光路结构20连接于退火腔室30顶部的退火窗口 303，使得经过光路结构20中的激光光束101可以从退火窗口 303透过并照射至载台301上放置的非晶硅面板302表面，以便进行退火操作。退火腔室30中包括部分除氧模块(Oxygen Partial Degassing Module，0PDM)304、惰性气管305、流量计306、惰性气体注射管307。
[0026]惰性气管305的一端与惰性气体存储室(并未在图3中示出)相连，用于输送惰性气体存储室内的惰性气体，惰性气体存储室可以设置与退火腔室30中，也可以设于退火腔室30之外，这里并不构成对本实用新型的限定。惰性气管305另一端与惰性气体注射管307相连，以便向惰性气体注射管307中运送惰性气体，在惰性气管305的管体上设有流量计306，用于控制流入的惰性气体量。惰性气体在惰性气体注射管307中进行混合后，将通过0PDM304侧壁上开设的注射夹缝3041输出并形成气帘注入到0PDM304中，以排除非晶硅面板302上方空气中的氧气。
[0027]显然，惰性气体在惰性气体注射管307中混合的均匀程度将影响非晶硅面板302的晶化效果，故在本实用新型实施例中，提供一种惰性气体注射管307，其具体结构如图5a所不O
[0028]图5a是惰性气体注射管307的结构剖面图，其中，惰性气体注射管307包含外管3071和内管3072，且内管3072与外管3071之间不贴合，具有一定距离。外管3071的管壁上沿长度方向设有对称的夹缝状开口 710，内管3072中包含至少两个子管道3072a，每个子管道3072a的管壁上沿长度方向设有夹缝状开口 720，且各子管道3072a的管壁上开口 720的朝向与外管3071管壁上开口 710的朝向不一致。
[0029]进一步地，如图5b所示，为惰性气体注射管307的立体结构示意图，每个子管道3072a的一端封闭，另一端与惰性气管305相连(惰性气管305并未在图5b中示出，这并不构成对本实用新型的限定)，且相邻两个子管道的封闭的一端处于不同侧，也即，在图5b中，两个子管道3072a的封闭一端分别位于相反一侧，具体地，例如:若图5b中左侧的子管道3072a的前端封闭(其中，前端可认为是图5b中左下方所示的一端)，那么，图5b中右侧的子管道3072b的后端封闭。
[0030]基于此，当惰性气管305分别从两个子管道3072a的一端向各子管道3072a内注入惰性气体后，惰性气体将漫延并充满每个子管道3072a的管道空间，同时，每个子管道3072a中的惰性气体将从各子管道3072a的管壁上的夹缝状开口702中流出，形成惰性气流，从夹缝状开口 720中流出的惰性气流将在内管3072和外管3071中的空间内混合，再通过外管3071上对称设置的夹缝状开口 710导出，两股惰性气流最终将在0DPM304侧壁上的注射夹缝3041中流出并形成与线状激光光束101的长度相匹配的气帘。
[0031]需要说明的是，在图5a及5b中所示，内管3072中的子管道3072a的数量为两个，而在实际应用中，子管道的数量可以为多个，进一步地，子管道的数量为偶数，这样，可以保证最终从注射夹缝3041中流出的气帘各处气流状况(包括:流量、压力)相同，也就保证了在进行激光退火的过程中，非晶硅面板的晶化均匀。
[0032]综上所述，由于本实用新型中的注射管的内管包含多个子管道，且各子管道的一端封闭，相邻两个子管道的封闭一端不同侧，那么，当惰性气体注入各子管道后，会填充至每个子管道的管道空间，惰性气体会从每个子管道的夹缝状开口中流出，当注入至每个子管道中的惰性气体流量相同时，由子管道的狭缝状开口流出的惰性气体在开口的不同位置流量不同，通常距离注入端越近的位置惰性气体流量越大，那么，采用上述子管道的方式，正是由于相邻的两个子管道的封闭一端位于不同侧，也即，相邻两个子管道的注入口也位于不同侧，所以，惰性气体在内、外管之间的空间内混合后，惰性气体的浓度可以实现互补，从而，从外管的夹缝状开口导出的惰性气体浓度分布均匀，换言之，最终形成的气帘中惰性气体的浓度也均匀分布，这就保证了在进行激光退火的过程中，非晶硅面板的晶化均匀。
[0033]以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。
【主权项】
1.一种激光退火设备，其中包括:退火腔室，所述退火腔室中包含与惰性气管相连的惰性气体注射管，其特征在于，所述惰性气体注射管包含内管和外管，且所述内管与外管之间不贴合； 所述外管的管壁上沿长度方向设有对称的夹缝状开口 ； 所述内管中包含至少两个子管道，每个所述子管道的管壁上沿长度方向设有夹缝状开口，且各子管道的管壁上开口的朝向与所述外管管壁上开口的朝向不一致。2.如权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，每个所述子管道的一端封闭，另一端与惰性气管相连。3.如权利要求2所述的激光退火设备，其特征在于，相邻两个子管道的封闭的一端处于不同侧。4.如权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，所述内管中包含的子管道的数量为偶数。
【专利摘要】本实用新型公开了一种激光退火设备，其退火腔室中包含与惰性气管相连的惰性气体注射管，惰性气体注射管包含内管和外管，外管的管壁上沿长度方向设有对称的夹缝状开口，内管中包含至少两个子管道，每个子管道的管壁上沿长度方向设有夹缝状开口，且各子管道的一端封闭，另一端与惰性气管相连，相邻两个子管道的封闭一端不同侧，当注入至每个子管道中的惰性气体流量相同时，惰性气流在内、外管之间的空间内混合后，惰性气体的浓度可以实现互补，使得最终形成的气帘中惰性气体的浓度均匀分布，这就保证了在进行激光退火的过程中，非晶硅面板的晶化均匀。
【IPC分类】H01L51/56, C30B1/02
【公开号】CN205205270
【申请号】CN201520988241
【发明人】赵雁飞
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年12月2日