专利名称：玻璃基片装载装置及立式镀膜装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及铜铟镓硒薄膜电池设备领域，特别是涉及玻璃基片装载装置及立式镀膜装置。
背景技术：
薄膜太阳能电池成本低重量轻，能在多种便宜的衬底上制备成器件，便于大规模生产，铜铟镓硒薄膜太阳能电池能够同时兼顾高效率和低成本，在大规模光伏发电应用中具有可持续发展的能力。传统的铜铟镓硒薄膜电池的制备方法一般包括如下步骤在玻璃衬底的一侧形成金属背电极层；采用溅射法或者蒸发法在金属背电极层上形成铜铟镓硒光吸收层；在铜铟镓硒光吸收层上形成缓冲层；在缓冲层上形成阻挡层；最后在阻挡层表面上形成窗口层以 及栅电极等。其中，蒸发法形成铜铟镓硒光吸收层的一般方法是，把镀有钥电极的玻璃衬底加热到550°C左右，再在真空中分别加热铜源、铟源、镓源和硒源，产生铜蒸汽、铟蒸汽、镓蒸汽和硒蒸汽，使铜元素、铟元素、镓元素和硒元素分别沉积到衬底上，从而生成铜铟镓硒Cu(InGa) Se2光吸收层。传统的铜铟镓硒薄膜电池生产流水线一般通过一个玻璃基片装载装置将玻璃基片固定后，依次送入各个镀膜室中镀膜。该玻璃基片装载装置通过设置与玻璃厚度相配的通槽将玻璃基片固定在玻璃基片装载装置的框架内，或者通过挂钩将玻璃悬挂固定在玻璃基片装载装置内。在此过程中，当玻璃基片加热到500°C以上时，玻璃会因高温加热膨胀，膨胀后的玻璃因挤压而变形，进而影响整个电池的质量。
发明内容
基于此，有必要提供一种能防止玻璃基片在高温膨胀后因挤压而变形的玻璃基片装载装置，还提供了一种应用了该玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。—种玻璃基片装载装置，可以在轨道上移动，其包括与地面垂直设置的框架，所述框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，所述窗口的尺寸大于所述玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与所述框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与所述玻璃基片的顶部可转动相连，所述两个连接件的两个另一端的间距随着所述玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着所述玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于所述框架位于所述窗口的底部，所述限位件上开设有收容所述玻璃基片的底部的凹槽。在其中一种实施方式中，所述连接件的一端开有安装孔，所述框架位于所述窗口的顶部开设有收容孔，所述连接件通过穿过所述安装孔和所述收容孔的螺栓可转动地连接于所述框架位于所述窗口的顶部；所述连接件的另一端设有活动穿设于所述玻璃基片的连接柱。在其中一种实施方式中，还包括套设于所述连接柱末端的螺母。在其中一种实施方式中，所述限位件的横截面为U形或L形。在其中一种实施方式中，所述限位件的个数为两个，每一限位件与一个连接件对
应设置。一种立式镀膜装置，包括依次相连的进样室、预热过渡室、加热室、镀膜室、降温室、过渡室及出样室；还包括玻璃基片传动装置，所述玻璃基片传动装置包括工作导轨、返回导轨、两个平移架、两个平移车及如权利要求I所述的玻璃基片装载装置，所述工作导轨依次穿设于所述进样室、预热过渡室、加热室、镀膜室、降温室、过渡室及出样室，所述返回导轨的两端与所述工作导轨的两端分别通过所述两个平移架相连，并构成一个闭合回路， 所述两个平移车分别活动安装在所述两个平移架上，所述玻璃基片装载装置在工作导轨上移动，并通过其中一个平移车移动到所述返回导轨，再通过另一个平移车返回所述工作导轨。在其中一种实施方式中，所述降温室、过渡室和出样室内的工作导轨的数量为多条，从所述镀膜室移出的玻璃基片装载装置通过一导向装置进入其中一条工作导轨。在其中一种实施方式中，所述进样室的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直并可沿所述悬停导轨的延伸方向滑动的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述平移车运送至所述进样室的多个玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上，并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置依次转移至所述预热过渡室的工作导轨上。在其中一种实施方式中，所述出样室中的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述过渡室的工作导轨上的玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上的；并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置转送到所述平移车上。在其中一种实施方式中，所述进样室的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直并可沿所述悬停导轨的延伸方向滑动的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述平移车运送至所述进样室的多个玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上，并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置依次转移至所述预热过渡室的工作导轨上；所述降温室、过渡室内的工作导轨的数量为多条，从所述镀膜室移出的玻璃基片装载装置通过一导向装置进入其中一条工作导轨；所述出样室中的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述过渡室的工作导轨上的玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上的；并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置转送到所述平移车上。玻璃基片装载装置和立式镀膜装置在形成铜铟镓硒光吸收层时，由于玻璃基片是由两个连接件可活动地悬挂在玻璃基片装载装置的框架内，当玻璃基片受热膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件连接在玻璃基片一端的间距也会增大，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。当玻璃基片冷却收缩时，两个连接件连接在玻璃基片的一端的间距随着玻璃基片的横向间距变小而变小。即铜铟镓硒光吸收层不会因为玻璃基片变形影响镀膜质量。更进一步的，由于玻璃基片装载装置中的为悬挂状态，在镀膜时，玻璃基片直立通过镀膜室，在生产的过程中未形成合金的铜、铟、镓、硒单质杂质不会掉在玻璃基片，使得生长的膜层质量更好更稳定。
图I为一实施方式的玻璃基片装载装置的结构示意图；图2为图I所示的玻璃基片装载装置的局部放大示意图；图3为图I所示的限位件的横截面示意图；图4为另一实施方式的限位件的横截面示意图；图5为另一实施方式的玻璃基片装载装置结构示意图；图6为图I所示的玻璃基片装载装置的在未膨胀时的局部放大示意图；图7为实施例一的立式镀膜装置结构示意图；图8为实施例二的进样室和出样室示意图；图9为实施例三的降温室、过渡室和出样室示意图；图10为实施例四的进样室、降温室、过渡室和出样室示意图。
具体实施例方式下面结合实施例及附图，对玻璃基片装载装置及应用该玻璃基片装载装置的立式镀膜装置做进一步详细的说明。请参阅图1，一实施方式的玻璃基片装载装置100主要用于装载玻璃基片300。玻璃基片装载装置100包括框架110，两个连接件120和两个限位件130。框架110大致为长方形，其与地面垂直设置。框架110上开设有用于收容玻璃基片300的窗口 112。本实施例中，玻璃基片300为长方形，因此窗口 112也大致为长方形。窗口 112的尺寸大于玻璃基片300的尺寸，即窗口 112的长度和宽度都比玻璃基片300的长度和览度要大。请参阅图2，本实施例中，连接件120的形状类似于短杆。每个连接件120的一端开设安装孔122 (见图6)，框架110位于窗口 112的顶部开设有两个安装孔114，通过穿过安装孔122和安装孔114的螺栓124可以将连接件120的一端与框架110位于窗口 112的顶部可转动相连。每个连接件120的另一端设有连接柱126，玻璃基片300的顶部设有两个通孔(图未示)，每一连接柱126穿过一个通孔，由此将连接件120的另一端与玻璃基片300的顶部可转动相连。其中，两个安装孔114之间的间距宽度大于设置在玻璃基片300的顶部的两个通孔之间的间距，两个连接件120成倒八字型。(见图6)。为了防止玻璃基片300脱离连接件120，本实施例中还可以在连接柱126的末端套设螺母128。可以理解，在其他的实施例中，将连接柱126的末端向上弯曲形成一个挂钩，从而将玻璃基片300悬挂在框架110内，此时，螺母128也可以省略。两个限位件130间隔设于框架110位于窗口 112的底部。请同时参阅图3和图4，限位件130上开设有用于收容玻璃基片300的底部的凹槽132。凹槽132的横截面可以为U形或L形，玻璃基片300的底部可以插入凹槽132内，但不与凹槽132的底部相接触。限位件130起到限制玻璃基片300的活动范围，保持玻璃基片300的竖直状态的作用。可以理解，在其他的实施例中，限位件130的横截面还可以为其他形状。限位件130的数量也可以是一个或多于两个。根据生产的需要，也可以在将玻璃基片装载装置100做成可以同时悬挂两片及两片以上的玻璃基片的大小，其组装方式与上述组装方式相同。图5为悬挂了两片玻璃基片300的玻璃基片装载装置100的示意图。请参阅图6，由于两个连接件120分别与框架110和玻璃基片300的可转动相连，使得连接件120分别与框架110和玻璃基片300可以相对运动。当玻璃基片300悬挂在连接件120上时，由于两个安装孔114之间的间距宽度大于设置在玻璃基片300的顶部的两个通孔之间的间距，两个连接件120成倒八字型；而当玻璃基片300在形成铜铟镓硒光吸收层时，玻璃基片300被加热到500°C或者更高温度时，此时玻璃基片300会受热膨胀，玻璃基片300的宽度会增加，由于两个连接件120是可转动地连接在框架110上，两个连接件120 连接玻璃基片300的一端的间距也变大，处于两个连接件120之间的玻璃基片300可以往两边延伸，使得玻璃基片300不会因受热膨胀导致挤压变形。受热后玻璃基片300处于膨胀状态，两个连接件120成倒八字型可以使玻璃基片300受力更小。当温度下降，玻璃基片300恢复原状，两个连接件120的间距也会缩小，恢复到初始状态。所以在形成铜铟镓硒光吸收层的过程中不会因为玻璃基片300变形而影响镀膜质量，因此整个电池的质量也不会被影响。更进一步的，由于玻璃基片装载装置100中的玻璃基片300为悬挂状态，在镀膜时，玻璃基片300直立通过镀膜室，在生产的过程中杂质不易掉在玻璃基片300，使得生长的膜层质量更好更稳定。如图7所示，实施例一的应用了玻璃基片装载装置100的立式镀膜装置200，包括进样室210，预热过渡室220，加热室230，镀膜室240，降温室250，过渡室260，出样室270。进样室210，预热过渡室220，加热室230，镀膜室240，降温室250，过渡室260及出样室270依次首尾相连。镀膜室240进一步包括依次相连的第一镀膜244、第二镀膜室246和第三镀膜室248。立式镀膜装置200还包括玻璃基片传动装置280。玻璃基片传动装置280包括依次穿设于上述各室的工作导轨281和与工作导轨281平行设置的返回导轨289。玻璃基片传动装置280还包括设于进样室210前端的第一平移架284和可在第一平移架284上移动的第一平移车282，及设于出样室270后端的第二平移架288和可在第二平移架288上移动的第二平移车286。返回导轨289的两端与工作导轨281的两端分别通过第一平移架284和第二平移架288相连，并构成一个闭合回路。玻璃基片装载装置100可以在工作导轨281、返回导轨289上移动。玻璃基片装载装置100还可以被安装在第一平移车282上沿第一平移架284移动，或被安装在第二平移车286上沿第二平移架286移动。上述立式镀膜装置200进行镀膜的具体工作流程为第一平移车282将玻璃基片装载装置100输送到指定位置。采用人工或机械手的方式先将玻璃基片300连接于玻璃基片装载装置100上的连接件120上，再通过机械手将玻璃基片300沿连接件120向右或向左提起，与装置框架110的底部限位件130对准后落入限位件130内，完成玻璃基片装载装置100的安装。安装完毕后，玻璃基片装载装置100通过工作导轨281依次进入进样室210，预热过渡室220，加热室230，镀膜室240，降温室250，过渡室260及出样室270完成镀膜工艺。镀膜完毕的玻璃基片装载装置100被转移到第二平移车286上，然后经第二平移架288被转移到返回导轨289上。玻璃基片装载装置100沿返回导轨289移动到末端，并被转移到安装在第一平移架284的第一平移车282上。取出镀完膜的玻璃基片之后，将玻璃基片装载装置100装上新的玻璃基片300，并再次送入工作导轨281进行镀膜。进样室210中设有与大气隔绝的门阀212以及与预热过渡室220隔绝的门阀218。当进样室210为常压时，打开门阀212，玻璃基片装载装置100进入进样室210，然后关闭门阀212，并抽真空至进样室210的真空压力与预热过渡室220平衡，然后打开门阀218，供玻璃基片装载装置100进入其后腔室完成相应的工序。向进样室210充气至常压，所充气体 可以为氮气等。同样，出样室270设有与过渡室260隔绝的门阀272和与大气隔绝的门阀274。出样室270被充气到常压，门阀274可以打开出样。门阀274关闭抽真空至出样室270的真空压力与过渡室260平衡，门阀272打开，完成了前面工序的玻璃基片装载装置100可以进入出样室270。请参阅图7图和图8，实施例二的立式镀膜装置200与实施例一大致相同，其不同之处在于，进样室210内的工作导轨281包括供玻璃基片装载装置100运行的悬停导轨214和与悬停导轨垂直的连接导轨216。连接导轨216可以沿着悬停导轨214滑动。悬停导轨214可以同时停留多个玻璃基片装载装置100，连接导轨216用于将进样室210入口处的第一平移车282上的玻璃基片装载装置100依次转送至进样室210中的悬停导轨214上，再将悬停导轨214上的多个玻璃基片装载装置100依次转送至预热过渡室220中的导轨224。具体步骤为当进样室210的门阀212在常压下打开时，连接导轨216将多个玻璃基片装载装置100依次从第一平移车282到悬停导轨214上；然后关闭门阀212，对进样室210抽真空使处于真空状态下并与预热过渡室220处于压力平衡状态，打开门阀218，连通镀膜生产线的预热过渡室220，连接导轨216把悬停导轨214上停留的多个玻璃基片装载装置100按照镀膜生产线的节拍，依次分别送进预热过渡室220的工作导轨224上进行预热。通过一次性依次打开门阀212和门阀218就可以将多片玻璃基片300送入预热过渡室220，减少了进样室210的开腔次数，也就是减少了向进样室210充气和对预热过渡室220抽气的次数，提高了效率，降低了能耗。在本实施例中，出样室270设有与过渡室隔绝的门阀272和与大气隔绝的门阀274。出样室270的工作导轨281包括供玻璃基片装载装置100运行的悬停导轨276和与悬停导轨276垂直的连接导轨278。连接导轨278可以沿着悬停导轨276滑动。悬停导轨276可以同时停留多个玻璃基片装载装置100，连接导轨278用于将完成了前面工序的玻璃基片装载装置100，按照镀膜生产线的节拍一个一个地从过渡室260中的工作导轨281依次转送至悬停导轨276上的。此时出样室270在真空状态，过渡室260与出样室270之间的门阀272打开，连接导轨278将过渡室260的玻璃基片装载装置100依次转送到出样室270的悬停导轨276上，直至悬停导轨276上停满玻璃基片装载装置100。然后关闭出样室270与过渡室隔绝的门阀272，向出样室270充气至大气压，再打开出样室270的门阀274，通过连接导轨278将悬停导轨276上的多个玻璃基片装载装置100依次转送到出样室270出口处的第二平移车286上。通过一次性取出多个玻璃基片装载装置100，减少了出样室270的开腔次数，节约了操作程序，提高了效率。悬停导轨214和与悬停导轨垂直的连接导轨216之间的结构关系以及悬停导轨276和与悬停导轨276垂直的连接导轨278之间的结构关系也可以与上述不同。只要能够完成将悬停导轨214上的多个玻璃基片装载装置100依次转移到导轨224上，以及将过渡室260中工作导轨281上的多个玻璃基片装载装置100依次转移到悬停轨道276上即可。请参阅图7和图9，实施例三的立式镀膜装置200与实施例一大致相同，其不同之处在于，在降温室250、过渡室260和出样室270中设有三条相互平行的工作导轨252。第三镀膜室248与降温室250之间还设有一个导向装置249，用于将第三镀膜室248内完成了前几道工序的玻璃基片装载装置100依次引导到降温室250的其中一条工作导轨252上。当玻璃基片装载装置100从第三镀膜室248中镀膜完成出来后进入降温室250进行降温时，由于在降温室250、过渡室260和出样室270中设有三条并列连通的工作导轨252，因此可以同时将三个玻璃基片装载装置100进行冷却降温。之后只需打开一次门阀272和与门阀274就可以分别取出三个玻璃基片装载装置100到第二平移车286上，减少了打开门阀的次数，节约操作程序提高效率。·可以理解，降温室250、过渡室260和出样室270内的工作导轨252的数量也可为两个、四个或更多。请参阅图7和图10，实施例四的立式镀膜装置200与实施例一大致相同，其不同之处在于，进样室210内的工作导轨281包括供玻璃基片装载装置100运行的悬停导轨3214和与悬停导轨垂直的连接导轨3216。连接导轨3216可以沿着悬停导轨3214滑动。悬停导轨3214可以同时停留多个玻璃基片装载装置100，连接导轨3216用于将进样室210入口处的第一平移车282上的玻璃基片装载装置100依次转送至进样室210中的悬停导轨3214上，再将悬停导轨3214上的多个玻璃基片装载装置100依次转送至预热过渡室220中的导轨 224。在降温室250、过渡室260中设有三条相互平行的工作导轨3252。第三镀膜室248与降温室250之间还设有一个导向装置3249，用于将第三镀膜室248内完成了前几道工序的玻璃基片装载装置100依次引导到降温室250的工作导轨3252的其中一条上。出样室270的工作导轨281包括供玻璃基片装载装置100运行的悬停导轨3276和与悬停导轨3276垂直的连接导轨3278。连接导轨3278可以沿着悬停导轨3276滑动。悬停导轨3276可以同时停留多个玻璃基片装载装置100，连接导轨3278用于将完成了前面工序的玻璃基片装载装置100，按照镀膜生产线的节拍一个一个地从过渡室260中的导轨3252其中之一上依次转送至悬停导轨3276上的。打开出样室270的门阀274，通过连接导轨3278将悬停导轨3276上的多个玻璃基片装载装置100依次转送到出样室270出口处的第二平移车286上。以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求
1.一种玻璃基片装载装置，可以在轨道上移动，其特征在于，包括 与地面垂直设置的框架，所述框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，所述窗口的尺寸大于所述玻璃基片的尺寸； 相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与所述框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与所述玻璃基片的顶部可转动相连，所述两个连接件的两个另一端的间距随着所述玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着所述玻璃基片冷却收缩而缩小；及 限位件，设于所述框架位于所述窗口的底部，所述限位件上开设有收容所述玻璃基片的底部的凹槽。
2.根据权利要求I所述的玻璃基片装载装置，其特征在于，所述连接件的一端开有安装孔，所述框架位于所述窗口的顶部开设有收容孔，所述连接件通过穿过所述安装孔和所述收容孔的螺栓可转动地连接于所述框架位于所述窗口的顶部；所述连接件的另一端设有活动穿设于所述玻璃基片的连接柱。
3.根据权利要求2所述的玻璃基片装载装置，其特征在于，还包括套设于所述连接柱末端的螺母。
4.根据权利要求I所述的玻璃基片装载装置，其特征在于，所述限位件的横截面为U形或L形。
5.根据权利要求I所述的玻璃基片装载装置，其特征在于，所述限位件的个数为两个，每一限位件与一个连接件对应设置。
6.一种立式镀膜装置，包括依次相连的进样室、预热过渡室、加热室、镀膜室、降温室、过渡室及出样室；其特征在于，还包括玻璃基片传动装置，所述玻璃基片传动装置包括工作导轨、返回导轨、两个平移架、两个平移车及如权利要求I所述的玻璃基片装载装置，所述工作导轨依次穿设于所述进样室、预热过渡室、加热室、镀膜室、降温室、过渡室及出样室，所述返回导轨的两端与所述工作导轨的两端分别通过所述两个平移架相连，并构成一个闭合回路，所述两个平移车分别活动安装在所述两个平移架上，所述玻璃基片装载装置在工作导轨上移动，并通过其中一个平移车移动到所述返回导轨，再通过另一个平移车返回所述工作导轨。
7.根据权利要求6所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述降温室、过渡室和出样室内的工作导轨的数量为多条，从所述镀膜室移出的玻璃基片装载装置通过一导向装置进入其中一条工作导轨。
8.根据权利要求6所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述进样室的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直并可沿所述悬停导轨的延伸方向滑动的连接导轨； 所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置； 所述连接导轨用于将所述平移车运送至所述进样室的多个玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上，并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置依次转移至所述预热过渡室的工作导轨上。
9.根据权利要求6所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述出样室中的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直的连接导轨； 所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置； 所述连接导轨用于将所述过渡室的工作导轨上的玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上的；并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置转送到所述平移车上。
10.根据权利要求6所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述进样室的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直并可沿所述悬停导轨的延伸方向滑动的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述平移车运送至所述进样室的多个玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上，并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置依次转移至所述预热过渡室的工作导轨上； 所述降温室、过渡室内的工作导轨的数量为多条，从所述镀膜室移出的玻璃基片装载装置通过一导向装置进入其中一条工作导轨； 所述出样室中的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述过渡室的工作导轨上的玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上的；并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置转送到所述平移车上。
全文摘要
一种玻璃基片装载装置，包括与地面垂直设置的框架，框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与玻璃基片的顶部可转动相连，两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于框架位于窗口的底部，限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件也会随之自然的张开，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。
文档编号H01L31/18GK102912310SQ20121032759
公开日2013年2月6日 申请日期2012年9月6日 优先权日2012年9月6日
发明者陈旺寿, 肖旭东, 张撷秋, 刘壮, 顾光一, 杨春雷, 宋秋明 申请人:深圳先进技术研究院, 香港中文大学