镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构的制作方法

文档序号:10029785阅读:443来源:国知局
镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线技术领域,尤其涉及一种新的边部气体隔离结构。
【背景技术】
[0002]气体隔离是低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线中非常重要的结构,一方面是为防止镀膜区气压不均而造成气流窜动,另一方面是为了阻止相邻阴极位工艺镀膜时工艺气体和溅射物的互窜而造成污染。
[0003]边部气体隔离是气体隔离的一种,安装在相邻镀膜隔室之间的隔板上。
[0004]—般的低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线中边部气体隔离结构复杂,安装麻烦,边部隔离板的高度不好调节,给装配和维护工作带来很大的不便。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型旨在提供边部气体隔离结构,以解决现有技术中存在的结构复杂,安装麻烦,边部隔离板的高度不好调节的问题。
[0006]为了达成上述目的,提供了一种镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,包括边部隔离板,角钢,固定螺钉,顶紧螺钉,及定位螺钉,所述角钢调节好高度,用所述顶紧螺钉固定在隔板上,所述边部隔离板用定位螺钉安装在所述角钢上,所述固定螺钉再把所述边部隔离板和所述角钢固定。
[0007]—些实施例中,所述边部隔离板设有沿长度方向对称布置若干沉头孔,通过所述固定螺钉和所述角钢连接。
[0008]—些实施例中,所述边部隔离板下面有若干圆形槽,作为安装时定位使用。
[0009]—些实施例中,所述边部隔离板的两边长度方向有倒角。
[0010]—些实施例中,所述角钢和所述隔离板接触的一边沿长度方向布置着若干个螺纹孔,其中一些螺纹孔用于安装所述固定螺钉,另一些螺纹孔安装所述定位螺钉。
[0011]—些实施例中,所述角钢的另一边沿着长度方向布置若干圆孔,每个圆孔的一侧焊接一个螺母,把所述顶紧螺钉拧进螺母并预紧,即可使角钢固定在隔板上。
[0012]—些实施例中,所述角钢包括第一角钢和第二角钢,对称安装在两个腔室之间隔板上。
[0013]在以往常用的结构中,存在着边部隔离板的高度不好调节、安装困难的问题,同时腔体隔板上要加工很多螺纹孔,加工量较大。本实用新型很好的解决了以上问题,本实用新型结构简单,安装方便,高度可调,腔体隔板上不用攻螺纹孔,节约成本,连接可靠。
[0014]以下结合附图,通过示例说明本实用新型主旨的描述,以清楚本实用新型的其他方面和优点。
【附图说明】
[0015]结合附图,通过下文的详细说明,可更清楚地理解本实用新型的上述及其他特征和优点,其中:
[0016]图1为根据本实用新型实施例的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构的主视图
[0017]图2为根据本实用新型实施例的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构的俯视图;
[0018]图3为根据本实用新型实施例的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构的安装效果图。
【具体实施方式】
[0019]参见本实用新型具体实施例的附图,下文将更详细地描述本实用新型。然而,本实用新型可以以许多不同形式实现,并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反,提出这些实施例是为了达成充分及完整公开,并且使本技术领域的技术人员完全了解本实用新型的范围。
[0020]现参考附图详细说明根据本实用新型实施例的一种镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构。
[0021]如图所示,包括边部隔离板,角钢,固定螺钉,顶紧螺钉,及定位螺钉,所述定位螺钉安装在所述角钢对应的螺纹孔上,所述角钢安装在隔板两侧,调节好角钢高度,用所述顶紧螺钉把所述角钢固定在腔体隔板上,提供所述固定螺钉将所述边部隔离板放置在所述角钢上。
[0022]所述边部隔离板设有沿长度方向对称布置若干沉头孔,通过所述固定螺钉和所述角钢连接。所述边部隔离板下面有若干圆形槽,作为安装时定位使用。所述边部隔离板的两边长度方向有倒角。所述角钢和所述隔离板接触的一边沿长度方向布置着若干个螺纹孔,其中一些螺纹孔用于安装所述固定螺钉,另一些螺纹孔安装所述定位螺钉。所述角钢的另一边沿着长度方向布置若干圆孔,每个圆孔的一侧焊接一个螺母,把所述顶紧螺钉拧进螺母并预紧,即可使角钢固定在隔板上。所述角钢包括第一角钢和第二角钢,对称安装在两个腔室之间隔板上。
[0023]如图所示,所述边部气体隔离结构包括边部隔离板1、角钢2、固定螺钉3、顶紧螺钉4、定位螺钉5。把定位螺钉安装在角钢2和角钢3对应的螺纹孔上。
[0024]角钢2分别安装在隔离板I两侧,调节好角钢2的高度,用顶紧螺钉4把角钢2分别对称固定在腔体隔板上。
[0025]边部隔离板I放置在角钢2上,安装时要注意定位螺钉5和边部隔离板下部的圆形槽位置要一一对应。用固定螺钉4把边部隔离板固定在角钢2上。
[0026]在以往常用的结构中,存在着边部隔离板的高度不好调节、安装困难的问题,同时腔体隔板上要加工很多螺纹孔,加工量较大。本实用新型很好的解决了以上问题,本实用新型结构简单,安装方便,高度可调,腔体隔板上不用攻螺纹孔,节约成本,连接可靠。
[0027]以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解,本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化。凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案,皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,其特征在于,包括边部隔离板,角钢,固定螺钉,顶紧螺钉,及定位螺钉,所述定位螺钉安装在所述角钢对应的螺纹孔上,所述角钢安装在隔板两侧,调节好角钢高度,用所述顶紧螺钉把所述角钢固定在腔体隔板上,所述固定螺钉将所述边部隔离板放置在所述角钢上。2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,其特征在于,所述边部隔离板设有沿长度方向对称布置若干沉头孔,通过所述固定螺钉和所述角钢固定。3.根据权利要求2所述的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,其特征在于,所述边部隔离板下面有若干圆形槽,作为安装时定位使用。4.根据权利要求3所述的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,其特征在于,所述边部隔离板的两边长度方向有倒角。5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,其特征在于,所述角钢和所述隔离板接触的一边沿长度方向布置着若干个螺纹孔,其中一些螺纹孔用于安装所述固定螺钉,另一些螺纹孔安装所述定位螺钉。6.根据权利要求5所述的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,其特征在于,所述角钢的另一边沿着长度方向布置若干圆孔,每个圆孔的一侧焊接一个螺母,把所述顶紧螺钉拧进螺母并预紧,即可使角钢(2)固定在隔板上。7.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,其特征在于,所述角钢包括第一角钢和第二角钢,对称安装在两个腔室之间隔板上。
【专利摘要】一种镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,包括边部隔离板,角钢,固定螺钉,顶紧螺钉,及定位螺钉,所述定位螺钉安装在所述角钢对应的螺纹孔上,所述角钢安装在隔板两侧,调节好角钢高度,用所述顶紧螺钉把所述角钢固定在腔体隔板上,所述固定螺钉将所述边部隔离板放置在所述角钢上。本实用新型结构简单,安装方便,高度可调,腔体隔板上不用攻螺纹孔,节约成本,连接可靠。
【IPC分类】C03C17/00
【公开号】CN204939284
【申请号】CN201520593839
【发明人】王贝, 屠友明, 葛治亮
【申请人】中国建材国际工程集团有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年8月7日
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