清灰装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于单晶制造技术领域，具体涉及一种清灰装置。
【背景技术】
[0002]单晶硅广泛应用于太阳能电池与半导体的制作，是光伏与电子工业发展的基石。切克劳斯法(直拉法)是一种常用的单晶硅制造方法，在制造过程中，炉内会出现大量的氧化硅等挥发物，现有单晶炉中设置有排气管道，并借助真空栗将挥发物抽出。然而，一方面，由于拉晶的过程中炉内本身保持负压，气流带走的挥发物有限；另一方面，挥发物从高温的炉中进入较低温的排气管道，会发生快速冷凝，挥发物容易大量沉积于排气管道内壁。目前，多数单晶硅生产厂家采用人工对排气管道中的沉积物进行清理和清扫，不仅费时费力，而且挥发物遇空气容易燃烧，存在较大的事故风险。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种清灰装置，解决了现有的清灰方式存在的清扫难度大以及危险程度高的问题。
[0004]本实用新型所采用的技术方案是:清灰装置，用于对单晶炉进行清灰，包括气体压缩机、供气机构和超声波发生器，供气机构将气体压缩机与单晶炉连接，超声波发生器设置于供气机构上。
[0005]本实用新型的特点还在于，
[0006]单晶炉具有多个通道，供气机构包括与所述多个通道一一对应并相连的多个供气路，气体压缩机通过多个相连的供气路和通道与单晶炉连接。
[0007]供气机构还包括与多个供气路共同连接的主管道，超声波发生器设置于所述主管道。
[0008]还包括移载车，气体压缩机、供气机构和超声波发生器设置于移载车上。
[0009]本实用新型的有益效果是:本实用新型的清灰装置解决了现有的清灰方式存在的清扫难度大以及危险程度高的问题。本实用新型的清灰装置利用气体压缩机提供压缩气体，结合超声波发生器，实现了单晶炉的自动清灰，省时省力，减少事故风险，并且清灰效果好，有利于尚品质拉晶。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的清灰装置的结构示意图；
[0011 ]图2是本实用新型的清灰装置的使用状态图。
[0012]图中，10.清灰装置，1.气体压缩机，2.供气机构，3超声波发生器.，4.移载车，21.主管道，22.供气路，100.单晶炉，101.通道。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明。
[0014]本实用新型提供的清灰装置10的结构如图1所示，包括气体压缩机1、供气机构2、超声波发生器3和移载车4，气体压缩机1、供气机构2和超声波发生器3均设置于移载车4上。
[0015]气体压缩机I为常用的把机械能转换为气体压力能的一种动力装置，本实施例中，气体压缩机I为空气压缩机。
[0016]如图1和图2所示，供气机构2将气体压缩机I与单晶炉100相连。单晶炉100通常具有多个通道101，供气机构2包括相连接的一个主管道21及多个供气路22，多个供气路22与单晶炉100的多个通道1I——对应，并且每个供气路22与单晶炉100的一个通道1I连接。本实施例中，供气路22与通道101均为两个。当然，并不限于为两个，还可以为一个、三个、四个或者更多。
[0017]超声波发生器3设置于供气机构2，具体地，设置于供气机构2的主管道21。
[0018]使用本实施例的清灰装置10对单晶炉100进行清灰时，可包括以下步骤:首先，利用移载车4将清灰装置10移至单晶炉100旁，从移载车4上取出供气机构2，将多个供气路22与单晶炉100的多个通道101—一对应连接;然后，调节气体压缩机I及超声波发生器3的参数，开启气体压缩机I及超声波发生器3，进行清灰。
[0019]本实用新型的清灰装置利用气体压缩机提供压缩气体，结合超声波发生器，实现了单晶炉自动清灰，省时省力，减少事故风险。并且清灰效果好，有利于高品质拉晶。
【主权项】
1.清灰装置，其特征在于，用于对单晶炉(100)进行清灰，包括气体压缩机(I)、供气机构(2)和超声波发生器(3)，所述供气机构(2)将所述气体压缩机(I)与所述单晶炉(100)连接，所述超声波发生器(3)设置于所述供气机构(2)上。2.如权利要求1所述的清灰装置，其特征在于，所述单晶炉(100)具有多个通道(101)，所述供气机构(2)包括与所述多个通道(101)—一对应并相连的多个供气路(22)，所述气体压缩机(I)通过所述多个相连的供气路(22)和通道(101)与所述单晶炉(100)连接。3.如权利要求2所述的清灰装置，其特征在于，所述供气机构(2)还包括与所述多个供气路(22)共同连接的主管道(21)，所述超声波发生器(3)设置于所述主管道(21)。4.如权利要求1-3任一项所述的清灰装置，其特征在于，还包括移载车(4)，所述气体压缩机(I)、供气机构(2)和超声波发生器(3)设置于所述移载车(4)上。
【专利摘要】本实用新型公开的清灰装置，用于对单晶炉进行清灰，包括气体压缩机、供气机构和超声波发生器，供气机构将气体压缩机与单晶炉连接，超声波发生器设置于供气机构上。本实用新型的清灰装置解决了现有的清灰方式存在的清扫难度大以及危险程度高的问题。本实用新型的清灰装置利用气体压缩机提供压缩气体，结合超声波发生器，实现了单晶炉的自动清灰，省时省力，减少事故风险，并且清灰效果好，有利于高品质拉晶。
【IPC分类】C30B15/00, B08B9/093, B08B7/00, C30B29/06
【公开号】CN205188474
【申请号】CN201520896480
【发明人】周锐, 李侨, 付泽华, 文勇, 王福敏
【申请人】西安隆基硅材料股份有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年11月11日