的外环壁上设有的齿轮结构。
[0036]前述的带测距的石英玻璃制砣机，还包括:
[0037]推力球轴承，设置在传动箱内，推力球轴承的内圈作为的第二轴孔，推力球轴承上环的端面作为第二轴孔的上端面。
[0038]前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，升降动力装置包括:
[0039]谐波减速机，设置在传动箱上，谐波减速机包括第一输入端、第二输入端和输出端；谐波减速机的输出端作为升降动力装置的输出端；
[0040]第一升降电机，其输出端与第一输入端驱动连接；
[0041]第二升降电机，其输出端与第二输入端驱动连接。
[0042]借由上述技术方案，本实用新型带测距的石英玻璃制砣机至少具有以下有益效果:
[0043]在本实用新型实施例提供的技术方案中，因为升降机构的输入端和旋转编码器的输入轴分别与升降动力装置的同一个输出端连接，旋转编码器通过对升降动力装置的同一个输出端输出的速度和位移进行检测，能够间接地对升降机构的升降速度和位移进行测试。相对于现有技术中的光栅尺，旋转编码器的环境耐受性较高，易于密封，在工业环境下的使用寿命较长。
[0044]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
【附图说明】
[0045]图1是本实用新型的一实施例提供的一种带测距的石英玻璃制砣机的结构示意图；
[0046]图2是本实用新型的一实施例提供的一种带测距的石英玻璃制砣机的部分结构示意图；
[0047]图3是图2中A处的放大结构示意图。
【具体实施方式】
[0048]为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0049]如图1和图2所示，本实用新型的一个实施例提出的一种带测距的石英玻璃制砣机，包括底座1、升降座8、主轴17、升降机构、旋转编码器24和升降动力装置。主轴17可转动地竖直设置在升降座8上，主轴17上设有用于安装石英玻璃的沉积基底的连接部18。升降机构设置在底座I上，升降机构的输出端与升降座8连接，以驱动升降座8升降。升降动力装置的一个输出端分别与升降机构的输入端以及旋转编码器24的输入轴驱动连接。
[0050]旋转编码器24是可以实现高精度速度和位移测试的装置，光电式旋转编码器24通过光电转换，可将输出轴的角位移、角速度等机械量转换成相应的电脉冲以数字量输出(REP)。在上述实施例提供的技术方案中，因为升降机构的输入端和旋转编码器24的输入轴分别与升降动力装置的同一个输出端驱动连接，旋转编码器24通过对升降动力装置的同一个输出端输出的位移进行检测，根据传动比可以计算出升降机构的升降位移。相对于现有技术中的光栅尺，旋转编码器24的环境耐受性较高，易于密封，在工业环境下的使用寿命较长。旋转编码器24的具体结构为现有技术中的常用技术，可以根据需要在现有技术中进行选取，在此不再赘述。
[0051]这里需要说明的是:上述的旋转编码器可以为增量式旋转编码器，增量式旋转编码器是将位移转换成周期性的电信号，再把这个电信号转变成计数脉冲，用脉冲的个数表示位移的大小。当增量式旋转编码器不动或停电时，依靠计数设备的内部记忆来记住位置。上述的旋转编码器也可以为绝对式旋转编码器，具有与每个位置对应的唯一性，无需掉电记忆。
[0052]具体在实施时，如图2和图3所示，前述的升降动力装置的输出端可以连接有输出轴。该输出轴上固定地套置有主动齿轮21。旋转编码器24的输入轴上固定地套置有第一测距齿轮262。主动齿轮21与第一测距齿轮262驱动连接。在本实施例中，通过齿轮进行传动，其传动精度较高。
[0053]从上文的描述，如图2和图3所示，本实用新型实施例的石英玻璃制砣机可以包括第一传动轴25，第一传动轴25可转动地设置在底座I上。第一传动轴25上分别固定地套置有第