组合物、膜、红外线截止滤光片、固体摄像元件、红外线传感器、相机模块及新型化合物的制作方法

文档序号:18901700发布日期:2019-10-18 22:01阅读:313来源:国知局
组合物、膜、红外线截止滤光片、固体摄像元件、红外线传感器、相机模块及新型化合物的制作方法
本发明涉及一种组合物、膜、红外线截止滤光片、固体摄像元件、红外线传感器、相机模块及新型化合物。
背景技术
:在摄影机、数码静态照相机、带有照相机功能的移动电话等中,使用作为彩色图像的固体成像元件的ccd(电荷耦合元件)或cmos(互补型金属氧化膜半导体)。这些固体成像元件在其受光部使用了对红外线具有灵敏度的硅光电二极管。因此,有时使用红外线截止滤光片来进行可见度校正。并且,日本特开2011-246649号公报中公开了一种颜料分散液,所述颜料分散液的特征在于,含有(a)颜料及(b)颜料衍生物,且上述(b)颜料衍生物含有由下述通式(i)表示的化合物。[化学式1](上述通式(i)中,x及y各自独立地表示可以具有取代基的芳香族基、可以具有取代基的碳原子数1~5的烷基、可以具有取代基的碳原子数1~5的烷氧基或可以具有取代基的碳原子数1~5的烷硫基。z表示磺基、磺酰胺基、磺酸盐的基、邻苯二甲酰亚氨基甲基、碳原子数3~7的二烷基氨基烷基、羟基、羧基或羧酸盐的基。n为0.01至10。)以往,将红外线截止滤光片用作了平坦膜。近年来,对于红外线截止滤光片中,也正在研究形成图案的情况。例如,正在研究在红外线截止滤光片的图案上形成彩色滤光片的各像素(例如,红色像素、蓝色像素、绿色像素等)而进行使用的情况。另外,日本特开2011-246649号公报中,并没有关于使用包含红外线吸收色素的组合物而进行图案形成的记载或启示。然而,根据本发明人等的研究,发现以往的包含红外线吸收色素的组合物中,红外线吸收色素的分散性不够充分的情况较多。技术实现要素:发明要解决的技术课题本发明的一实施方式要解决的课题在于提供一种分散性优异的组合物。并且,本发明的另一实施方式要解决的课题在于提供一种使用上述组合物而成的膜、红外线截止滤光片、固体摄像元件、红外线传感器及相机模块。进而,本发明的又一实施方式要解决的课题在于提供一种适宜地用作红外线吸收色素,且分散性优异的化合物。用于解决技术课题的手段用于解决上述课题的手段中,包括以下方式。<1>一种组合物,其含有:由下述式(1)表示的化合物;及选自由固化性化合物及树脂组成的组中的至少一种。[化学式2]式(1)中,r1及r2分别独立地表示由下述式(2)表示且基团整体的溶解度参数为12.2(cal/cm3)1/2以上的基团,r3~r6分别独立地表示氰基、酰基、烷氧基羰基、烷基、芳基亚磺酰基或杂芳基,r7及r8分别独立地表示氢原子、烷基、芳基、杂芳基、-br9r10或金属原子,任选地r7及r8中的至少1个与r1~r4中的至少1个形成共价键或配位键,r9及r10分别独立地表示氢原子、卤素原子、烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基或杂芳氧基,并且r9及r10任选地彼此键合而形成环。[化学式3]*-x1-l1-y1(2)式(2)中,x1表示间亚苯基、对亚苯基、2个以上的芳香环稠合而成的2价稠合多环芳香环基或2价杂芳香环基,l1表示单键或2价连接基,y1表示极性基,*表示与式(1)中的吡咯并吡咯环的连结部位。<2>根据<1>所述的组合物,其中,上述y1为具有n-取代酰亚胺结构、酸酐结构及以下结构中的至少一个结构的基团,所述结构为选自由氰基、烷基砜基、芳基砜基、烷基亚砜基、芳基亚砜基、n-二取代磺酰胺基及n-二取代酰胺基组成的组中的结构。<3>根据上述<1>或<2>所述的组合物,其还含有除了上述由式(1)表示的化合物以外的色素衍生物。<4>根据上述<1>至<3>中任一项所述的组合物,其在25℃下的粘度为1mpa·s~100mpa·s。<5>根据上述<1>至<4>中任一项所述的组合物,其中,上述由式(1)表示的化合物为颗粒状。<6>根据上述<5>所述的组合物,其中,上述由式(1)表示的化合物的体积平均粒径为5nm~500nm。<7>根据上述<1>至<6>中任一项所述的组合物,其中,作为上述树脂含有具有聚酯链的树脂。<8>根据上述<1>至<7>中任一项所述的组合物,其中,作为上述树脂含有碱可溶性树脂。<9>根据上述<1>至<8>中任一项所述的组合物,其含有上述固化性化合物。<10>根据上述<9>所述的组合物,其还含有聚合引发剂。<11>一种膜,其由上述<1>至<10>中任一项所述的组合物形成。<12>一种膜,其通过使上述<9>或<10>所述的组合物固化而成。<13>一种红外线截止滤光片,其具有上述<11>或<12>所述的膜。<14>一种固体摄像元件,其具有上述<11>或<12>所述的膜。<15>一种红外线传感器,其具有上述<11>或<12>所述的膜。<16>一种相机模块,其具有固体摄像元件和上述<13>所述的红外线截止滤光片。<17>一种化合物,其由下述式(1)表示。[化学式4]式(1)中,r1及r2分别独立地表示由下述式(2)表示且基团整体的溶解度参数为12.2(cal/cm3)1/2以上的基团,r3~r6分别独立地表示氰基、酰基、烷氧基羰基、烷基、芳基亚磺酰基或杂芳基,r7及r8分别独立地表示氢原子、烷基、芳基、杂芳基、-br9r10或金属原子,任选地r7及r8中的至少1个与r1~r4中的至少1个形成共价键或配位键,r9及r10分别独立地表示氢原子、卤素原子、烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基或杂芳氧基,并且r9及r10任选地彼此键合而形成环。[化学式5]*-x1-l1-y1(2)式(2)中,x1表示间亚苯基、对亚苯基、2个以上的芳香环稠合而成的2价稠合多环芳香环基或2价杂芳香环基,l1表示单键或2价连接基,y1表示极性基,*表示与式(1)中的吡咯并吡咯环的连结部位。发明效果根据本发明的一实施方式,能够提供一种分散性优异的组合物。并且,根据本发明的另一实施方式,能够提供一种使用上述组合物而成的膜、红外线截止滤光片、固体摄像元件、红外线传感器及相机模块。进而,根据本发明的又一实施方式,能够提供一种适宜地用作红外线吸收色素,且分散性优异的化合物。附图说明图1为表示本发明所涉及的红外线传感器的一实施方式的示意图。具体实施方式以下,对本发明的内容进行详细说明。本说明书中,“总固体成分”是指,从组合物的所有成分中去除溶剂之后的成分的总质量。并且,“固体成分”是指,如上述,去除了溶剂的成分,例如,在25℃下可以为固体,也可以为液体。关于本说明书中的基团(原子团)的标记,未记述经取代及未经取代的标记中,不仅包含不具有取代基的基团,还包含具有取代基的基团。例如,“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基),还包含具有取代基的烷基(取代烷基)。本说明书中“曝光”只要无特别限定,除了利用光的曝光以外,还包含利用电子束、离子束等粒子束的描绘。并且,作为使用于曝光的光,通常可举出汞灯的明线光谱、准分子激光为代表的远紫外线、极紫外线(euv光)、x射线、电子束等活化光线或放射线。本说明书中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯这两个或其中任1个,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸这两者或其中任1个,“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基这两者或其中任1个。本说明书中,化学式中的me表示甲基,et表示乙基,pr表示丙基,bu表示丁基,ac表示乙酰基,bn表示苄基,ph表示苯基。本说明书中,“工序”这一术语,不仅表示独立的工序,而且即使在无法与其他工序明确区分的情况下只要可实现对该工序所期待的作用,则也包含于本术语中。并且,本发明中,“质量%”的含义与“重量%”的含义相同,“质量份”的含义与“重量份”的含义相同。进而,本发明中,2个以上优选方式的组合为更优选的方式。本说明书中,重量平均分子量及数均分子量作为利用凝胶渗透色谱法(gpc)测量的聚苯乙烯换算值而定义。<组合物>本发明所涉及的组合物含有:由下述式(1)表示的化合物;及选自由固化性化合物及树脂组成的组中的至少一种。[化学式6]式(1)中,r1及r2分别独立地表示由下述式(2)表示且基团整体的溶解度参数为12.2(cal/cm3)1/2以上的基团,r3~r6分别独立地表示氰基、酰基、烷氧基羰基、烷基、芳基亚磺酰基或杂芳基,r7及r8分别独立地表示氢原子、烷基、芳基、杂芳基、-br9r10或金属原子,r7及r8中的至少1个与r1~r4中的至少1个可以形成共价键或配位键,r9及r10分别独立地表示氢原子、卤素原子、烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基或杂芳氧基,并且r9及r10可以彼此键合而形成环。[化学式7]*-x1-l1-y1(2)式(2)中,x1表示间亚苯基、对亚苯基、2个以上的芳香环稠合而成的2价稠合多环芳香环基或2价杂芳香环基,l1表示单键或2价连接基,y1表示极性基,*表示与式(1)中的吡咯并吡咯环的连结部位。本发明人等对在包含吡咯并吡咯化合物的组合物中,通过含有公知的分散剂或者含有公知的分散剂及公知的分散助剂(增效剂)而提高吡咯并吡咯化合物的分散性进行了研究,但未得到充分的结果。本发明人等进行深入研究的结果,发现通过设为上述结构,能够提供一种分散性优异的组合物。虽然对由此产生的优异效果的作用机制尚不明确,但如下推定。推定为,通过将由上述式(2)表示且基团整体的sp值为12.2(cal/cm3)1/2以上的基团导入到上述式(1)中的吡咯并吡咯环的r1及r2的位置,吡咯并吡咯化合物与分散剂的相互作用性得到提高,且能够抑制吡咯并吡咯化合物的凝聚,从而该组合物针对固化性化合物或树脂等的分散性优异。以下,对本发明所涉及的组合物的各成分进行说明。(由式(1)表示的化合物)本发明所涉及的组合物含有上述由式(1)表示的化合物。由式(1)表示的化合物为具有吡咯并吡咯环结构的化合物,且可适宜地用作红外线吸收色素。并且,由式(1)表示的化合物在吡咯并吡咯环的上述r1及r2的位置具有由上述式(2)表示且基团整体的溶解度参数(还称为“sp值”。)为12.2(cal/cm3)1/2以上的基团。通过冲津法(冲津俊直著“日本接着学会志”29(5)(1993))而计算本发明中的sp值。具体而言,通过以下式计算sp值。另外,δf为文献中所记载的值。sp值(δ)=σδf(molarattractionconstants:摩尔吸引常数)/v(摩尔容积)从分散性的观点考虑,r1及r2的基团整体的溶解度参数(sp值)优选为12.3(cal/cm3)1/2以上且17.0(cal/cm3)1/2以下,更优选为12.5(cal/cm3)1/2以上且16.0(cal/cm3)1/2以下,进一步优选为13.2(cal/cm3)1/2以上且15.0(cal/cm3)1/2以下。并且,r1及r2分别独立地为由上述式(2)表示的基团。式(2)中,x1表示间亚苯基、对亚苯基、2个以上的芳香环稠合而成的2价稠合多环芳香环基或2价杂芳香环基,l1表示单键或2价连接基,y1表示极性基,*表示与式(1)中的吡咯并吡咯环的连结部位。从分散性的观点考虑,x1优选为间亚苯基、对亚苯基、亚萘基、呋喃二基或噻吩二基,更优选为间亚苯基、对亚苯基或亚萘基,进一步优选为间亚苯基或对亚苯基,尤其优选为对亚苯基。从分散性的观点考虑,l1优选为2价连接基。从分散性的观点考虑,l1中的2价连接基的碳原子数优选为1以上且30以下,更优选为1以上且20以下,进一步优选为1以上且10以下。并且,从分散性的观点考虑,作为l1中的2价连接基,优选为亚烷基、酯键或将选自由亚烷基、酯键、醚键及亚芳基组成的组中的2个以上的结构组合而成的基团。进而,从分散性的观点考虑,l1中的2价连接基优选为具有氧原子的基团,更优选为具有选自由酯键及醚键组成的组中的至少一种结构的基团,进一步优选为具有酯键的基团。从分散性的观点考虑,y1优选为具有酰亚胺结构、酸酐结构及以下结构中的至少一种结构的基团,所述结构为选自由氰基、烷基砜基、芳基砜基、烷基亚砜基、芳基亚砜基、磺酰胺基、酰胺基、聚氨酯基、脲基及羟基组成的组中的结构,更优选为具有酰亚胺结构、酸酐结构及以下结构中的至少一种结构的基团,所述结构为选自由氰基、烷基砜基、芳基砜基、烷基亚砜基、芳基亚砜基、磺酰胺基、酰胺基、聚氨酯基及脲基组成的组中的结构,进一步优选为具有n-取代酰亚胺结构、酸酐结构及如下结构中的至少一种结构的基团,所述结构为选自由氰基、烷基砜基、芳基砜基、烷基亚砜基、芳基亚砜基n-二取代磺酰胺基及n-二取代酰胺基组成的组中的结构,尤其优选为具有n-取代酰亚胺结构及如下结构中的至少一种结构的基团,所述结构为选自由n-二取代磺酰胺基及n-二取代酰胺基组成的组中的结构,最优选为具有n-取代酰亚胺结构的基团。并且,y1优选在色素衍生物中不含有后述的酸性基、碱性基或具有盐结构的基团。并且,从分散性的观点考虑,y1优选为由下述式y-1~式y-14中的任1个表示的基团,更优选为由下述式y-1~式y-8中的任1个表示的基团,进一步优选为由下述式y-1~式y-3中的任1个表示的基团,尤其优选为由下述式y-1或式y-2表示的基团,最优选为由下述式y-1表示的基团。[化学式8]式y-1~式y-14中,ry分别独立地表示氢原子、烷基或芳基,当1个式中具有2个以上的ry时,2个ry可以通过亚烷基或亚烷基-o-亚烷基而形成环,*表示式(2)中的与l1的连结部位。从分散性的观点考虑,ry优选为烷基或芳基,更优选为烷基,进一步优选为碳原子数1~8的烷基,尤其优选为甲基。作为r1及r2,具体而言可优选地举出下述中所示的基团。*表示与吡咯并吡咯环的键合部位。[化学式9][化学式10][化学式11][化学式12]从红外线吸收性的观点考虑,优选上述式(1)中的r3~r6分别独立地为氰基或杂芳基。从红外线吸收性的观点考虑,优选r3~r6中的2个为氰基,更优选r5及r6为氰基。并且,从红外线吸收性的观点考虑,优选r3~r6中的2个为杂芳基,更优选r3及r4为杂芳基。从红外线吸收性的观点考虑,作为r3~r6中的杂芳基,优选至少具有氮原子。并且,从红外线吸收性的观点考虑,作为r3~r6中的杂芳基,优选为在杂芳环中稠合有苯环或萘环的杂芳基,更优选为在杂芳环中稠合有苯环的杂芳基。进而,r3~r6中的杂芳基中的杂芳环优选为5员环或6员环,更优选为噁唑环、噻唑环、吡啶环、嘧啶环或吡嗪环,进一步优选为噁唑环、噻唑环或吡嗪环。作为r3~r6中的杂芳基,可优选地举出下述中所示的基团。另外,*表示式(1)中的与碳-碳双键的键合部位。[化学式13][化学式14][化学式15][化学式16]从红外线吸收性及分散性的观点考虑,r7及r8分别独立地优选为烷基、芳基、杂芳基或-br9r10,更优选为-br9r10。从红外线吸收性及分散性的观点考虑,r9及r10分别独立地优选为卤素原子、烷基、芳基或芳氧基,更优选为芳基。并且,优选r9与r10为相同的基团。作为r7及r8,可优选地举出下述中所示的基团。另外,*表示式(1)中的与氮原子的键合部位。[化学式17]并且,作为本发明中所使用的由式(1)表示的优选化合物,能够举出下述的化合物组,但当然并不限定于此。表1~表4中的化合物中的式(1)的r5及r6为氰基。并且,表1~表4中的a-1~a-36、b-1~b-38及c-1~c-7为与上述基团相同的基团。[表1][表2][表3][表4]由式(1)表示的化合物优选在700nm~1,200nm的范围具有极大吸收波长,更优选在750nm~1,200nm的范围具有极大吸收波长,进一步优选在750nm~1,000nm的范围具有极大吸收波长。并且,从分散性的观点考虑,由式(1)表示的化合物优选为颗粒状。从分散性的观点考虑,由式(1)表示的化合物的体积平均粒径优选为5nm以上且500nm以下,更优选为5nm以上且100nm以下,进一步优选为5nm以上且50nm以下。使用nikkisoco.,ltd.制microtracupa150来测量由式(1)表示的化合物的体积平均粒径。并且,本发明所涉及的组合物可以单独含有一种由式(1)表示的化合物,也可以含有两种以上,但优选含有两种以上。从红外线吸收性及分散性的观点考虑,相对于组合物的总固体成分,由式(1)表示的化合物的含量优选为1质量%~90质量%。下限更优选5质量%以上,进一步优选10质量%以上。上限更优选80质量%以下,进一步优选70质量%以下。(固化性化合物)本发明所涉及的组合物优选含有固化性化合物。固化性化合物优选为具有聚合性基的化合物(以下还称为“聚合性化合物”。)。固化性化合物可以为单体、低聚物、预聚物、聚合物等化学形态中的任一种。作为固化性化合物,例如能够参考日本特开2014-041318号公报的0070~0191段(相对应的国际公开第2014/017669号的0071~0192段)、日本特开2014-032380号公报的0045~0216段等的记载,并将该内容编入本说明书中。并且,作为具有甲基丙烯酰基的聚氨酯树脂的市售品,可举出8uh-1006及8uh-1012(以上为taiseifinechemicalco,.ltd.制)。固化性化合物优选为聚合性化合物。作为聚合性化合物,可以为自由基聚合性化合物,也可以为阳离子聚合性化合物,例如可举出包含烯属不饱和键、环状醚(环氧、氧杂环丁烷)等聚合性基的化合物。作为烯属不饱和键,优选乙烯基、苯乙烯基、(甲基)丙烯酰基或(甲基)烯丙基。聚合性化合物可以为具有1个聚合性基的单官能化合物,也可以为具有2个以上的聚合性基的多官能聚合性化合物,但优选为多官能聚合性化合物,更优选为多官能(甲基)丙烯酸酯化合物。通过组合物中含有多官能聚合性化合物,由此能够提高膜强度。作为固化性化合物,可举出单官能(甲基)丙烯酸酯化合物、多官能(甲基)丙烯酸酯化合物(优选3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物)、多元酸改性丙烯酸低聚物、环氧树脂、多官能环氧树脂等。相对于组合物的总固体成分,固化性化合物的含量优选为1质量%~90质量%。下限更优选5质量%以上,进一步优选10质量%以上,尤其优选20质量%以上。上限更优选80质量%以下,进一步优选75质量%以下。固化性化合物可以仅为一种,也可以为两种以上。当为两种以上时,优选合计量为上述范围。作为固化性化合物,能够使用烯属不饱和化合物。作为烯属不饱和化合物的例子,能够参考日本特开2013-253224号公报的0033~0034段的记载,并将该内容编入本说明书中。作为烯属不饱和化合物,优选乙烯氧基改性季戊四醇四丙烯酸酯(作为市售品,nk酯atm-35e;shin-nakamurachemicalco,ltd.制)、二季戊四醇三丙烯酸酯(作为市售品,kayaradd-330;nipponkayakuco.,ltd.制)、二季戊四醇四丙烯酸酯(作为市售品,kayaradd-320;nipponkayakuco.,ltd.制)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作为市售品,kayaradd-310;nipponkayakuco.,ltd.制)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作为市售品,kayaraddpha;nipponkayakuco.,ltd.制、a-dph-12e;shin-nakamurachemicalco,ltd.制)及这些(甲基)丙烯酰基经由乙二醇残基、丙二醇残基而成的结构。并且,也能够使用这些的低聚物类型。并且,优选双甘油eo(环氧乙烷)改性(甲基)丙烯酸酯(作为市售品,m-460;toagoseico.,ltd.制)。也优选季戊四醇四丙烯酸酯(shin-nakamurachemicalco.,ltd.制、a-tmmt)、1,6-己二醇二丙烯酸酯(nipponkayakuco.,ltd.制、kayaradhdda)。也能够使用这些的低聚物类型。例如,可举出rp-1040(nipponkayakuco.,ltd.制)等。烯属不饱和化合物可以具有羧基、磺酸基、磷酸基等酸基。作为酸基与烯属不饱和化合物,可举出脂肪族多羟基化合物与不饱和羧酸的酯等。优选使脂肪族多羟基化合物的未反应的羟基与非芳香族羧酸酐反应而具有酸基的化合物,尤其优选该酯中脂肪族多羟基化合物为季戊四醇或二季戊四醇的化合物。作为市售品,例如作为toagoseico.,ltd.制多元酸改性丙烯酸低聚物,可举出aronix系列的m-510、m-520等。酸基与烯属不饱和化合物的酸值优选0.1mgkoh/g~40mgkoh/g。下限更优选5mgkoh/g以上。上限更优选30mgkoh/g以下。本发明中,作为固化性化合物,能够使用具有环氧基或氧杂环丁基的化合物。作为具有环氧基或氧杂环丁基的化合物,可举出在侧链具有环氧基的聚合物、在分子内具有2个以上的环氧基的单体或低聚物等。例如,可举出双酚a型环氧树脂、双酚f型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、脂肪族环氧树脂等。并且,可举出单官能或多官能缩水甘油醚化合物,优选多官能脂肪族缩水甘油醚化合物。重量平均分子量优选500~5,000,000,更优选1,000~500,000。这些化合物可以使用市售品,也可以使用通过将环氧基导入到聚合物的侧链而得到的物质。例如,可举出cyclomerpaca200m、cyclomerpaca230aa、cyclomerpacaz250、cyclomerpacaz251、cyclomerpacaz300、cyclomerpacaz320(以上为daicelcorporation.制)。(聚合引发剂)本发明所涉及的组合物优选含有固化性化合物的同时还还有聚合引发剂。相对于组合物的总固体成分,聚合引发剂的含量优选0.01质量%~30质量%。下限更优选0.1质量%以上,进一步优选0.5质量%以上。上限更优选20质量%以下,进一步优选15质量%以下。聚合引发剂可以仅为一种,也可以为两种以上,当为两种以上时,优选合计量成为上述范围。作为聚合引发剂,可以为光聚合引发剂,也可以为热聚合引发剂,但优选为光聚合引发剂。并且,聚合引发剂可以为自由基聚合引发剂,也可以为阳离子聚合引发剂。作为光自由基聚合引发剂,例如可举出卤化烃衍生物(例如具有三嗪骨架的化合物、具有噁二唑骨架的化合物等)、酰基氧化膦等酰基膦化合物、六芳基联咪唑、肟衍生物等肟化合物、有机过氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳香族鎓盐、酮肟醚、氨基苯乙酮化合物、羟基苯乙酮等。作为具有三嗪骨架的卤化烃化合物,例如可举出,若林等著、bull.chem.soc.japan,42,2924(1969)中所记载的化合物、英国专利第1388492号说明书中所记载的化合物、日本特开昭53-133428号公报中所记载的化合物、德国专利第3337024号说明书中所记载的化合物、基于f.c.schaefer等的j.org.chem(有机化学期刊);29、1527(1964)中所记载的化合物、日本特开昭62-058241号公报中所记载的化合物、日本特开平5-281728号公报中所记载的化合物、日本特开平5-034920号公报中所记载的化合物、美国专利第4212976号说明书中所记载的化合物等。从曝光灵敏度的观点考虑,光自由基聚合引发剂优选选自由肟化合物、三卤甲基三嗪化合物、苄基二甲基缩酮化合物、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、三芳基咪唑二聚体、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、环戊二烯-苯-铁络合物、卤代甲基噁二唑化合物及3-芳基取代香豆素化合物组成组成的组中的化合物,更优选肟化合物。作为肟化合物的具体例,可举出日本特开2001-233842号公报中所记载的化合物、日本特开2000-080068号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物、日本特开2016-021012号公报中所记载的化合物等。并且,也可以举出j.c.s.perkinii(1979年,pp.1653-1660)、j.c.s.perkinii(1979年,pp.156-162)、光聚合物科学与技术杂志(journalofphotopolymerscienceandtechnology)(1995年,pp.202-232)、日本特开2000-066385号公报、日本特开2000-080068号公报、日本特表2004-534797号公报、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物等。市售品中也可优选地使用irgacure-oxe01、irgacure-oxe02、irgacure-oxe03、irgacure-oxe04(以上为basf公司制)。并且,还能够使用tr-pbg-304(changzhoutronlynewelectronicmaterialsco.,ltd.制)、adekaarklsnci-831(adekacorporation制)、adekaarklsnci-930(adekacorporation制)、adekaoptmer-n-1919(adekacorporation制)。并且,作为上述以外的肟化合物,也可以使用在咔唑环的n位连结有肟的日本特表2009-519904号公报中所记载的化合物、在二苯甲酮部位导入有杂取代基的美国专利第7626957号说明书中所记载的化合物、在色素部位导入有硝基的日本特开2010-015025号公报及美国专利申请公开第2009-292039号说明书中所记载的化合物、国际公开第2009/131189号中所记载的酮肟化合物、在相同分子内含有三嗪骨架和肟骨架的美国专利第7556910号说明书中所记载的化合物、在405nm具有极大吸收且对g射线光源具有良好的灵敏度的日本特开2009-221114号公报中所记载的化合物等。优选例如能够参考日本特开2013-029760号公报的0274~0275段,并将该内容编入本说明书中。具体而言,作为肟化合物,优选由下述式(ox-1)所表示的化合物。另外,肟化合物中,可以是肟的n-o键为(e)体的肟化合物,也可以是肟的n-o键为(z)体的肟化合物,也可以是(e)体与(z)体的混合物。[化学式18]式(ox-1)中,ro1及ro2分别独立地表示一价取代基,ro3表示二价有机基团,aro1表示芳基。式(ox-1)中,作为ro1所表示的一价取代基,优选为一价非金属原子团。作为一价非金属原子团,可举出烷基、芳基、酰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、杂环基、烷硫基羰基、芳硫基羰基等。并且,这些基团可以具有1个以上的取代基。并且,上述取代基还可以被其他取代基取代。作为取代基,可举出卤素原子、芳氧基、烷氧基羰基或芳氧基羰基、酰氧基、酰基、烷基、芳基等。式(ox-1)中,作为ro2所表示的一价取代基,优选芳基、杂环基、芳基羰基或杂环羰基。这些基团可以具有1个以上的取代基。作为取代基,可以例示出上述的取代基。式(ox-1)中,作为ro3所表示的二价有机基团,优选碳原子数1~12的亚烷基、亚环烷基、亚炔基。这些基团可以具有1个以上的取代基。作为取代基,可以例示出上述的取代基。作为光聚合引发剂,也能够使用由下述式(x-1)或式(x-2)表示的化合物。[化学式19]式(x-1)中,rx1及rx2分别独立地表示碳原子数1~20的烷基、碳原子数4~20的脂环式烃基、碳原子数6~30的芳基或碳原子数7~30的芳烷基,当rx1及rx2为苯基时,苯基可以彼此键合而形成芴基,rx3及rx4分别独立地表示氢原子、碳原子数1~20的烷基、碳原子数6~30的芳基、碳原子数7~30的芳烷基或碳原子数4~20的杂环基,xa表示单键或羰基。式(x-2)中,rx1、rx2、rx3及rx4的含义与式(x-1)中的rx1、rx2、rx3及rx4的含义相同,rx5表示-rx6、-orx6、-srx6、-corx6、-conrx6rx6、-nrx6corx6、-ocorx6、-coorx6、-scorx6、-ocsrx6、-cosrx6、-csorx6、-cn、卤素原子或羟基,rx6表示碳原子数1~20的烷基、碳原子数6~30的芳基、碳原子数7~30的芳烷基或碳原子数4~20的杂环基,xa表示单键或羰基,xa表示0~4的整数。上述式(x-1)及式(x-2)中,r1及r2分别独立地优选甲基、乙基、正丙基、异丙基、环己基或苯基。rx3优选甲基、乙基、苯基、甲苯基或二甲苯基。rx4优选碳原子数1~6的烷基或苯基。rx5优选甲基、乙基、苯基、甲苯基或萘基。xa优选单键。作为由式(x-1)及式(x-2)表示的化合物的具体例,例如可举出日本特开2014-137466号公报的0076~0079段中所记载的化合物。将该内容编入本说明书中。作为光聚合引发剂,能够使用具有硝基的肟化合物。具有硝基的肟化合物也优选为二聚体。作为具有硝基的肟化合物的具体例,可举出日本特开2013-114249号公报的0031~0047段、日本特开2014-137466号公报的0008~0012及0070~0079段及日本专利第4223071号公报的0007~0025段中所记载的化合物、以及adekaarklsnci-831(以上为adekacorporation制)。肟化合物优选在350nm~500nm的波长区域具有极大吸收波长的肟化合物,更优选在360nm~480nm的波长区域具有极大吸收波长的肟化合物,尤其优选在365nm及405nm的吸光度高的肟化合物。从灵敏度的观点考虑,作为肟化合物,在365nm或405nm中的摩尔吸光系数优选为1,000~300,000,更优选为2,000~300,000,进一步优选为5,000~200,000。化合物的摩尔吸光系数能够利用公知的方法来测量。例如,优选通过紫外可见分光光度计(varian公司制cary-5spectrophotometer),并使用乙酸乙酯溶剂以0.01g/l的浓度来测量。以下示出在本发明中优选地使用的肟化合物的具体例,但本发明并不限定于这些。[化学式20]另外,作为上述(c-12)中的-oc9f17的例,可举出以下基团。[化学式21]作为光聚合引发剂,也能够使用具有氟原子的肟化合物。作为具有氟原子的肟化合物的具体例,可举出日本特开2010-262028号公报中所记载的化合物、日本特表2014-500852号公报中所记载的化合物24、化合物36~化合物40、日本特开2013-164471号公报中所记载的化合物(c-3)等。将该内容编入本说明书中。作为光阳离子聚合引发剂,可举出光酸产生剂。作为光酸产生剂,可举出通过光照射进行分解而产生酸的重氮盐、鏻盐、锍盐、碘鎓盐等鎓盐化合物、酰亚胺磺酸盐、肟磺酸盐、重氮二砜、二砜、邻硝基苄基磺酸盐等磺酸盐化合物等。关于光阳离子聚合引发剂的详细内容,能够参考日本特开2009-258603号公报的0139~0214段的记载,并将该内容编入本说明书中。光阳离子聚合引发剂也能够使用市售品。作为光阳离子聚合引发剂的市售品,可举出adekacorporation制的adekaarklssp系列(例如,adekaarklssp-606等)、basf公司制irgacure250、irgacure270、irgacure290等。(树脂)本发明所涉及的组合物优选含有树脂。树脂例如以使颜料等分散于组合物中的用途、粘合剂的用途而进行掺合。另外,将主要用于使由式(1)表示的化合物等分散的树脂称为分散剂。但是,树脂的这种用途为一例,还能够以除了这些用途以外的目的使用树脂。树脂的重量平均分子量(mw)优选2,000~2,000,000。上限更优选1,000,000以下,进一步优选500,000以下。下限更优选3,000以上,进一步优选5,000以上。相对于组合物的总固体成分,树脂的含量优选10质量%~80质量%,更优选20质量%~60质量%。上述组合物可以仅包含1种树脂,也可以包含两种以上。当包含两种以上时,优选其合计量成为上述范围。-分散剂-作为分散剂,能够举出高分子分散剂〔例如,具有胺基的树脂(聚酰胺-胺与其盐等)、低聚亚胺系树脂、聚羧酸与其盐、高分子量不饱和酸酯、改性聚氨酯、改性聚酯、改性聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸系共聚物、萘磺酸福尔马林缩合物〕等。关于高分子分散剂,根据其结构能够进一步分类为直链状高分子、末端改性型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。并且,作为高分子分散剂,能够适宜地举出酸值为60mgkoh/g以上(更优选酸值60mgkoh/g以上且300mgkoh/g以下)的树脂。作为末端改性型高分子,例如可举出日本特开平3-112992号公报、日本特表2003-533455号公报等中所记载的在末端具有磷酸基的高分子、日本特开2002-273191号公报等中所记载的在末端具有磺酸基的高分子、日本特开平9-077994号公报等中所记载的具有有机色素的部分骨架或杂环的高分子等。并且,日本特开2007-277514号公报中所记载的在高分子末端导入有2个以上的针对颜料表面的锚定部位(酸基、碱性基、有机色素的部分骨架或杂环等)的高分子的分散稳定性也优异,因此优选。作为接枝型高分子,例如可举出日本特开昭54-037082号公报、日本特表平8-507960号公报、日本特开2009-258668号公报等中所记载的聚(低级亚烷基亚胺)与聚酯的反应产物、日本特开平9-169821号公报等中所记载的聚烯丙基胺与聚酯的反应产物、日本特开平10-339949号公报、日本特开2004-037986号公报等中所记载的大分子单体与具有氮原子的单体的共聚物、日本特开2003-238837号公报、日本特开2008-009426号公报、日本特开2008-081732号公报等中所记载的具有有机色素的部分骨架或杂环的接枝型高分子、日本特开2010-106268号公报等中所记载的大分子单体与含酸基单体的共聚物等。作为通过自由基聚合而制造接枝型高分子时所使用的大分子单体,能够使用公知的大分子单体,可举出toagoseico.,ltd.制大分子单体aa-6(末端基为甲基丙烯酰基的聚甲基丙烯酸甲酯)、as-6(末端基为甲基丙烯酰基的聚苯乙烯)、an-6s(末端基为甲基丙烯酰基的苯乙烯与丙烯腈的共聚物)、ab-6(末端基为甲基丙烯酰基的聚丙烯酸丁酯)、daicelcorporation.制placcelfm5(甲基丙烯酸2-羟乙酯的ε-己内酯5摩尔当量加成物)、fa10l(丙烯酸2-羟乙酯的ε-己内酯10摩尔当量加成物)及日本特开平2-272009号公报中所记载的聚酯系大分子单体等。这些中,从颜料分散物的分散性、分散稳定性及使用了颜料分散物的组合物所显示的显影性的观点考虑,尤其优选柔软性且亲溶剂性优异的聚酯系大分子单体,最优选日本特开平2-272009号公报中所记载的由聚酯系大分子单体表示的聚酯系大分子单体。作为嵌段型高分子,优选日本特开2003-049110号公报、日本特开2009-052010号公报等中所记载的嵌段型高分子。树脂(分散剂)能够作为市售品而获得,作为这些具体例,可举出bykchemie公司制“disperbyk-101(聚酰胺胺磷酸盐)、107(羧酸酯)、110、111(含酸基的共聚物)、130(聚酰胺)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共聚物)”、“byk-p104、p105(高分子量不饱和聚羧酸)”、efka公司制“efka4047、4050~4165(聚氨酯系)、efka4330~4340(嵌段共聚物)、4400~4402(改性聚丙烯酸酯)、5010(聚酯酰胺)、5765(高分子量聚羧酸盐)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞花青衍生物)、6750(偶氮(azo)颜料衍生物)”、ajinomotofine-technoco.,inc.制“ajisperpb821、pb822、pb880、pb881”、kyoeishachemicalco.,ltd.制“florenetg-710(聚氨酯低聚物)”、“polyflowno.50e、no.300(丙烯酸系共聚物)”、kusumotochemicals,ltd.制“disparonks-860、873sn、874、#2150(脂肪族多元羧)、#7004(聚醚酯)、da-703-50、da-705、da-725”、kaocorporation制“demorn、n(萘磺酸福尔马林缩聚物)、ms、c、sn-b(芳香族磺酸福尔马林缩聚物)”、“homogenoll-18(高分子聚羧酸)”、“emulgen920、930、935、985(聚氧乙烯壬基苯基醚)”、“acetamin86(硬脂基胺乙酸酯)”、lubrizoljapanlimited制“solsperse5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮颜料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、17000、27000(在末端部具有功能部的高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)”、nikkochemicalsco.,ltd.制“nikkolt106(聚氧乙烯脱水山梨糖醇单油酸酯(polyoxyethylenesorbitanmonooleate))、mys-iex(聚氧乙烯单硬脂酸酯(polyoxyethylenemonostearate))”、kawakenfinechemicalsco.,ltd.制“hinoactt-8000e“、shin-etsuchemicalco.,ltd.制“有机硅氧烷聚合物kp341”、morishita&co.,ltd.制“efka-46、efka-47、efka-47ea、efkapolymer100、efkapolymer400、efkapolymer401、efkapolymer450”、sannopcolimited制“disperseaid6、disperseaid8、disperseaid15、disperseaid9100”、adekacorporation制“adekapluronicl31、f38、l42、l44、l61、l64、f68、l72、p95、f77、p84、f87、p94、l101、p103、f108、l121、p-123”及sanyochemicalindustries,ltd.制“ionets-20”等。这些树脂可以单独使用,也可以组合两种以上而使用。并且,也能够将后述碱可溶性树脂用作分散剂。作为碱可溶性树脂,可举出(甲基)丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、马来酸共聚物、部分酯化马来酸共聚物等、以及在侧链具有羧酸的酸性纤维素衍生物、将酸酐改性为具有羟基的聚合物的树脂,尤其优选(甲基)丙烯酸共聚物。并且,还优选日本特开平10-300922号公报中所记载的n位取代马来酰亚胺单体共聚物、日本特开2004-300204号公报中所记载的醚二聚体共聚物、日本特开平7-319161号公报中所记载的含有聚合性基的碱可溶性树脂。这些中,从分散性的观点考虑,作为上述树脂,优选含有具有聚酯链的树脂,更优选含有具有聚己内酯链的树脂。聚酯链与由式(1)表示的化合物的r1及r2相互作用,由此分散性进一步优异。并且,从分散性、透明性及基于异物的膜缺陷抑制的观点考虑,优选上述树脂(优选丙烯酸树脂)包括具有烯属不饱和基的构成单元。作为上述烯属不饱和基,并无特别限制,优选(甲基)丙烯酰基。并且,当上述树脂在侧链具有烯属不饱和基,尤其具有(甲基)丙烯酰基时,优选上述树脂在主链与烯属不饱和基之间包括具有脂环结构的2价连接基。相对于由式(1)表示的化合物100质量份,分散剂的含量优选为1质量份~80质量份,更优选为5质量份~70质量份,进一步优选为10质量份~60质量份。-碱可溶性树脂-从显影性的观点考虑,优选本发明所涉及的组合物还含有碱可溶性树脂。作为碱可溶性树脂,能够从线状有机高分子聚合物,即在分子(优选以丙烯酸系共聚物、苯乙烯系共聚物为主链的分子)中具有至少一个促进碱可溶性的基团的碱可溶性树脂中适当选择。从耐热性的观点考虑,优选聚羟基苯乙烯系树脂、聚硅氧烷系树脂、丙烯酸系树脂、丙烯酰胺系树脂、丙烯酸/丙烯酰胺共聚物树脂,从控制显影性的观点考虑,优选丙烯酸系树脂、丙烯酰胺系树脂、丙烯酸/丙烯酰胺共聚物树脂。作为促进碱可溶性的基团(以下,还称为酸基),例如,可举出羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羟基等,优选能够溶于有机溶剂且能够通过弱碱性水溶液而显影的基团,作为尤其优选的基团,可举出(甲基)丙烯酸基。这些酸基可以仅为一种,也可以为两种以上。作为碱可溶性树脂,能够参考日本特开2012-208494号公报的0558~0571段(相对应的美国专利申请公开第2012/0235099号说明书的0685~0700段)的记载,并将这些内容编入本说明书中。碱可溶性树脂还优选具有由下述式(ed)表示的构成单元的树脂。[化学式22]式(ed)中,re1及re2分别独立地表示氢原子或可以具有取代基的碳原子数1~25的烃基,z表示0或1。作为re1及re2所表示的碳原子数1~25的烃基,并无特别限定,例如可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、叔戊基、硬脂基、月桂基、2-乙基己基等直链状或支链状的烷基;苯基等芳基;环己基、叔丁基环己基、二环戊二烯基、三环癸基、异冰片基、金刚烷基、2-甲基-2-金刚烷基等脂环式基;1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基等经烷氧基取代的烷基;苄基等经芳基取代的烷基等。这些中,尤其从耐热性的观点考虑,优选如甲基、乙基、环己基、苄基等不易因酸或热而脱离的第1级或第2级烃基。另外,re1及re2可以为种类相同的取代基,也可以为不同的取代基。作为形成由式(ed)表示的构成单元的化合物的例,2,2'-[氧基双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二甲酯(dimethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate)、2,2'-[氧基双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二乙酯、2,2'-[氧基双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二(正丙基)酯、2,2'-[氧基双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二(正丁基)酯、2,2'-[氧基双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二(叔丁基)酯、2,2'-[氧基双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二(异丁基)酯等。这些中,尤其优选2,2’-[氧基双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二甲酯。上述碱可溶性树脂也可以具有除了由式(ed)表示的构成单元以外的构成单元。作为形成上述构成单元的单体,例如从针对溶剂的溶解性等易操作性的观点考虑,还优选包含赋予油溶性的芳基(甲基)丙烯酸酯、烷基(甲基)丙烯酸酯、聚乙烯氧基(甲基)丙烯酸酯来作为共聚合成分,更优选芳基(甲基)丙烯酸酯或烷基(甲基)丙烯酸酯。并且,从碱显影性的观点考虑,优选包含含有酸基的(甲基)丙烯酸或衣康酸等具有羧基的单体、n-羟基苯基马来酰亚胺等具有酚性羟基的单体、马来酸酐或衣康酸酐等具有羧酸酐基的单体来作为共聚合成分,更优选(甲基)丙烯酸。作为上述碱可溶性树脂,例如可优选地举出具有由式(ed)表示的构成单元、由甲基丙烯酸苄酯形成的构成单元及由选自由甲基丙烯酸甲酯及甲基丙烯酸组成的组中的至少一种单体形成的构成单元的树脂。关于具有由式(ed)表示的构成单元的树脂,能够参考日本特开2012-198408号公报的0079~0099段的记载,并将该内容编入本说明书中。碱可溶性树脂的重量平均分子量(mw)优选2,000~50,000。下限更优选5,000以上,进一步优选7,000以上。上限更优选30,000以下,进一步优选20,000以下。碱可溶性树脂的酸值优选30~200mgkoh/g。下限更优选50mgkoh/g以上,进一步优选70mgkoh/g以上。上限更优选150mgkoh/g以下,进一步优选120mgkoh/g以下。另外,本发明中的酸值通过以下方法测定。酸值表示对每1g固体成分的酸性成分进行中和时所需的氢氧化钾的质量。将测定样品溶解于四氢呋喃/水=9/1(质量比)混合溶剂,使用电位滴定仪(商品名:at-510,kyotoelectronicsmanufacturingco.,ltd.制),将所得到的溶液在25℃下用0.1mol/l氢氧化钠水溶液进行中和滴定。将滴定ph曲线的拐点作为滴定终点,并通过以下式计算酸值。a=56.11×vs×0.1×f/wa:酸值(mgkoh/g)vs:进行所需的0.1mol/l氢氧化钠水溶液的使用量(ml)f:0.1mol/l氢氧化钠水溶液的效价w:测定样品质量(g)(固体成分换算)(色素衍生物)本发明所涉及的组合物优选还含有除了由式(1)表示的化合物以外的色素衍生物(以下,简称为“色素衍生物”。)。通过含有色素衍生物,能够提高由式(1)表示的化合物的分散性,并有效地抑制由式(1)表示的化合物的凝聚。色素衍生物优选颜料衍生物。作为色素衍生物,优选具有色素的一部分经酸性基、碱性基、具有盐结构的基团取代的结构的色素衍生物,进一步优选由下述式(3)表示的色素衍生物。由下述式(3)表示的色素衍生物中,色素结构p容易吸附于由式(1)表示的化合物的表面,因此能够提高组合物中的由式(1)表示的化合物的分散性。并且,当组合物包含树脂时,色素衍生物的末端部x通过与树脂的吸附部(极性基等)的相互作用而被树脂吸附,因此能够进一步提高由式(1)表示的化合物的分散性。[化学式23]式(3)中,p3表示色素结构,l3分别独立地表示单键或连接基,x3分别独立地表示酸基、碱基或具有盐结构的基团,m表示1以上的整数,n表示1以上的整数。关于p3中的色素结构,优选选自由吡咯并吡咯色素结构、二酮吡咯并吡咯色素结构、喹吖啶酮色素结构、蒽醌色素结构、二蒽醌色素结构、苯并异吲哚色素结构、噻嗪靛蓝色素结构、偶氮色素结构、喹酞酮色素结构、酞菁色素结构、二噁嗪色素结构、苝色素结构、紫环酮色素结构及苯并咪唑啉酮色素结构组成的组中的至少一种,更优选选自由吡咯并吡咯色素结构、二酮基吡咯并吡咯色素结构、喹吖啶酮色素结构及苯并咪唑啉酮色素结构组成的组中的至少一种,尤其优选吡咯并吡咯色素结构。通过色素衍生物具有这些色素结构,能够进一步提高由式(1)表示的化合物的分散性。作为l3中的连接基,优选由1个~100个碳原子、0个~10个氮原子、0个~50个氧原子、1个~200个氢原子及0个~20个硫原子构成的基团,也可以未经取代或进一步具有取代基。作为取代基,优选烷基、芳基、羟基或卤素原子。连接基优选亚烷基、亚芳基、含氮杂环基、-nr'-、-so2-、-s-、-o-、-co-、-coo-、-conr'-或将这些组合2个以上而成的基团,更优选亚烷基、亚芳基、-so2-、-coo-或将这些组合2个以上而成的基团。r’表示氢原子、烷基(优选碳原子数1~30)或芳基(优选碳原子数6~30)。亚烷基的碳原子数优选1~30,更优选1~15,进一步优选1~10。亚烷基可以具有取代基。亚烷基可以为直链、支链、环状中的任一种。并且,环状亚烷基可以为单环、多环中的任一种。亚芳基的碳原子数优选6~18,更优选6~14,进一步优选6~10,尤其优选亚苯基。含氮杂环基优选5员环或6员环。并且,含氮杂环基优选单环或稠环,优选单环或稠合数为2~8的稠环,更优选单环或稠合数为2~4的稠环。含氮杂环基中所含有的氮原子的数量优选1~3,更优选1或2。含氮杂环基也可以含有除了氮原子以外的杂原子。作为除了氮原子以外的杂原子,例如可例示氧原子、硫原子。除了氮原子以外的杂原子的数量优选0~3,更优选0或1。作为含氮杂环基,可举出哌嗪环基、吡咯烷环基、吡咯环基、哌啶环基、吡啶环基、咪唑环基、吡唑环基、噁唑环基、噻唑环基、吡嗪环基、吗啉环基、噻嗪环基、吲哚环基、异吲哚环基、苯并咪唑环基、嘌呤环基、喹啉环基、异喹啉环基、喹喔啉环基、噌啉环基、咔唑环基及由下述式(l-1)~式(l-7)中的任1个表示的基团。[化学式24]式中的*表示与p3、l3或x3的键合部位,r表示氢原子或取代基。作为取代基,可举出取代基t。作为取代基t,例如可举出碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基、碳原子数1~10的硫代烷氧基、羟基、羧基、乙酰基、氰基、卤素原子(氟原子、氯原子、溴原子、碘原子)等。这些取代基还可以具有取代基。作为连接基的具体例,可举出亚烷基、亚芳基、-so2-、由上述式(l-1)表示的基团、由上述式(l-5)表示的基团、由-o-与亚烷基的组合构成的基团、由-nr'-与亚烷基的组合构成的基团、由-nr'-、-co-及亚烷基的组合构成的基团、由-nr'-、-co-、亚烷基及亚芳基的组合构成的基团、由-nr'-、-co-及亚芳基的组合构成的基团、由-nr'-、-so2-及亚烷基的组合构成的基团、由-nr'-、-so2-、亚烷基及亚芳基的组合构成的基团、由上述式(l-1)表示的基团与亚烷基的组合构成的基团、由上述(l-1)表示的基团与亚芳基的组合构成的基团、由上述式(l-1)表示的基团、-so2-及亚烷基的组合构成的基团、由上述式(l-1)表示的基团、-s-及亚烷基的组合构成的基团、由上述式(l-1)表示的基团、-o-及亚芳基的组合构成的基团、由上述式(l-1)表示的基团、-nr'-、-co-及亚芳基的组合构成的基团、由上述式(l-3)表示的基团与亚芳基的组合构成的基团、由亚芳基与-coo-的组合构成的基团、由亚芳基、-coo-与亚烷基的组合构成的基团等。式(3)中,x3表示酸性基、碱性基或具有盐结构的基团。作为酸基,可举出羧基、磺基、磷酸基等。作为碱基,可举出后述的由式(x-3)~式(x-8)表示的基团。作为具有盐结构的基团,可举出上述酸基的盐、碱基的盐。作为构成盐的原子或原子团,可举出金属原子、四丁基铵等。作为金属原子,更优选碱性金属原子或碱土类金属原子。作为碱金属原子,可举出锂、钠、钾等。作为碱土类金属原子,可举出钙、镁等。并且,作为取代基,可以为取代基t。取代基t还可以经其他取代基取代。作为其他取代基,可举出羧基、磺基、磷酸基等。x3优选为选自由羧基、磺基及由下述式(x-1)~式(x-9)中的任1个表示的基团组成的组中的至少一种基团。[化学式25]式(x-1)~式(x-8)中,*表示与式(3)的l3的键合部位,r100~r106各自独立地表示氢原子、烷基、烯基或芳基,r100与r101可以彼此连结而形成环,m表示与阴离子构成盐的原子或原子团。烷基可以为直链状、支链状或环状中的任一种。直链状烷基的碳原子数优选1~20,更优选1~12,进一步优选1~8。支链状烷基的碳原子数优选3~20,更优选3~12,进一步优选3~8。环状烷基可以为单环、多环中的任意1种。环状烷基的碳原子数优选3~20,更优选4~10,进一步优选6~10。烯基的碳原子数优选2~10,更优选2~8,进一步优选2~4。芳基的碳原子数优选6~18,更优选6~14,进一步优选6~10。r100与r101可以彼此连结而形成环。环可以为脂环,也可以为芳香族环。环可以为单环,也可以为杂环。作为r100与r101键合而形成环的情况下的连接基,能够通过选自由-co-、-o-、-nh-、2价脂肪族基、2价芳香族基及这些的组合组成的组中的2价连接基进行连结。作为具体例,例如可举出哌嗪环、吡咯烷环、吡咯环、哌啶环、吡啶环、咪唑环、吡唑环、噁唑环、噻唑环、吡嗪环、吗啉环、噻嗪环、吲哚环、异吲哚环、苯并咪唑环、嘌呤环、喹啉环、异喹啉环、喹喔啉环、噌啉环、咔唑环等。m表示与阴离子构成盐的原子或原子团。这些可举出上述内容,优选范围也相同。m的上限表示色素结构p可具有的取代基的数量,例如,优选10以下,更优选5以下。当m为2以上时,多个l及x可以彼此不同。n优选1~3的整数,更优选1或2。当n为2以上时,多个x可以彼此不同。上述色素衍生物优选由下述式(4)表示的色素衍生物。由下述式(4)表示的色素衍生物中,式(3)中的p为作为吡咯并吡咯色素结构的化合物。[化学式26]式(4)中,r43~r46分别独立地表示氰基、酰基、烷氧基羰基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基或杂芳基,r47及r48分别独立地表示氢原子、烷基、芳基、杂芳基、-br49r50或金属原子,r47可以与r43或r45共价键结或配位键结,r48可以与r44或r46共价键结或配位键结,r49及r50分别独立地表示氢原子、卤素原子、烷基、烯基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基或杂芳氧基,r49及r50可以彼此键合而形成环,l41及l42各自独立地表示单键或亚烷基、亚芳基、含氮杂环基、-o-、-s-、-nr'-、-co-、-so2-或将这些组合2个以上而成的连接基,r'表示氢原子、烷基或芳基,x41及x42分别独立地表示酸基、碱基或具有盐结构的基团,n41及n42分别独立地表示0~4的整数,n41及n42中的至少1个为1以上。式(4)的r43~r48的含义与式(1)中的r3~r8的含义相同,优选方式也相同。式(4)的x41及x42的含义与式(3)的x3的含义相同,优选方式也相同。式(4)中,l41及l42的含义与式(3)的l3的含义相同,优选方式也相同。进而,从合成适用性、可见透明性的方面考虑,尤其优选以下的连接基。[化学式27]并且,关于l41,构成将苯环与x41连结的链的原子的数量优选1个~20个,该苯环与作为颜料衍生物的母核结构的吡咯并吡咯结构直接键结。下限更优选2个以上,进一步优选3个以上。上限更优选15个以下,进一步优选10个以下。关于l42,构成将苯环与x42连结的链的原子的数量优选1个~20个,该苯环与作为颜料衍生物的母核结构的吡咯并吡咯结构直接键结。下限更优选2个以上,进一步优选3个以上。上限更优选15个以下,进一步优选10个以下。根据该方式,能够提高颜料的分散性。详细理由虽不明确,但推测为如下,即通过加长作为颜料衍生物的母核结构的吡咯并吡咯结构与x41及x42之间的距离,x41及x42不易受到位阻而发挥与树脂等的相互作用,其结果能够提高颜料的分散性。由式(4)表示的化合物中,对组合物中所含有的溶剂(25℃)的溶解度优选为0g/l~0.1g/l,更优选为0g/l~0.01g/l。根据该方式,能够进一步提高颜料的分散性。由式(1)表示的化合物优选为在700nm~1,200nm的范围具有极大吸收波长的化合物。并且,波长500nm中的吸光度a1与极大吸收波长中的吸光度a2的比率a1/a2优选为0.1以下,更优选为0.05以下。另外,本发明中的化合物的吸光度为从化合物的溶液中的吸收光谱求出的值。作为由式(4)表示的化合物的溶液中的吸收光谱的测定中所使用的测定溶剂,可举出氯仿、二甲基亚砜、四氢呋喃等。当由式(4)表示的化合物溶解于氯仿时,将氯仿用作测定溶剂。并且,当不溶解于氯仿而溶解于二甲基亚砜或四氢呋喃时,将二甲基亚砜或四氢呋喃用作测定溶剂。作为由式(3)表示的色素衍生物的具体例,可举出以下(3-1)~(3-25)。另外,在以下式中,m、m1、m2及m3分别独立地表示1以上的整数。[化学式28][化学式29][化学式30][化学式31][化学式32][化学式33]作为由式(4)表示的化合物的具体例,可举出以下化合物。以下的结构式中,me表示甲基,bu表示丁基,ph表示苯基。另外,下述表中的ar-1~ar-31、r-1~r-7如下。以下所示的结构中的“*”为连结键。[表5][表6][化学式34][化学式35][化学式36][化学式37]并且,本发明所涉及的组合物可以单独含有一种上述色素衍生物,也可以含有两种以上上述色素衍生物。从红外线吸收性及分散性的观点考虑,相对于组合物的总固体成分,上述色素衍生物的含量优选为0.1质量%~30质量%,更优选为0.5质量%~25质量%,进一步优选为1质量%~20质量%。并且,从红外线吸收性及分散性的观点考虑,相对于由式(1)表示的化合物的总质量,上述色素衍生物的含量优选为1质量%~80质量%,更优选为2质量%~50质量%,进一步优选为5质量%~40质量%。(溶剂)本发明所涉及的组合物能够含有溶剂。溶剂并无特别限制,只要是可均匀地溶解或分散组合物的各成分,则能够根据目的而适当选择。例如,能够使用水、有机溶剂,优选有机溶剂。作为有机溶剂,例如可优选地举出醇类(例如甲醇)、酮类、酯类、芳香族烃类、卤化烃类、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、环丁砜等。这些可以单独使用一种,也可以并用两种以上。其中,可优选地举出选自由具有环状烷基的酯类及酮类组成的组中的至少一种有机溶剂。作为醇类、芳香族烃类、卤化烃类的具体例,可举出日本特开2012-194534号公报的0136段等中所记载者,并将该内容编入本申请说明书中。作为酯类、酮类、醚类的具体例,可举出日本特开2012-208494号公报0497段(相对应的美国专利申请公开第2012/0235099号说明书的0609段)中所记载的内容,进而可举出乙酸正戊酯、丙酸乙酯、邻苯二甲酸二甲酯、苯甲酸乙酯、硫酸甲酯、丙酮、甲基异丁基酮、二乙基醚、乙二醇单丁醚乙酸酯等。作为溶剂,优选选自乙醇、甲醇、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、n-甲基-2-吡咯烷酮、乙基溶纤剂乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸环己酯、二乙二醇二甲醚、2-庚酮、环戊酮、环己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚及丙二醇单甲醚乙酸酯中的一种以上。关于溶剂的含量,组合物的总固体成分优选成为10质量%~90质量%的量。下限更优选15质量%以上,进一步优选20质量%以上。上限更优选80质量%以下,进一步优选70质量%以下。溶剂可以仅为一种,也可以为两种以上,当为两种以上时,优选合计量成为上述范围。并且,从环境对应的方面考虑,本发明所涉及的组合物优选不含有甲苯等溶剂。(彩色着色剂、黑色着色剂、遮蔽可见光的着色剂)本发明所涉及的组合物能够含有选自由彩色着色剂及黑色着色剂组成的组中的至少一种(以下,还将彩色着色剂与黑色着色剂一并称为可见着色剂)。本发明中,彩色着色剂是指除了白色着色剂及黑色着色剂以外的着色剂。彩色着色剂优选在波长400nm以上且小于650nm的范围内具有吸收的着色剂。-彩色着色剂-本发明中,彩色着色剂可以为颜料,也可以为染料。颜料的平均粒径(r)优选满足20nm≤r≤300nm,更优选满足25nm≤r≤250nm,进一步优选满足30nm≤r≤200nm。在此“平均粒径”是指,颜料的一次粒子集聚而成的二次粒子的平均粒径。并且,关于可使用的颜料的二次粒子的粒径分布(以下,简称为“粒径分布”。),优选进入(平均粒径±100)nm的二次粒子为整体的70质量%以上,80质量%以上为佳。另外,二次粒子的粒径分布能够使用散射强度分布来测定。另外,一次粒子的平均粒径能够通过如下求出,即用扫描型电子显微镜(sem)或透射型电子显微镜(tem)进行观察,在未凝聚有粒子的部分测量100个粒径,并计算平均值而求出一次粒子的平均粒径。颜料优选为有机颜料,能够举出以下颜料。但是,本发明并不限定于这些。比色指数(c.i.)pigmentyellow(颜料黄)1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等(以上为黄色颜料);c.i.pigmentorange(颜料橙)2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等(以上为橙色颜料);c.i.pigmentred(颜料红)1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279等(以上为红色颜料);c.i.pigmentgreen(颜料绿)7、10、36、37、58、59等(以上为绿色颜料);c.i.pigmentviolet(颜料紫)1、19、23、27、32、37、42等(以上为紫色颜料);c.i.pigmentblue(颜料蓝)1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、80等(以上为蓝色颜料)。这些有机颜料能够单独使用或组合使用多种。作为染料,并无特别限制,能够使用公知的染料。作为化学结构,吡唑偶氮系、苯胺基偶氮系、三苯基甲烷系、蒽醌系、蒽吡啶酮系、亚苄基系、氧杂菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、吩噻嗪系、吡咯并吡唑甲亚胺系、呫吨(xanthene)系、酞菁系、苯并吡喃系、靛蓝系、吡咯亚甲基(pyrromethene)系等染料。并且,也可以使用这些染料的多聚体。并且,也可使用日本特开2015-028144号公报、日本特开2015-034966号公报中所记载的染料。并且,作为染料,有时能够优选地使用酸性染料及其衍生物中的至少一种。除此以外,也能够有用地使用直接染料、碱性染料、媒染染料、酸性媒染染料、偶氮染料、分散染料、油溶染料、食品染料及这些的衍生物等中的至少一种。以下举出酸性染料的具体例,但并不限定于这些。例如,可举出以下染料及这些染料的衍生物。acidalizarinvioletn;acidblue1、7、9、15、18、23、25、27、29、40~45、62、70、74、80、83、86、87、90、92、103、112、113、120、129、138、147、158、171、182、192、243、324:1;acidchromevioletk;acidfuchsin;acidgreen1、3、5、9、16、25、27、50;acidorange6、7、8、10、12、50、51、52、56、63、74、95;acidred1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、66、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、183、198、211、215、216、217、249、252、257、260、266、274;acidviolet6b、7、9、17、19;acidyellow1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、42、54、72、73、76、79、98、99、111、112、114、116、184、243;foodyellow3并且,也优选上述以外的偶氮系、呫吨系、酞菁系的酸性染料,也可优选地使用c.i.solventblue44、38;c.i.solventorange45;rhodamineb、rhodamine110等酸性染料及这些染料的衍生物。其中,作为染料,优选选自三芳基甲烷系、蒽醌系、偶氮甲碱系、亚苄基系、氧杂菁系、花青系、吩噻嗪系、吡咯并吡唑甲亚胺系、呫吨系、酞菁系、苯并吡喃系、靛蓝系、吡唑偶氮系、苯胺基偶氮系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、蒽吡啶酮系、亚甲基吡咯系中的着色剂。而且,还可组合使用颜料与染料。-黑色着色剂-作为黑色着色剂,优选有机黑色着色剂。另外,本发明中,作为遮蔽可见光的着色剂的黑色着色剂是指,吸收可见光,但使红外线的至少一部分透射的材料。因此,本发明中,作为遮蔽可见光的着色剂的黑色着色剂不含有碳黑及钛黑。作为遮蔽可见光的着色剂的黑色着色剂也能够使用二苯并呋喃酮化合物、甲亚胺化合物、苝化合物、偶氮化合物等。作为二苯并呋喃酮化合物,可举出日本特表2010-534726号公报、日本特表2012-515233号公报、日本特表2012-515234号公报等中所记载的二苯并呋喃酮化合物。例如,能够作为basf公司制“irgaphorblack”而获得。作为苝化合物,可举出c.i.pigmentblack31、32等。作为甲亚胺系化合物,可举出日本特开平1-170601号公报、日本特开平2-034664号公报等中所记载的甲亚胺系化合物,例如能够作为dainichiseikacolor&chemicalsmfg.co.,ltd.制“酞青黑a1103”而获得。作为偶氮化合物,并无特别限定,能够优选地举出由下述式(a-1)表示的化合物等。[化学式38]-遮蔽可见光的着色剂-当使用本发明所涉及的组合物制造通过由式(1)表示的化合物并未吸收的区域的红外线的红外线透射滤光片时,优选含有遮蔽可见光的着色剂。遮蔽可见光的着色剂通过组合多种着色剂,优选呈现黑色、灰色或接近这些的颜色。并且,遮蔽可见光的着色剂优选为吸收从紫色至红色波长域的光的材料。并且,遮蔽可见光的着色剂优选为遮蔽波长450nm~650nm的波长域的光的着色剂。本发明中,遮蔽可见光的着色剂优选满足以下(1)及(2)的至少1个要件,更优选满足(1)的要件。(1):包含两种以上的彩色着色剂的方式。(2):包含黑色着色剂的方式。并且,本发明中,作为遮蔽可见光的着色剂的黑色着色剂是指,吸收可见光线,但使红外线的至少一部分透射的材料。由此,本发明中,作为遮蔽可见光的着色剂的有机系黑色着色剂不包含吸收可见光线及红外线这两者的黑色着色剂,例如碳黑或钛黑。遮蔽上述可见光的着色剂中,例如,波长450nm~650nm的范围内的吸光度的最小值a与波长900nm~1,300nm的范围内的吸光度的最小值b之比a/b优选4.5以上。上述特性可以由一种原材料满足,也可以由多种原材料的组合满足。例如,当为上述(1)的方式时,优选组合多种彩色着色剂而满足上述分光特性。作为遮蔽可见光的着色剂而包含两种以上的彩色着色剂的情况下,优选彩色着色剂为选自红色着色剂、绿色着色剂、蓝色着色剂、黄色着色剂、紫色着色剂及橙色着色剂中的着色剂。作为组合两种以上的彩色着色剂而形成遮蔽可见光的着色剂时的彩色着色剂的组合,例如,可举出以下。(1)含有黄色着色剂、蓝色着色剂、紫色着色剂及红色着色剂的方式。(2)含有黄色着色剂、蓝色着色剂及红色着色剂的方式(3)含有黄色着色剂、紫色着色剂及红色着色剂的方式(4)含有黄色着色剂及紫色着色剂的方式(5)含有绿色着色剂、蓝色着色剂、紫色着色剂及红色着色剂的方式(6)含有紫色着色剂及橙色着色剂的方式(7)含有绿色着色剂、紫色着色剂及红色着色剂的方式(8)含有绿色着色剂及红色着色剂的方式作为上述(1)的方式的具体例,可举出含有作为黄色颜料的c.i.pigmentyellow139或c.i.pigmentyellow185、作为蓝色颜料的c.i.pigmentblue15:6、作为紫色颜料的c.i.pigmentviolet23及作为红色颜料的c.i.pigmentred254或c.i.pigmentred224的方式。作为上述(2)的方式的具体例,可举出含有作为黄色颜料的c.i.pigmentyellow139或c.i.pigmentyellow185、作为蓝色颜料的c.i.pigmentblue15:6及作为红色颜料的c.i.pigmentred254或c.i.pigmentred224的方式。作为上述(3)的方式的具体例,可举出含有作为黄色颜料的c.i.pigmentyellow139或c.i.pigmentyellow185、作为紫色颜料的c.i.pigmentviolet23及作为红色颜料的c.i.pigmentred254或c.i.pigmentred224的方式。作为上述(4)的方式的具体例,可举出含有作为黄色颜料的c.i.pigmentyellow139或c.i.pigmentyellow185、作为紫色颜料的c.i.pigmentviolet23的方式。作为上述(5)的方式的具体例,可举出含有作为绿色颜料的c.i.pigmentgreen7或c.i.pigmentgreen36、作为蓝色颜料的c.i.pigmentblue15:6、作为紫色颜料的c.i.pigmentviolet23、作为红色颜料的c.i.pigmentred254或c.i.pigmentred224的方式。作为上述(6)的方式的具体例,可举出含有作为紫色颜料的c.i.pigmentviolet23、作为橙色颜料的c.i.pigmentorange71的方式。作为上述(7)的方式的具体例,可举出含有作为绿色颜料的c.i.pigmentgreen7或c.i.pigmentgreen36、作为紫色颜料的c.i.pigmentviolet23及作为红色颜料的c.i.pigmentred254或c.i.pigmentred224的方式。作为上述(8)的方式的具体例,可举出含有作为绿色颜料的c.i.pigmentgreen7或c.i.pigmentgreen36及作为红色颜料的c.i.pigmentred254或c.i.pigmentred224的方式。作为各着色剂的比率(质量比),例如可举出以下。[化学式39]no.黄色着色剂绿色着色剂蓝色着色剂紫色着色剂红色着色剂橙色着色剂10.1~0.40.1~0.60.01~0.30.1~0.620.1~0.40.1~0.60.2~0.730.1~0.60.1~0.60.1~0.640.2~0.80.2~0.850.1~0.40.1~0.40.1~0.40.1~0.460.2~0.60.4~0.870.1~0.50.2~0.70.1~0.480.5~0.80.2~0.5当本发明所涉及的树脂组合物含有可见着色剂时,相对于树脂组合物的总固体成分,可见着色剂的含量优选0.01质量%~50质量%。下限更优选0.1质量%以上,进一步优选0.5质量%以上。上限更优选30质量%以下,进一步优选15质量%以下。并且,相对于由式(1)表示的化合物的含量100质量份,可见着色剂的含量优选10质量份~1,000质量份,更优选50质量份~800质量份。(硅烷偶联剂)本发明所涉及的树脂组合物能够含有硅烷偶联剂。本发明中,硅烷偶联剂是指具有水解性基和其以外的官能基的硅烷化合物。并且,水解性基是指与硅原子直接键结,并通过水解反应及稠合反应中的至少任一种而进而产生硅氧烷键的取代基。作为水解性基,例如可举出卤素原子、烷氧基、酰氧基等,优选烷氧基。即,硅烷偶联剂优选具有烷氧基甲硅烷基的化合物。并且,除了水解性基以外的官能基,优选在与树脂等之间通过相互作用或形成键来显示亲和性的基团。例如,可举出乙烯基、苯乙烯基、(甲基)丙烯酰基、巯基、环氧基、氧杂环丁基、氨基、脲基、硫醚基、异氰酸酯基等,优选(甲基)丙烯酰基及环氧基。作为硅烷偶联剂,可举出日本特开2009-288703号公报的0018~0036段中所记载的化合物、日本特开2009-242604号公报的0056~0066段中所记载的化合物、国际公开第2015/166779号公报的0229~0236段中所记载的化合物,并将该内容编入本说明书中。相对于组合物的总固体成分,硅烷偶联剂的含量优选为0.01质量%~15.0质量%,更优选为0.05质量%~10.0质量%。硅烷偶联剂可以仅为一种,也可以为两种以上。当使用两种以上时,优选合计量成为上述范围。(表面活性剂)从进一步提高涂布性的观点考虑,本发明所涉及的树脂组合物也可以含有表面活性剂。作为表面活性剂,能够使用氟系表面活性剂、非离子系表面活性剂、阳离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂、硅酮系表面活性剂等各种表面活性剂。表面活性剂能够参考国际公开第2015/166779号公报的0238~0245段,并将该内容编入本说明书中。使本发明所涉及的组合物中含有氟系表面活性剂,由此作为涂布液而进行制备时的液体特性(尤其流动性)得到进一步提高,且能够进一步改善涂布厚度的均匀性或省液性。并且,能够更优选地进行厚度不均较少的均匀厚度的膜的形成。氟系表面活性剂中的氟原子含有率优选3质量%~40质量%,更优选5质量%~30质量%,尤其优选7质量%~25质量%。氟含有率在该范围内的氟系表面活性剂,在涂布膜的厚度均匀性或省液性方面有效,且组合物中的溶解性也良好。作为氟系表面活性剂,具体而言可举出日本特开2014-041318号公报的0060~0064段(相对应的国际公开2014/017669号公报的0060~0064段)等中所记载的表面活性剂、日本特开2011-132503号公报的0117~0132段中所记载的表面活性剂,并将这些内容编入本说明书中。作为氟系表面活性剂的市售品,例如可举出megafacef171、f172、f173、f176、f177、f141、f142、f143、f144、r30、f437、f475、f479、f482、f554、f780(以上为diccorporation制)、fluoradfc430、fc431、fc171(以上为sumitomo3mlimited制)、surflons-382、sc-101、sc-103、sc-104、sc-105、sc-1068、sc-381、sc-383、s-393、kh-40(以上为asahiglassco.,ltd.制)、polyfoxpf636、pf656、pf6320、pf6520、pf7002(以上为omnovasolutionsinc.制)等。并且,氟系表面活性剂还能够优选地使用具有含有氟原子的官能基的分子结构且被加热时含有氟原子的官能基的一部分被切断而氟原子挥发的丙烯酸系化合物。作为这种氟系表面活性剂,可举出diccorporation制的megafaceds系列(化学工业日报,2016年2月22日)(日经产业新闻,2016年2月23日),例如megafaceds-21。氟系表面活性剂也能够使用嵌段聚合物。例如可举出日本特开2011-089090号公报中所记载的化合物。氟系表面活性剂还能够优选地使用含氟高分子化合物,该含氟高分子化合物包含源自具有氟原子的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元和源自具有2个以上(优选5个以上)亚烷氧基(优选亚乙氧基、亚丙氧基)的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元。作为本发明中所使用的氟系表面活性剂还例示下述化合物。[化学式40]上述化合物的重量平均分子量优选为3,000~50,000,例如为14,000。上述化合物中,表示构成单元的比例的%为摩尔%。并且,氟系表面活性剂也能够使用在侧链具有烯属不饱和基的含氟聚合物。作为具体例,可举出日本特开2010-164965号公报的0050~0090段及0289~0295段中所记载的化合物,例如diccorporation制的megafacers-101、rs-102、rs-718k、rs-72-k等。氟系表面活性剂也能够使用日本特开2015-117327号公报的0015~0158段中所记载的化合物。作为非离子系表面活性剂,可举出甘油、三羟甲基丙烷、三羟甲基乙烷及这些乙氧基化物及丙氧基化物(例如,甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚,聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、pluronicl10、l31、l61、l62、10r5、17r2、25r2(basf公司制)、tetronic304、701、704、901、904、150r1(basf公司制)、solsperse20000(lubrizoljapanlimited制)、ncw-101、ncw-1001、ncw-1002(wakopurechemicalindustries,ltd.制)、pionind-6112、d-6112-w、d-6315(takemotooil&fatco.,ltd.制)、olfine1010、surfynol104、400、440(nissinchemicalco.,ltd.制)等。相对于组合物的总固体成分,表面活性剂的含量优选0.001质量%~5.0质量%,更优选0.005质量%~3.0质量%。表面活性剂可以仅为一种,也可以为两种以上。当为两种以上时,优选合计量为上述范围。(紫外线吸收剂)本发明所涉及的组合物优选含有紫外线吸收剂。关于紫外线吸收剂,可举出共轭二烯化合物及二酮化合物,优选共轭二烯化合物。更优选共轭二烯化合物为下述式(uv-1)表示的化合物。[化学式41]式(uv-1)中,ru1及ru2分别独立地表示氢原子、碳原子数1~20的烷基或碳原子数6~20的芳基,ru1与ru2可以彼此相同,但不会同时表示氢原子。ru1及ru2可以与由ru1及ru2所键结的氮原子一同形成环状氨基。作为环状氨基,例如可举出哌啶基、吗啉基、吡咯烷基、六氢氮呯基、哌嗪基等。ru1及ru2分别独立地优选为碳原子数1~20的烷基,更优选为碳原子数1~10的烷基,进一步优选为碳原子数1~5的烷基。ru3及ru4表示电子吸引基。ru3及ru4优选为酰基、氨基甲酰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氰基、硝基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、磺酰氧基或氨磺酰基,更优选为酰基、氨基甲酰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、磺酰氧基或氨磺酰基。并且,ru3及ru4也可以彼此键合而形成环状电子吸引基。作为由ru3及ru4彼此键合而形成的环状电子吸引基,例如能够举出包含2个羰基的6员环。上述ru1、ru2、ru3及ru4中的至少1个可以呈由经由连接基而与乙烯基键合的单体引出的聚合物的形态。也可以为与其他单体的共聚物。由式(uv-1)表示的紫外线吸收剂的取代基的说明能够参考日本特开2013-068814号公报的0320~0327段的记载,并将该内容编入本说明书中。作为由式(uv-1)表示的紫外线吸收剂的市售品,例如可举出uv503(daitochemicalco.,ltd.制)等。用作紫外线吸收剂的二酮化合物优选由下述式(uv-2)表示的化合物。[化学式42]式(uv-2)中,r101及r102分别独立地表示取代基,m1及m2分别独立地表示0~4的整数。关于取代基,可举出烷基、烯基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基、杂芳氧基、酰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、杂芳氧基羰基、酰氧基、氨基、酰氨基、烷氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、杂芳氧基羰基氨基、磺酰氨基、氨磺酰基、氨基甲酰基、烷硫基、芳硫基、杂芳硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、杂芳基磺酰基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、杂芳基亚磺酰基、脲基、磷酸酰胺基、巯基、磺基、羧基、硝基、异羟肟酸基、亚磺酸基、肼基、亚氨基、甲硅烷基、羟基、卤素原子、氰基等,优选烷基或烷氧基。烷基的碳原子数优选1~20。关于烷基,可举出直链、支链、环状,优选直链或支链,更优选支链。烷氧基的碳原子数优选1~20。关于烷氧基,可举出直链、支链、环状,优选直链或支链,更优选支链。优选r101及r102中的1个为烷基,且另1个为烷氧基的组合。m1及m2分别独立地优选0~2的整数,更优选0或1,尤其优选1。作为由式(uv-2)表示的化合物,可举出下述化合物。[化学式43]紫外线吸收剂也能够使用uvinula(basf公司制)。并且,紫外线吸收剂能够使用氨基二烯化合物、水杨酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合物、三嗪化合物等紫外线吸收剂,作为具体例,可举出日本特开2013-068814号公报中所记载的化合物。作为苯并三唑化合物可以使用miyoshioil&fatco.,ltd.的myua系列(化学工业日报、2016年2月1日)。相对于组合物的总固体成分,紫外线吸收剂的含量优选0.01质量%~10质量%,更优选0.01质量%~5质量%。(阻聚剂)本发明所涉及的组合物也可以含有阻聚剂。作为阻聚剂,可举出对苯二酚、对甲氧基苯酚、二-叔丁基-对甲酚、五倍子酚(pyrogallol)、叔丁基邻苯二酚、苯醌、4,4'-硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2'-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、n-亚硝基苯基羟基胺盐(铵盐、铈盐等)。其中,优选对甲氧基苯酚。另外,阻聚剂也能够作为抗氧化剂而发挥功能。相对于组合物的总固体成分,阻聚剂的含量优选0.01质量%~5质量%。(其他成分)本发明所涉及的组合物可以根据需要而含有增感剂、固化促进剂、填料、热固化促进剂、增塑剂及其他助剂类(例如,导电性粒子、填充剂、消泡剂、阻燃剂、调平剂、剥离促进剂、抗氧化剂、香料、表面张力调节剂、链转移剂等)。通过适当地含有这些成分,可调整作为目标的红外线截止滤光片等光学滤光片的稳定性、膜物性等性质。关于这些成分,例如能够参考日本特开2012-003225号公报的0183段之后(相对应的美国专利申请公开第2013/0034812号说明书的0237段)的记载,日本特开2008-250074号公报的0101~0104及0107~0109段等的记载,并将这些内容编入本说明书中。作为抗氧化剂,例如能够使用酚化合物、磷系化合物(例如日本特开2011-090147号公报的0042段中所记载的化合物)、硫醚化合物等。作为市售品,例如可举出adekacorporation制adkstab系列(ao-20、ao-30、ao-40、ao-50、ao-50f、ao-60、ao-60g、ao-80、ao-330等)。相对于组合物的总固体成分,抗氧化剂的含量优选为0.01质量%~20质量%,更优选为0.3质量%~15质量%。抗氧化剂可以仅为一种,也可以为两种以上。当使用两种以上时,优选合计量成为上述范围。(组合物的制备)本发明所涉及的组合物能够通过将上述各成分进行混合而制备。并且,以去除异物或减少缺陷等为目的,优选用过滤器进行过滤。作为滤光片,若为从以往适用于过滤用途等的滤光片,则可并无特别限定的情况下使用。例如,可举出使用了聚四氟乙烯(ptfe)等氟树脂、尼龙(例如尼龙-6、尼龙-6,6)等聚酰胺系树脂、聚乙烯、聚丙烯(pp)等聚烯烃树脂(包含高密度、超高分子量)等的过滤器。这些原材料中,优选聚丙烯(包含高密度聚丙烯)或尼龙。滤光片的孔径优选0.01μm~7.0μm,更优选0.01μm~3.0μm,进一步优选0.05μm~0.5μm。通过设在该范围内,能够可靠地去除在后工序中阻碍均匀及平滑的组合物的制备的微细的杂质。并且,也优选使用纤维状滤材,作为滤材例如可举出聚丙烯纤维、尼龙纤维、玻璃纤维等,具体而言能够使用rokitechnoco.,ltd.制的sbp型系列(sbp008等)、tpr型系列(tpr002、tpr005等)、shpx型系列(shpx003等)滤芯。使用过滤器时,可以组合不同的过滤器。此时,使用第1过滤器进行的过滤可以进行一次,也可以进行两次以上。并且,也可以组合在上述范围内孔径不同的第1过滤器。在此,孔径能够参考过滤器制造商的标称值。作为市售的过滤器,例如能够从nihonpallltd.(dfa4201nxey等)、advantectoyokaisha,ltd.、nihonentegriskk(原japanmicrolisco.,ltd.)或kitzmicrofiltercorporation等提供的各种过滤器中选择。(组合物的用途)本发明所涉及的组合物能够形成为液状,因此例如能够将本发明所涉及的组合物应用于基材等,并进行干燥而轻松地制造膜。当通过涂布而形成膜时,从涂布性的观点考虑,本发明所涉及的组合物的粘度优选1mpa·s~100mpa·s。下限更优选2mpa·s以上,进一步优选3mpa·s以上。上限更优选50mpa·s以下,进一步优选30mpa·s以下,尤其优选15mpa·s以下。本发明所涉及的组合物的总固体成分可根据涂布方法而变更,例如,优选为1质量%~50质量%。下限更优选10质量%以上。上限更优选30质量%以下。本发明所涉及的组合物的用途并无特别限定。例如,能够优选地使用于红外线截止滤光片等的形成中。例如,能够优选地使用于固体摄像元件的受光侧中的红外线截止滤光片(例如,针对晶片级透镜的红外线截止滤光片用等)、固体摄像元件的背面侧(与受光侧相反的一侧)中的红外线截止滤光片等。尤其,能够优选地用作固体摄像元件的受光侧中的红外线截止滤光片。并且,本发明所涉及的组合物中还含有遮蔽可见光的着色剂,由此也能够形成能够仅使特定波长以上的红外线透射的红外线透射滤光片。例如,也能够形成遮蔽至波长400nm~900nm,并能够使波长900nm以上的红外线透射的红外线透射滤光片。并且,本发明所涉及的组合物优选保管于收纳容器中。并且,作为收纳容器,以抑制杂质(垃圾)混入原材料或组合物中为目的,还优选使用由6种6层树脂构成容器内壁的多层瓶或将6种树脂形成为7层结构的瓶。作为这些容器,例如可举出日本特开2015-123351号公报中所记载的容器。<膜>本发明所涉及的膜为由本发明所涉及的组合物构成的膜或使本发明的组合物固化而成的膜。并且,当本发明所涉及的树脂组合物含有溶剂时,上述膜优选为去除了溶剂的膜或去除溶剂并进行了固化的膜。本发明所涉及的膜能够优选地用作红外线截止滤光片。并且,也能够用作热射线遮蔽滤光片或红外线透射滤光片。本发明的膜也可以层叠于支撑体上而使用,也可以从支撑体剥离而使用。本发明所涉及的膜可以具有图案,也可以为不具有图案的膜(平坦膜)。本发明所涉及的膜的厚度能够根据目的而适当调整。膜的厚度优选20μm以下,更优选10μm以下,进一步优选5μm以下。膜的厚度的下限优选0.1μm以上,更优选0.2μm以上,进一步优选0.3μm以上。本发明所涉及的膜优选在波长600nm~1,200nm的范围具有极大吸收波长,更优选在波长700nm~1,000nm的范围具有极大吸收波长,进一步优选在波长740nm~960nm的范围具有极大吸收波长。当将本发明所涉及的膜用作红外线截止滤光片时,本发明所涉及的膜优选满足以下(1)~(4)中的至少1个条件,进一步优选满足(1)~(4)的所有的条件。(1)波长400nm中的透射率优选70%以上,更优选80%以上,进一步优选85%以上,尤其优选90%以上。(2)波长500nm中的透射率优选70%以上,更优选80%以上,进一步优选90%以上,尤其优选95%以上。(3)波长600nm中的透射率优选70%以上,更优选80%以上,进一步优选90%以上,尤其优选95%以上。(4)波长650nm中的透射率优选70%以上,更优选80%以上,进一步优选90%以上,尤其优选95%以上。本发明所涉及的膜还能够与包含彩色着色剂的彩色滤光片组合使用。彩色滤光片能够通过使用包含彩色着色剂的着色组合物来制造。作为彩色着色剂,可举出于本发明所涉及的组合物的栏中进行了说明的彩色着色剂。着色组合物还能够含有树脂、固化性化合物、聚合引发剂、表面活性剂、溶剂、阻聚剂、紫外线吸收剂等。关于这些的详细内容,可举出上述材料,且能够使用这些。当将本发明所涉及的膜与彩色滤光片组合而使用时,优选在通过本发明所涉及的膜的光的光路上配置有彩色滤光片。例如,能够将本发明所涉及的膜与彩色滤光片进行层叠而用作层叠体。层叠体中,本发明所涉及的膜与彩色滤光片这两者可以在厚度方向上相邻,也可以不相邻。当本发明所涉及的膜与彩色滤光片在厚度方向上并不相邻时,可以在与形成有彩色滤光片的支撑体不同的支撑体上形成有本发明的膜,也可以为构成固体摄像元件的其他构件(例如,微透镜、平坦化层等)介于本发明所涉及的膜与彩色滤光片之间。另外,本发明中,红外线截止滤光片是指,使可见区域的波长的光(可见光)透射并遮蔽红外区域的波长的光(红外线)的至少一部分的滤光片。红外线截止滤光片可以使可见区域的波长的光完全透射,也可以使可见区域的波长的光中的特定的波长区域的光透射,并遮蔽特定波长区域的光。并且,本发明中,彩色滤光片是指使可见区域的波长的光中的特定的波长区域的光透射并遮蔽特定的波长区域的光的滤光片。并且,本发明中,红外线透射滤光片是指,遮蔽可见光并使红外线的至少一部分透射的滤光片。本发明所涉及的膜能够使用于ccd(电荷耦合元件)或cmos(互补型金属氧化膜半导体)等固体摄像元件或红外线传感器、图像显示装置等各种装置中。<膜的制造方法>接着,对本发明所涉及的膜的制造方法进行说明。本发明所涉及的膜能够经涂布本发明所涉及的组合物的工序而制造。本发明所涉及的膜的制造方法中,优选将组合物涂布在支撑体上。作为支撑体,例如可举出由硅酮、无碱玻璃、钠玻璃、派热克斯(注册商标)玻璃、石英玻璃等材质构成的基板。在这些基板中可以形成有机膜或无机膜等。作为有机膜的材料,例如可举出上述的树脂。并且,作为支撑体,也能够使用由上述树脂构成的基板。并且,在支撑体上可以形成电荷耦合元件(ccd)、互补型金属氧化膜半导体(cmos)、透明导电膜等。并且,有时在支撑体上形成有隔离各像素的黑色矩阵。并且,根据需要,为了改善与上部层的密合性以及防止物质扩散或使基板表面平坦,可以在支撑体上设置底涂层。并且,当作为支撑体而使用玻璃基板时,优选在玻璃基板上形成无机膜或者对玻璃基板进行脱碱处理来使用。根据该方式,可轻松地制造进一步抑制了异物的产生的膜。另外,当使用了支撑体中所含有的成分(例如,当为钠玻璃时为钠离子等)容易从钠玻璃等支撑体侧移到形成在支撑体上的膜中时,有时颜料衍生物与从支撑体转移的成分进行反应形成盐等而析出晶体,但根据本发明所涉及的组合物,即使涂布在这些支撑体上的情况下,也能够制造抑制了异物的产生的膜。因此,在这些支撑体上形成膜的情况下,本发明所涉及的组合物尤其有效。作为组合物的涂布方法,能够使用公知的方法。例如,可举出:滴加法(滴涂);狭缝涂布法;喷涂法;辊涂法;旋转涂布法(旋涂);流延涂布法;狭缝及旋转法;预湿法(例如,日本特开2009-145395号公报中所记载的方法);喷墨法(例如,按需喷涂方式、压电方式、热方式)、喷嘴喷射等吐出型印刷、柔版印刷、网版印刷、凹版印刷、反向胶版印刷、金属掩模印刷法等各种印刷法;使用模具等的转引法、纳米压印法等。作为通过喷墨的应用方法,并无特别限定,例如可举出“扩展、使用的喷墨-专利中出现的无限可能性-、2005年2月发行、sumitbetechonresearchco.,ltd.”中示出的方法(尤其115页~133页)、在日本特开2003-262716号公报、日本特开2003-185831号公报、日本特开2003-261827号公报、日本特开2012-126830号公报、日本特开2006-169325号公报等中所记载的方法。对涂布组合物而形成的组合物层可以进行干燥(预烘烤)。当通过低温工艺而形成图案时,可以不进行预烘烤。当进行预烘烤时,预烘烤温度优选150℃以下,更优选120℃以下,进一步优选110℃以下。下限例如优选设为50℃以上,更优选设为80℃以上。通过在150℃以下的预烘烤烤温度下进行预烘烤,例如由有机原材料形成图像传感器的光电转换膜时,能够进一步有效地维持这些特性。预烘烤时间优选10秒~3,000秒,更优选40秒~2,500秒,进一步优选80秒~220秒。能够通过加热板、烤箱等来进行干燥。本发明所涉及的膜的制造方法中,还可以包括形成图案的工序。作为图案形成方法,可举出利用了光刻法的图案形成方法或利用了干式蚀刻法的图案形成方法。另外,当将本发明所涉及的膜用作平坦膜时,可以不进行形成图案的工序。以下,对形成图案的工序进行详细说明。-利用光刻法形成图案时-利用光刻法形成图案的方法优选包括:曝光工序,对涂布本发明所涉及的组合物而形成的组合物层以图案状进行曝光;及显影工序,显影去除未曝光部的组合物层来形成图案。根据需要,可以设置对已显影的图案进行烘烤的工序(后烘烤工序)。以下,对各工序进行说明。<<曝光工序>>曝光工序中以图案状对组合物层进行曝光。例如,对组合物层使用步进机等曝光装置并经由具有规定的掩模图案的掩模而进行曝光,由此能够对组合物层进行图案曝光。由此,能够对曝光部分进行固化。作为能够在曝光时使用的放射线(光),优选g射线、i射线等紫外线,更优选i射线。照射量(曝光量)例如优选0.03j/cm2~2.5j/cm2,更优选0.05j/cm2~1.0j/cm2,尤其优选0.08j/cm2~0.5j/cm2。关于曝光时的氧浓度,能够适当选择,除了在大气下进行以外,例如可以在氧浓度为19体积%以下的低氧环境下(例如,15体积%、5体积%、实质上无氧)进行曝光,也可以在氧浓度大于21体积%的高氧环境下(例如,22体积%、30体积%、50体积%)进行曝光。并且,曝光照度能够适当设定,优选能够从1,000w/m2~100,000w/m2(例如,5,000w/m2、15,000w/m2、35,000w/m2)的范围选择。氧浓度和曝光照度可以适当组合条件,例如能够设为氧浓度10体积%且照度10,000w/m2,氧浓度35体积%且照度20,000w/m2等。<<显影工序>>接着,显影去除曝光后的组合物层中的未曝光部的组合物层来形成图案。能够使用显影液来进行未曝光部的组合物层的显影去除。由此,曝光工序中的未曝光部的组合物层被显影液溶出,而仅光固化的部分残留在支撑体上。作为显影液,优选不会对基底的固体摄像元件或电路等予以损害的碱显影液。显影液的温度例如优选20℃~30℃。显影时间优选20秒~180秒。并且,为了提高残渣去除性,可以反复进行多次按每60秒钟甩掉显影液,进而供给新的显影液的工序。作为使用于显影液的碱剂,例如可举出氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二乙二醇胺、二乙醇胺、羟基胺、乙二胺、氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵、氢氧化四丙基铵、氢氧化四丁基铵、氢氧化苄基三甲基铵、二甲基双(2-羟乙基)氢氧化铵、胆碱、吡咯、哌啶、1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯等有机碱性化合物、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、硅酸钠、偏硅酸钠等无机碱性化合物。显影液可优选使用以纯水将这些碱剂稀释的碱性水溶液。碱性水溶液的碱剂的浓度优选0.001质量%~10质量%,更优选0.01质量%~1质量%。并且,显影液还可以使用表面活性剂。作为表面活性剂的例子,可举出以上述的组合物说明的表面活性剂,优选非离子系表面活性剂。关于显影液,从便于输送或保管等观点考虑,可以暂且作为浓缩液而制造,而在使用时稀释成所需要的浓度。稀释倍率并无特别限定,例如能够设定在1.5倍~100倍的范围。另外,当使用包括这些碱性水溶液的显影液时,优选显影后用纯水清洗(冲洗)。显影后,并实施了干燥之后还能够进行加热处理(后烘烤)。后烘烤为用于使膜完全固化的显影后的加热处理。进行后烘烤时,后烘烤温度例如优选100℃~240℃。从膜固化的观点考虑,更优选200℃~230℃。并且,当作为发光光源而使用了有机电致发光(有机el)元件时或由有机原材料形成图像传感器的光电转换膜时,后烘烤温度优选150℃以下,更优选120℃以下,进一步优选100℃以下,尤其优选90℃以下。下限例如能够设为50℃以上。关于后烘烤,能够以成为上述条件的方式利用加热板或对流式烘箱(热风循环式干燥机)、高频加热机等加热机构,以连续式或间歇式对显影后的膜进行后烘烤。并且,通过低温工艺形成图案时,可以不进行后烘烤。-利用干式蚀刻法形成图案时-关于利用干式蚀刻法的图案形成,能够通过如下方法进行,即,使通过将组合物涂布在支撑体上等而形成的组合物层固化来形成固化物层,接着,在该固化物层上形成经图案化的光致抗蚀剂层,接着,将经图案化的光致抗蚀剂层作为掩模而对固化物层使用蚀刻气体进行干式蚀刻等。光致抗蚀剂层的形成中,优选进一步实施预烘烤处理。尤其,作为光致抗蚀剂的形成工艺,优选实施曝光后的加热处理、显影后的加热处理(后烘烤处理)的方式。关于利用干式蚀刻法的图案形成,能够参考日本特开2013-064993号公报的0010~0067段的记载,并将该内容编入本说明书中。<红外线截止滤光片及其制造方法>本发明所涉及的红外线截止滤光片具有本发明所涉及的膜。另外,本发明所涉及的红外线截止滤光片可以为仅截止红外线区域的一部分波长的红外线的滤光片,也可以为截止整个红外线区域的滤光片。作为仅截止红外线区域的一部分波长的红外线的滤光片,例如可举出近红外线截止滤光片。并且,本发明所涉及的红外线截止滤光片,优选为截止750nm~1,000nm的范围的红外线的滤光片,更优选为截止750nm~1,200nm的范围的红外线的滤光片,进一步优选为截止750nm~1,200nm的红外线的滤光片。除了上述膜以外,本发明所涉及的红外线截止滤光片还可以具有含有铜的层、电介质多层膜、紫外线吸收层等。本发明所涉及的红外线截止滤光片至少还具有含有铜的层或电介质多层膜,由此可轻松地得到视角宽广,且红外线遮蔽性优异的红外线截止滤光片。并且,本发明所涉及的红外线截止滤光片还具有紫外线吸收层,由此能够形成紫外线遮蔽性优异的红外线截止滤光片。作为紫外线吸收层,例如,能够参考国际公开第2015/099060号的0040~0070及0119~0145段中所记载的吸收层,并将该内容编入本说明书中。作为电介质多层膜,能够参考日本特开2014-041318号公报的0255~0259段中所记载的介电质多层膜,并将该内容编入本说明书中。作为含铜的层,也可使用由含铜的玻璃形成的玻璃基材(含铜的玻璃基材)或含铜络合物的层(含铜络合物的层)。作为含铜的玻璃基材,可举出含铜的磷酸盐玻璃、含铜的氟磷酸盐玻璃等。作为含铜的玻璃的市售品,可举出nf-50(agctechnoglassco.,ltd.制)、bg-60、bg-61(以上为schottag制)、cd5000(hoyacorporation.制)等。本发明所涉及的红外线截止滤光片能够使用于ccd(电荷耦合元件)或cmos(互补型金属氧化膜半导体)等固体摄像元件或红外线传感器、图像显示装置等各种装置中。本发明所涉及的红外线截止滤光片具有使用本发明所涉及的组合物而得到的膜的像素(图案)和选自由红、绿、蓝、品红、黄、青、黑及无色组成的组中的至少一种像素(图案)的方式,也是优选的方式。作为本发明所涉及的红外线截止滤光片的制造方法,并无特别限制,优选如下方法,即包括将本发明所涉及的组合物赋予到支撑体上而形成组合物层的工序、将上述组合物层曝光成图案状的工序及对上述曝光中的未曝光部进行显影去除而形成图案的工序的方法或包括将本发明的组合物赋予于支撑体上而形成组合物层的工序、在上述层上形成光致抗蚀剂层的工序、通过进行曝光及显影而将上述光致抗蚀剂层图案化来得到抗蚀剂图案的工序、以及将上述抗蚀剂图案作为蚀刻掩模而对上述层进行干式蚀刻的工序的方法。作为本发明所涉及的红外线截止滤光片的制造方法中的各工序,能够参考本发明的膜的制造方法中的各工序。<固体摄像元件>本发明所涉及的固体摄像元件具有本发明所涉及的膜。作为固体摄像元件的结构,只要是具有本发明所涉及的膜的结构,且能够作为固体摄像元件而发挥功能的结构,则并无特别限定。例如,可举出如下结构。该结构为如下:在支撑体上具有包含构成固体摄像元件的受光区的多个光电二极管及多晶硅等的转移电极,在光电二极管及转移电极上具有仅光电二极管的受光部开口的包含钨等的遮光膜,遮光膜上具有以覆盖整个遮光膜及光电二极管受光部的方式形成的包含氮化硅等的装置保护膜,且在装置保护膜上具有本发明所涉及的膜。进而,也可以是在装置保护膜上且在本发明的膜的下侧(接近支撑体一侧)具有聚光机构(例如,微透镜等。以下相同)的结构、在本发明所涉及的膜上具有聚光机构的结构等。并且,固体摄像元件中所使用的彩色滤光片可以具有如下结构:在由隔壁分割为例如格子状的空间,嵌入有形成各像素的膜。优选该情况下的隔壁的折射率相比各像素为低折射率。作为具有这种结构的摄像装置的例子,可举出日本特开2012-227478号公报、日本特开2014-179577号公报中所记载的装置。<图像显示装置>本发明所涉及的图像显示装置具有本发明所涉及的膜。作为图像显示装置,可举出液晶显示装置或有机电致发光(有机el)显示装置等。关于图像显示装置的定义或详细内容,例如记载于“电子显示装置(佐佐木昭夫著、kogyochosakaipublishingco.,ltd.1990年发行)”、“显示装置(伊吹顺章著、sangyotoshopublishingco.,ltd.1989年发行)”等中。并且,关于液晶显示装置,例如记载于“下一代液晶显示技术(内田龙男编辑、kogyochosakaipublishingco.,ltd.1994年发行)”。本发明中能够应用的液晶显示装置并无特别限制,例如,能够应用于上述“下一代液晶显示技术”中所记载的各种方式的液晶显示装置。图像显示装置可以具有白色有机el元件。作为白色有机el元件,优选为串联结构。关于有机el元件的串联结构,记载于日本特开2003-045676号公报、三上明义监修、“有机el技术开发的最前线-高亮度、高精度、长寿命化、技术秘密集-”,技术信息协会、326-328页、2008年等。有机el元件所发出的白色光的光谱优选在蓝色区域(430nm-485nm)、绿色区域(530nm-580nm)及黄色区域(580nm-620nm)具有较强的极大发光峰值。除了这些发光峰值以外,更优选进一步在红色区域(650nm-700nm)具有极大发光峰值。<红外线传感器>本发明所涉及的红外线传感器具有本发明所涉及的膜。作为红外线传感器的结构,只要作为红外线传感器而发挥功能的结构,则无特别限定。以下,利用附图对本发明所涉及的红外线传感器的一实施方式进行说明。图1中,符号110为固体摄像元件。在设置于固体摄像元件110上的摄像区域中,具有红外线截止滤光片111和红外线透射滤光片114。并且,在红外线截止滤光片111上层叠有彩色滤光片112。在彩色滤光片112及红外线透射滤光片114的入射光hν侧配置有微透镜115。以覆盖微透镜115的方式形成有平坦化层116。能够使用本发明所涉及的组合物而形成红外线截止滤光片111。红外线截止滤光片111的分光特性可根据所使用的红外发光二极管(红外led)的发光波长而选择。彩色滤光片112为形成有透射及吸收可见区域中的特定波长的光的像素的彩色滤光片,且并无特别限定,能够使用以往公知的像素形成用彩色滤光片。例如,可使用形成有红色(r)、绿色(g)、蓝色(b)的像素的彩色滤光片等。例如,能够参考日本特开2014-043556号公报的0214~0263段的记载,并将该内容编入本说明书中。关于红外线透射滤光片114,可根据所使用的红外led的发光波长而选择其特性。例如,当红外led的发光波长为850nm时,红外线透射滤光片114的膜的厚度方向上的透光率,在波长400nm~650nm的范围中的最大值优选为30%以下,更优选为20%以下,进一步优选为10%以下,尤其优选为0.1%以下。该透射率优选在波长400nm~650nm的范围的所有区域满足上述条件。红外线透射滤光片114在膜的厚度方向上的光透射率,在波长800nm以上(优选为800nm~1,300nm)的范围中的最小值优选为70%以上,更优选为80%以上,进一步优选为90%以上。上述透射率优选在波长800nm以上的范围的一部分满足上述条件,更优选在与红外led的发光波长相对应的波长满足上述条件。红外线透射滤光片114的膜厚优选100μm以下,更优选15μm以下,进一步优选5μm以下,尤其优选1μm以下。下限值优选0.1μm。膜厚只要在上述范围内,则能够设为满足上述分光特性的膜。以下示出红外线透射滤光片114的分光特性、膜厚等的测定方法。关于膜厚,使用触针式表面形状测定器(ulvac,inc.制dektak150)来测定具有膜的干燥后的基板。膜的分光特性为使用紫外可见近红外分光光度计(hitachihigh-technologiescorporation制u-4100),在波长300nm~1,300nm的范围中测定透射率而得的值。并且,例如,当红外led的发光波长为940nm时,优选红外线透射滤光片114在膜的厚度方向上的光的透射率,在波长450nm~650nm的范围中的最大值为20%以下,在膜的厚度方向上的波长835nm的光的透射率为20%以下,在膜的厚度方向上的光的透射率的波长1,000nm~1,300nm的范围中的最小值为70%以上。图1所示的红外线传感器中,在平坦化层116上可以进而配置有与红外线截止滤光片111不同的红外线截止滤光片(其他红外线截止滤光片)。作为其他红外线截止滤光片,可举出含有铜的层或至少具有电介质多层膜的物质。关于这些的详细内容,可举出上述内容。并且,作为其他红外线截止滤光片,可以使用双频带通滤光片。并且,本发明中所使用的红外线透射滤光片及红外线截止滤光片的吸收波长,可根据使用光源等而适当组合而使用。(相机模块)本发明所涉及的相机模块具有固体摄像元件和本发明所涉及的红外线截止滤光片。并且,本发明所涉及的相机模块优选还具有透镜及对从上述固体摄像元件得到的摄像进行处理的电路。作为本发明所涉及的相机模块中所使用的固体摄像元件,可以是上述本发明所涉及的固体摄像元件,也可以是公知的固体摄像元件。并且,作为本发明所涉及的相机模块中所使用的透镜及对从上述固体摄像元件得到的摄像进行处理的电路,能够使用公知的物品。作为相机模块的例,能够参考日本特开2016-006476号公报或日本特开2014-197190号公报中所记载的相机模块,并将这些内容编入本说明书中。<化合物>本发明所涉及的化合物为由下述式(1)表示的化合物。本发明所涉及的化合物能够优选地用作红外线吸收色素。[化学式44]式(1)中,r1及r2分别独立地表示由下述式(2)表示且基团整体的溶解度参数为12.2(cal/cm3)1/2以上的基团,r3~r6分别独立地表示氰基、酰基、烷氧基羰基、烷基、芳基亚磺酰基或杂芳基,r7及r8分别独立地表示氢原子、烷基、芳基、杂芳基、-br9r10或金属原子,r7及r8中的至少1个与r1~r4中的至少1个可以形成共价键或配位键,r9及r10分别独立地表示氢原子、卤素原子、烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基或杂芳氧基,并且r9及r10可以彼此键合而形成环。[化学式45]*-x1-l1-y1(2)式(2)中,x1表示间亚苯基、对亚苯基、2个以上的芳香环稠合而成的2价稠合多环芳香环基或2价杂芳香环基,l1表示单键或2价连接基,y1表示极性基,*表示与式(1)中的吡咯并吡咯环的连结部位。本发明所涉及的化合物的优选方式分别与在本发明所涉及的组合物中作为由式(1)表示的化合物而叙述的优选方式相同。作为本发明所涉及的化合物的制造方法,并无特别限制,通过公知的制造方法来制造即可。例如,可优选地举出式(1)中的r1及r2通过作为间苯氧基或对苯氧基的化合物而被导入式(2)中的l1及y1来制造的方法。实施例以下,举出实施例对本发明进行进一步详细的说明。以下的实施例中所示出的材料、使用量、比例、处理内容、处理顺序等只要不脱离本发明的宗旨,则能够适当进行变更。从而,本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。另外,没有特别限定的情况下,“份”、“%”为质量基准。<化合物(1-69)的合成>按照下述方案合成了化合物(1-69)。[化学式46]将4-(1-甲基庚氧基)苄腈作为原料,依照美国专利第5,969,154号说明书中所记载的方法合成了化合物(1-69-a)。按照下述方案,合成了中间体c-0。[化学式47]将5.0质量份的4,5-二氯-1,2-苯二胺、2.9质量份的乙醛酸一水合物及120质量份的乙醇放入烧瓶中,在加热回流条件下搅拌了12小时。反应后,滤取了析出物。通过在50℃下对该晶体进行送风干燥而得到了5.5质量份的中间体c-0a。将5.0质量份的中间体c-0a和30质量份的三氯氧磷放入烧瓶中,在加热回流条件下搅拌了2小时。反应后,将反应液注入300质量份的水中而滤取了析出物。通过对该晶体进行送风干燥而得到了5.0质量份的中间体c-0b。将60质量%的1.3质量份氢化钠和10质量份的四氢呋喃(thf)放入烧瓶中,在冰浴下滴加了4.0质量份的氰基乙酸叔丁酯。在室温(25℃,以下相同)下搅拌1小时之后,添加5.0质量份的中间体c-0b搅拌了12小时。将反应液注入75质量份的水中,并添加3质量份的乙酸而滤取了析出物。通过在50℃下对该晶体进行送风干燥而得到了4.6质量份的中间体c-0c。将4.0质量份的中间体c-0c、12质量份的三氟乙酸及24质量份的二氯甲烷放入烧瓶中,在60℃下搅拌了1小时。反应后,添加碳酸钠水溶液,并利用氯仿而萃取了有机层。减压去除溶剂,通过用乙酸乙酯对所得到的晶体进行再结晶而进行了提纯。通过在50℃下对该晶体进行送风干燥而得到了2.0质量份的中间体c-0。将50质量份的化合物(1-69-a)、52.4质量份的中间体c-0在1,000质量份的甲苯(toluene)中进行搅拌,并滴加127质量份的三氯氧磷加热回流了3.5小时。反应结束后,冷却至内温25℃,将内温维持在30℃以下并经60分钟滴加了1,000质量份的甲醇。滴加结束后,在室温下搅拌了30分钟。滤除已析出的晶体,并以500质量份的甲醇进行了清洗。对所得到的晶体添加甲醇500质量份而加热回流30分钟,并冷却至30℃而滤除了晶体。通过在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了56.6质量份的化合物(1-69-b)。将51质量份的二苯基硼酸2-氨基乙酯在500质量份的1,2-二氯苯中进行搅拌,在外部温度40℃下,经10分钟滴加72.2质量份的四氯化钛并搅拌了30分钟。添加25质量份的化合物(1-69-b),升温至外部温度130℃而加热回流了90分钟。冷却至内温30℃,一边将内温维持在30℃以下一边滴加了1000质量份的甲醇。滴加后搅拌30分钟而滤除了晶体,并用500质量份的甲醇进行了清洗。对所得到的晶体添加250质量份的甲醇而加热回流30分钟,直至达到30℃为止进行冷却而滤除了晶体。通过在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了25质量份的化合物(1-69-c)。按照下述方案合成了中间体c-1。[化学式48]将60质量份的偏苯三酸酐在400质量份的二甲基甲酰胺(dmf)中进行搅拌,并添加了53.5质量份的氯化铵。一边将内温维持在35℃以下一边滴加了34.7质量份的三乙胺。滴加后并搅拌了30分钟,然后升温至外部温度160℃而加热回流了3小时。冷却至内温30℃,并添加200质量份的水、400质量份的乙酸乙酯,通过分液操作而取出了有机层。用100质量份的1mol/l盐酸水溶液清洗有机层之后,对溶剂进行减压蒸馏而得到了30质量份的中间体c-1。将20质量份的化合物(1-69-c)在400质量份的四氢呋喃中进行搅拌,依次滴加28.1质量份的中间体c-1、18.5质量份的n,n'-二异丙基碳化二亚胺、0.2质量份的二甲基胺基吡啶(dmap),在室温下搅拌了6小时。滤除了晶体,并用100质量份的四氢呋喃进行了清洗。通过在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了23.5质量份的化合物(1-69)。化合物(1-69)的λmax在氯仿中为883nm。通过基质辅助激光解吸电离质谱分析(maldi-ms)观察到分子量1,432.2的峰值,并鉴定其为化合物(1-69)。<化合物(1-70)、(1-81)、(1-21)、(1-37)、(1-148)、(1-159)、(1-169)、(1-221)、(1-245)、(1-257)、(1-269)及(1-321)的合成>除了改变原料以外,以与化合物(1-69)相同的方法合成了化合物(1-70)、(1-81)、(1-21)、(1-37)、(1-148)、(1-159)、(1-169)、(1-221)、(1-245)、(1-257)、(1-269)及(1-321)。<化合物(1-86)的合成>按照下述方案合成了化合物(1-86)。[化学式49]按照下述方案,合成了中间体c-2。[化学式50]将60质量份的偏苯三酸酐在400质量份的二甲基甲酰胺(dmf)中进行搅拌,并添加了23.2质量份的甲胺盐酸盐。一边将内温维持在35℃以下一边滴加了34.7质量份的三乙胺。滴加后并搅拌了30分钟之后,升温至外部温度160℃并加热回流了3小时。冷却至内温30℃,添加200质量份的水、200质量份的乙酸乙酯,并通过分液操作而取出了有机层。用100质量份的1mol/l盐酸水溶液清洗了有机层之后,通过对溶剂进行减压蒸馏而得到了62质量份的中间体c-2a。将50质量份的中间体c-2a在500质量份的氯仿中进行搅拌,并添加了0.1质量份的二甲基甲酰胺(dmf)、46质量份的草酰氯。在室温下搅拌了3小时之后,通过对溶剂进行减压蒸馏而得到了54质量份的中间体c-2。将20质量份的化合物(1-69-c)在400质量份的四氢呋喃中进行搅拌,依次滴加22.3质量份的三乙胺、32.9质量份的(中间体c-2),升温至外部温度75℃并加热回流了1小时。冷却至内温30℃,滤除了晶体,并用四氢呋喃200质量份进行了清洗。对所得到的晶体添加200质量份的甲醇而加热回流1小时,直至达到30℃为止进行冷却而滤除了晶体。在40℃下对所得到的经体进行12小时的送风干燥而得到了24质量份的化合物(1-86)。1h-nmr(cdcl3):δ=3.27(s,6h)、6.39(d,4h)、7.00(d,4h)、7.20~7.40(m,20h)、7.81(s,2h)、8.05(s,2h)、8.29(s,2h)、8.65(s,2h)、8.76(s,2h)、9.05(s,2h).化合物(1-86)的λmax在氯仿中为883nm。<化合物(1-27)、(1-28)、(1-43)、(1-44)、(1-51)、(1-85)、(1-99)、(1-100)、(1-126)、(1-127)、(1-139)、(1-140)、(1-162)、(1-163)、(1-166)、(1-168)、(1-176)、(1-177)、(1-228)、(1-229)、(1-234)、(1-235)、(1-256)、(1-262)、(1-263)、(1-267)、(1-269)、(1-276)、(1-315)、(1-317)、(1-346)、(1-349)、(1-357)、(1-362)、(1-363)、(1-364)及(1-384)的合成>除了改变原料以外,以与化合物(1-86)相同的方法合成了化合物(1-27)、(1-28)、(1-43)、(1-44)、(1-51)、(1-85)、(1-99)、(1-100)、(1-126)、(1-127)、(1-139)、(1-140)、(1-162)、(1-163)、(1-166)、(1-168)、(1-176)、(1-177)、(1-228)、(1-229)、(1-234)、(1-235)、(1-256)、(1-262)、(1-263)、(1-267)、(1-269)、(1-276)、(1-315)、(1-317)、(1-346)、(1-349)、(1-357)、(1-362)、(1-363)、(1-364)及(1-384)。<化合物(1-232)的合成>按照下述方案合成了化合物(1-232)。[化学式51]将4-(1-甲基庚氧基)苄腈作为原料,依照美国专利第5,969,154号说明书中所记载的方法合成了化合物(1-232-a)。1h-nmr(dmso(二甲基亚砜):甲醇钠的28质量%甲醇溶液=95:5(质量比)的混合液);δ=0.82(t,6h)、1.15-1.70(m,26h)、4.40(m,2h)、6.78(d,4h)、8.48(d,2h).将20.0质量份的化合物(1-232-a)、15.4质量份的2-(2-苯并噻唑基)乙腈在230质量份的甲苯中进行搅拌,并滴加45.0质量份的三氯氧磷而加热回流了3.5小时。反应结束后,冷却至内温25℃,将内温维持在30℃以下并经60分钟滴加200质量份的甲醇。滴加结束后,在室温下搅拌了30分钟。滤除已析出的晶体,并以100质量份的甲醇进行了清洗。对所得到的晶体添加200质量份的甲醇,加热回流30分钟,直至达到30℃为止进行冷却而滤除了晶体。通过在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了8.8质量份的化合物(1-232-b)。1h-nmr(cdcl3):δ=0.90-1.90(m,32h)、4.54(m,2h)、7.12(d,4h)、7.20-7.40(m,2h)、7.43(t,2h)、7.75(d,4h)、7.81(t,4h).将3.9质量份的二苯基硼酸2-胺基乙酯、6.0质量份的化合物(1-232-b)在60质量份的甲苯中进行搅拌,在外部温度40℃下,经10分钟滴加10.6质量份的四氯化钛并搅拌了30分钟。升温至外部温度130℃并加热回流了3小时。冷却至内温30℃,一边将内温维持在30℃以下一边滴加了甲醇40质量份。滴加后搅拌30分钟,滤除所析出的晶体,并用甲醇35质量份进行了清洗。进行了2次如下操作,即对所得到的晶体添加50质量份的甲醇并加热回流30分钟,冷却至30℃而滤除了晶体。通过在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了4.6质量份的化合物(1-232-c)。1h-nmr(dmso):δ=6.20-6.30(dd,8h)、6.91(d,2h)、7.12-7.21(m,24h)、7.92(d,2h)、9.54(s,2h).通过maldi-ms观察到分子量1,090.9的峰值,并鉴定其为化合物(1-232-c)。化合物(1-232-c)的λmax在dmso(二甲基亚砜)中为782nm。添加4.5质量份的n-(3-溴丙基)邻苯二甲酰亚胺、2.0质量份的化合物(1-232-c)及37.6质量份的dmac、4.7质量份的碳酸钾搅拌了5小时。将外部温度升温至100℃,并加热了1小时。接着,向反应机追加2.3质量份的n-(3-溴丙基)邻苯二甲酰亚胺和2.5质量份的碳酸钾,并持续搅拌了6小时。冷却至内温30℃,一边将内温维持在30℃以下一边滴加了40质量份的1mol/l氢氧化钠水溶液。滴加后搅拌30分钟,滤除所析出的晶体,并用35质量份的蒸馏水进行了清洗。通过在50℃下对所得到的晶体进行24小时的送风干燥而得到了2.1质量份的化合物(1-232)。1h-nmr(cdcl3):δ=2.21(quin,4h)、3.96(t,4h)、4.02(t,4h)、6.35(d,4h)、6.40(d,4h)、7.00-7.25(m,28h)、7.73(m,4h)、7.89(m,4h).<化合物(1-32)、(1-94)、(1-103)及(1-170)的合成>除了改变了原料以外,用与化合物(1-232)相同的方法合成了化合物(1-32)、(1-94)、(1-103)及(1-170)。<色素衍生物(4-25)的合成>按照下述方案合成了中间体c-3。[化学式52]将60质量份的偏苯三酸酐在400质量份的二甲基甲酰胺(dmf)中进行搅拌,一边将内温维持在40℃以下一边添加了42.7质量份的n,n-二乙基-1,3-二氨基丙烷。滴加后搅拌30分钟,然后升温至外部温度160℃并加热回流了4小时。冷却至内温30℃,添加400质量份的乙酸乙酯而搅拌了30分钟。滤除了晶体,并用200质量份的乙酸乙酯进行了清洗。通过在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了90质量的中间体c-3a。将30质量份的中间体c-3a在300质量份的氯仿中进行搅拌,并添加了0.1质量份的二甲基甲酰胺(dmf)、19质量份的草酰氯。在室温下搅拌了3小时之后,通过对溶剂进行减压蒸馏而得到了42质量份的中间体c-3。按照下述方案合成了色素衍生物(4-25)。[化学式53]将12质量份的化合物(1-69-c)在180质量份的四氢呋喃中进行搅拌,并添加了20质量份的三乙胺。滴加将35质量份的中间体c-3溶解于150质量份的氯仿而成的溶液,并在室温下搅拌了5小时。反应后,滤除了晶体,并用100质量份的四氢呋喃进行了清洗。对所得到的晶体添加200质量份的甲醇而加热回流1小时,直至成为30℃为止进行冷却而滤除了晶体。在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了15.6质量份的色素衍生物(4-25)。1h-nmr(cdcl3):δ=1.06(t,12h)、1.97(m,4h)、2.63(m,12h)、3.83(t,4h)、6.39(d,4h)、6.99(d,4h)、7.20~7.40(m,20h)、7.82(s,2h)、8.04(s,2h)、8.29(s,2h)、8.65(s,2h)、8.75(s,2h)、9.05(s,2h).色素衍生物(4-1)的λmax在氯仿中为883nm。<色素衍生物(4-4)的合成>按照下述方案合成了色素衍生物(4-4)。[化学式54]将15质量份的化合物(1-69)和22.5质量份的碳酸铯在100质量份的二甲基乙酰胺(dmac)和四氢呋喃100质量份中搅拌了10分钟。添加10质量份的丙烷磺内酯,升温至外部温度60℃并加热回流了90分钟。冷却至内温30℃,添加200质量份的四氢呋喃而滤除了所析出的晶体。将如下操作进行了2次,即向1mol/l氯化氢的100质量份乙酸乙酯溶液添加所得到的晶体,在室温下搅拌30分钟而滤除所析出的晶体。向所得到的晶体添加75质量份的水,在室温下搅拌30分钟而滤除了所析出的晶体。向所得到的晶体添加300质量份的乙酸乙酯并加热回流30分钟,冷却至30℃而滤除了晶体。通过在40℃下对所得到的晶体进行12小时的送风干燥而得到了9.0质量份的色素衍生物(4-4)。通过maldi-ms观察到分子量1,676.2的峰值,并鉴定其为色素衍生物(4-2)。<色素衍生物(4-44)的合成>除了改变原料以外,以与色素衍生物(4-4)相同的合成方法合成了色素衍生物(4-44)。通过maldi-ms观察到分子量1,676.2的峰值,并鉴定其为色素衍生物(4-44)。[化学式55]<色素衍生物(4-98)的合成>除了改变原料以外,以与色素衍生物(4-25)相同的合成方法合成了色素衍生物(4-98)。通过maldi-ms观察到分子量1,500.6的峰值,并鉴定其为色素衍生物(4-98)。[化学式56]<色素衍生物(4-115)的合成>除了改变原料以外,以与色素衍生物(4-4)相同的合成方法合成了色素衍生物(4-115)。通过maldi-ms观察到分子量1,412.4的峰值,并鉴定其为色素衍生物(4-115)。[化学式57]<色素衍生物(4-119)的合成>除了改变原料以外,以与色素衍生物(4-4)相同的合成方法合成了色素衍生物(4-119)。通过maldi-ms观察到分子量1,412.4的峰值,并鉴定其为色素衍生物(4-119)。[化学式58]<色素衍生物(4-139)的合成>除了改变原料以外,以与色素衍生物(4-4)相同的合成方法合成了色素衍生物(4-139)。通过maldi-ms观察到分子量1,550.3的峰值,并鉴定其为色素衍生物(4-139)。[化学式59]〔实施例1~实施例73及比较例1~比较例5〕<组合物(分散液)的制作>将下述表7中所示的由式(1)表示的10质量份的化合物、下述表7中所示的7.8质量份的树脂、下述表7中所示的150质量份的溶剂及直径0.3mm的230质量份氧化锆珠进行混合,使用油漆搅拌器进行5小时的分散处理,通过过滤而分离微珠来制造了组合物。另外,实施例54中,使用了10质量份的化合物i-162、10量份的化合物i-262及下述表5中所示的15质量份的树脂。实施例55中,使用了10质量份的化合物i-162、10质量份的化合物i-86及下述表5中所示的15质量份的树脂。实施例56中,使用了10质量份的化合物i-228、10质量份的化合物i-86及下述表5中所示的15质量份的树脂。实施例57中,使用了7质量份的化合物i-86、7质量份的化合物i-126、7质量份的化合物i-262及下述表7中所示的15质量份的树脂。实施例58中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物3-1。实施例59中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物3-4。实施例60中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物4-25。实施例61及实施例72中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物4-4。实施例62中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物4-44。实施例63中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物4-98。实施例64中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物4-115。实施例65中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物4-119。实施例66及实施例67中,在进行分散处理之前进而添加了下述中所示的3质量份的色素衍生物4-139。实施例73中,使用了5质量份的化合物i-262、5质量份的化合物a、2.5质量份的化合物b及下述表7中所示的10质量份的树脂。[化学式60][化学式61][化学式62][化学式63][表7]上述表7中所示的原料如下。化合物(1-1)~化合物(1-385)为与上述化合物(1-1)~化合物(1-385)相同的化合物。并且,化合物(1-21)~化合物(1-321)为在5℃的丙二醇单甲醚乙酸酯中的溶解度为0g/l~0.1g/l且在700nm~1,200nm的范围具有极大吸收波长的化合物。[化学式64]另外,上述sp值表示式(1)中的r1及r2或与其对应的位置的基团的sp值。(树脂)d-1:下述结构的树脂(酸值=105mgkoh/g、重量平均分子量=8,000)。附注于主链的数值表示重复单元的摩尔比,附注于侧链的数值表示重复单元的数量。d-2:下述结构的树脂(酸值=32.3mgkoh/g、胺值=45.0mgkoh/g、重量平均分子量=22,900)。附注于主链的数值表示重复单元的摩尔比,附注于侧链的数值表示重复单元的数量。d-3:下述结构的树脂(酸值=100mgkoh/g、重量平均分子量=37,600)。附注于主链的数值表示重复单元的摩尔比,附注于侧链的数值表示重复单元的数量。d-4:下述结构的树脂(酸值=36.0mgkoh/g、胺值=47.0mgkoh/g、重量平均分子量=20,900)。附注于主链的数值表示重复单元的摩尔比,附注于侧链的数值表示重复单元的数量。[化学式65][化学式66](溶剂)c-1:丙二醇单甲醚乙酸酯(pgmea)c-2:丙二醇单甲醚(pgme)〔实施例101~实施例171及比较例101~比较例105〕<组合物a>混合下述成分而制备了组合物。·在上述中所得到的组合物(分散液):55质量份·碱可溶性树脂(acrybaseff-426、nipponshokubaico.,ltd.制):7.0质量份·聚合性化合物(aronixm-305、季戊四醇三丙烯酸酯与季戊四醇四丙烯酸酯的混合物、含有55质量%~63质量%的季戊四醇三丙烯酸酯,toagoseico.,ltd.制):4.5质量份·光聚合引发剂(irgacureoxe02、basf公司制):0.8质量份·阻聚剂(对甲氧基苯酚):0.001质量份·表面活性剂w1(下述混合物(mw=14,000)。表示下述构成单元的比例的%(62%及38%)的单位为摩尔%。):0.03质量份·紫外线吸收剂(uv-503、daitochemicalco.,ltd.制):1.3质量份·溶剂(丙二醇单甲醚乙酸酯):31质量份[化学式67]〔实施例172〕<组合物b>混合下述成分而制备了组合物。·在实施例72中所得到的组合物(分散液):55质量份·碱可溶性树脂(下述结构的树脂。(附注于主链的数值为重复单元的摩尔比。mw=40,000、酸值=100mgkoh/g):4.14质量份·聚合性化合物1(nk-estera-tmmt、季戊四醇四丙烯酸酯、shin-nakamurachemicalco.,ltd.制):4.18质量份·聚合性化合物2(aronixm-510、toagoseico.,ltd.制):4.18质量份·光聚合引发剂(irgacureoxe01、basf公司制):4.31质量份·阻聚剂(对甲氧基苯酚):0.02质量份·表面活性剂w1:0.12质量份·紫外线吸收剂uv1(下述结构的二酮化合物):8.0质量份·抗氧化剂(adkstabao-80、adekacorporation制):8.0质量份·溶剂(丙二醇单甲醚乙酸酯):31质量份[化学式68][化学式69]〔实施例173〕实施例172中,替代在实施例72中所得到的组合物(分散液)而使用在实施例73中所得到的组合物(分散液)而制作了组合物。<固化膜的制作>利用旋涂法将组合物涂布在玻璃基板上,然后使用加热板在100℃下加热2分钟而得到了涂布层。使用i射线步进机或对准仪,以500mj/cm2的曝光量对所得到的涂布层进行了曝光。接着,进而使用加热板在220℃下对曝光后的涂布层进行5分钟的固化处理,从而得到了厚度0.7μm的固化膜。<分散性的评价>(粘度)使用e型粘度计,在转速1,000rpm的条件下对25℃下的组合物(分散液)的粘度进行测定,并根据下述基准进行了评价。粘度越小,分散性越优异。a:1mpa·s以上且10mpa·s以下b:大于10mpa·s且50mpa·s以下c:大于50mpa·s且200mpa·s以下d:大于200mpa·s(粒径)使用nikkisoco.,ltd.制microtracupa150,以体积基准对组合物(分散液)中的由式(1)表示的化合物的平均粒径进行了测定。平均粒径越小,分散性越优异。a:5nm以上且50nm以下b:大于50nm且为100nm以下c:大于100nm且为500nm以下d:大于500nm<红外线遮蔽性的评价>使用分光光度计u-4100(hitachihigh-technologiescorporation制)对各固化膜的透射率进行了测定。依据以下基准评价了红外线遮蔽性。a:波长700nm~1,000nm中的极大吸收波长λmax±10nm的范围的平均透射率为10%以下b:波长700nm~1,000nm中的极大吸收波长λmax±10nm的范围的平均透射率大于10%且为25%以下c:波长700nm~1,000nm中的极大吸收波长λmax±10nm的范围的平均透射率大于25%<光刻性的评价>利用旋转涂布法将上述中得到的组合物涂布在附底涂层的硅晶片上,以使涂布后的膜厚成为0.7μm,然后使用加热板,在100℃下加热2分钟而得到了组合物层。接着,使用i射线步进曝光装置fpa-3000i5+(canoninc.制)经由具有1.1μm方形拜耳图案的掩模对所得到的组合物层进行了曝光(曝光量选择线宽成为1.1μm的最佳曝光量)。接着,使用四甲基氢氧化铵(tmah)0.3质量%水溶液在23℃下对曝光后的组合物层进行60秒钟的旋覆浸没式显影。然后,通过旋转喷淋进行冲洗,进而用纯水进行水洗而得到了图案。通过图像二值化处理,并依照下述基准对残留在所得到的图案的基底上的残渣的量进行了评价。a:残渣量小于基底总面积的1.5%b:残渣量大于基底总面积的1.5%且为5%以下c:残渣量大于基底总面积的5%总结评价结果而示于表8。[表8](实施例174及实施例175)实施例105中,即使对实施例5的组合物进而添加2质量份的以下化合物c,也得到了与实施例105相同的效果。(实施例174)并且,实施例125中,即使对实施例25的组合物进而添加2质量份的以下化合物d,也得到了与实施例125相同的效果。(实施例175)[化学式70](实施例176)实施例173中,即使将光聚合引发剂替代为下述化合物也可得到相同的效果。[化学式71]〔实施例201〕(红外线透射滤光片形成用组合物1的制备)混合并搅拌下述组成之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihonpallltd.制)进行过滤而制备了红外线透射滤光片形成用组合物1。(组成201)颜料分散液10-1:46.5质量份颜料分散液10-2:37.1质量份聚合性化合物201:1.8质量份树脂201:1.1质量份光聚合引发剂201:0.9质量份表面活性剂101:4.2质量份阻聚剂(对甲氧基苯酚):0.001质量份硅烷偶联剂201:0.6质量份pgmea:7.8质量份(颜料分散液10-1)使用直径为0.3mm的氧化锆珠,且通过珠磨机(带有减压机构的高压分散机nano-3000-10(nihonb.e.e.co.,ltd.制))来将下述组成的混合液混合并分散3小时,从而制备了颜料分散液10-1。·由红色颜料(c.i.颜料红254)及黄色颜料(c.i.颜料黄139)构成的混合颜料:11.8质量份·树脂(disperbyk-111,bykchemie公司制):9.1质量份·pgmea:79.1质量份(颜料分散液10-2)使用直径为0.3mm的氧化锆珠,且通过珠磨机(带有减压机构的高压分散机nano-3000-10(nihonb.e.e.co.,ltd.制))将下述组成的混合液混合并分散3小时,从而制备了颜料分散液10-2。·由蓝色颜料(c.i.颜料蓝15:6)及紫色颜料(c.i.颜料紫23)构成的混合颜料:12.6质量份·树脂(disperbyk-111,bykchemie公司制):2.0质量份·树脂202:3.3质量份·环己酮:31.2质量份·pgmea:50.9质量份聚合性化合物201:下述结构(左侧化合物与右侧化合物的摩尔比为7:3的混合物)[化学式72]树脂201:下述结构的树脂(酸值:70mgkoh/g,mw=11,000、各构成单元中的比为摩尔比。)[化学式73]树脂202:下述结构的树脂(mw=14,000)[化学式74]光聚合引发剂201:下述结构的化合物[化学式75]·硅烷偶联剂201:下述结构的化合物[化学式76](图案形成1)利用旋转涂布法将实施例142的组合物涂布在硅晶片上,以使制膜后的膜厚成为1.0μm,然后使用加热板,在100℃下加热2分钟之后,进而通过加热板在200℃下加热了5分钟。接着,通过干式蚀刻法形成了2μm的拜耳图案(红外线截止滤光片)。另外,拜耳图案是指,如美国专利第3,971,065号说明书中所公开那样重复有如下彩色滤光片元件的2×2阵列的图案,所述彩色滤光片元件具有1个红色(red)元件、2个绿色(green)元件及1个蓝色(blue)元件,但本实施例中,形成了重复有如下彩色滤光片元件的2×2阵列的拜耳图案,所述滤光片元件具有1个红色(red)元件、1个绿色(green)元件、1个蓝色(blue)元件及1个红外线透射滤光片元件。接着,利用旋转涂布法将red组合物涂布在红外线截止滤光片的拜耳图案上,以使制膜后的膜厚成为1.0μm,然后使用加热板在100℃下加热了2分钟。接着,使用i射线步进曝光装置fpa-3000i5+(canoninc.制),以1,000mj/cm2隔着掩模对2μm的点图案进行了曝光。接着,使用0.3质量%的氢氧化四甲铵(tmah)水溶液,在23℃下进行60秒钟的旋覆浸没式显影。然后,通过旋转喷淋进行冲洗,进而用纯水进行了水洗,然后,使用加热板,在200℃下加热5分钟,由此在红外线截止滤光片的拜耳图案上,对red组合物进行了图案化。同样地,依次对green组合物、blue组合物进行图案化,从而形成了红、绿及蓝色着色图案。接着,利用旋转涂布法将组成201的红外线透射滤光片形成用组合物1涂布在上述形成有图案的膜上,以使制膜后的膜厚成为2.0μm,然后,使用加热板,在100℃下加热了2分钟。接着,使用i射线步进曝光装置fpa-3000i5+(canoninc.制),以1000mj/cm2隔着掩模对2μm拜耳图案进行了曝光。接着,使用0.3质量%的氢氧化四甲铵(tmah)水溶液,在23℃下进行60秒钟的旋覆浸没式显影。然后,通过旋转喷淋进行冲洗,进而用纯水进行了水洗之后,使用加热板,在200℃下加热5分钟,由此在红外线截止滤光片的拜耳图案中未形成有上述着色图案的空白部分通过红外线透射滤光片进行了图案化。根据这些公知的方法将其组装在固体摄像元件中。对所得到的固体摄像元件,在低照度的环境下(0.001勒克斯(lux))从红外发光二极管(红外led)光源照射光波长850nm的光,并进行图像的读取,其结果,清楚地观察到作为被摄体的图像。〔实施例202〕组成201中,即使将光聚合引发剂201替代为下述化合物也可得到相同的效果。[化学式77]〔实施例203〕(图案形成2)替代组成201的红外线透射滤光片形成用组合物1使用了以下组成203的红外线透射滤光片形成用组合物2,除此以外,以与实施例201相同的方式制作了固体摄像元件。以与实施例201相同的方法进行了图像的读取,其结果,清楚地观察到作为被摄体的图像。(红外线透射滤光片形成用组合物2的制备)混合并搅拌下述组成之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihonpallltd.制)进行过滤而制备了红外线透射滤光片形成用组合物2。(组成203)着色剂分散物1:1000质量份二季戊四醇六丙烯酸酯:50质量份树脂e-1的pgmea溶液(固体成分浓度35质量%):17质量份1-[4-(苯硫基)]-1,2-辛二酮-2-(o-苯甲酰基肟):10质量份pgmea:174质量份<树脂e-1的合成例>在反应容器中,将14份的甲基丙烯酸苄酯、12份的n-苯基马来酰亚胺、15份的甲基丙烯酸2-羟乙酯、10份的苯乙烯及20份的甲基丙烯酸溶解于200份的丙二醇单甲醚乙酸酯中,进而投入了3份的2,2'-偶氮二异丁腈及5份的α-甲基苯乙烯二聚体。对反应容器内进行氮气吹扫之后,进行搅拌并一边进行氮气鼓泡一边在80℃下加热5小时而得到了包含碱可溶性聚合物(树脂e-1)的溶液(固体成分浓度35质量%)。该聚合物的聚苯乙烯换算的重量平均分子量为9,700,数均分子量为5,700,mw/mn为1.70。<着色剂分散液1的制备>将60份的c.i.颜料黑32、20份的c.i.颜料蓝15:6、20份的c.i.颜料黄139、80份的lubrizoljapanltd.制solsperse76500(固体成分浓度50质量%)、120份的包含树脂e-1的溶液(固体成分浓度35质量%)、700份的丙二醇单甲醚乙酸酯进行混合,并使用油漆搅拌器分散8小时而得到了着色剂分散液1。〔实施例204〕(红外线透射滤光片形成用组合物3的制备)混合并搅拌下述组成之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihonpallltd.制)进行过滤而制备了红外线透射滤光片形成用固化性组合物3。·实施例73中所得到的组合物(分散液):30.66质量份·分散液b:53.70质量份·碱可溶性树脂(下述结构的树脂。(附注于主链的数值为重复单元的摩尔比。mw=40,000、酸值=100mgkoh/g):1.39质量份·聚合性化合物1(nk-estera-tmmt、季戊四醇四丙烯酸酯、shin-nakamurachemicalco.,ltd.制):2.94质量份·环氧树脂(epiclonn-685、diccorporation制):0.59质量份·光聚合引发剂(irgacureoxe03、basf公司制):1.20质量份·阻聚剂(对甲氧基苯酚):0.01质量份·表面活性剂w1:0.05质量份·溶剂(丙二醇单甲醚乙酸酯):5.17质量份[化学式78]<分散液b的制备>将15.44质量份的pr254、15.44质量份的pb15:6、7.68质量份的py139、16.8质量份的在下述表5中所示的树脂(d-4)、160质量份的pgmea、230质量份的直径0.3mm的氧化锆珠进行混合,并使用油漆搅拌器进行5小时的分散处理,通过过滤而分离微珠而制造了分散液b。<red组合物的制备>通过珠磨机(直径为0.3mm的氧化锆珠),将由9.6质量份的c.i.颜料红254、4.3质量份的c.i.颜料黄139、6.8质量份的分散剂(disperbyk-161、bykchemie公司制)、79.3质量份的pgmea组成的混合液混合并分散3小时,从而制备了颜料分散液。然后,进一步使用带有减压机构的高压分散机nano-3000-10(nihonb.e.e.co.,ltd.制)在2,000kg/cm3的压力下以流量500g/min进行了分散处理。将该分散处理重复进行10次而得到了red颜料分散液。混合并搅拌下述组成之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihonpallltd.制)进行过滤而制备了red组合物。red颜料分散液:51.7质量份树脂102(40%pgmea溶液):0.6质量份聚合性化合物102:0.6质量份光聚合引发剂(irgacureoxe01、basf公司制):0.3质量份表面活性剂101:4.2质量份pgmea:42.6质量份聚合性化合物102:下述化合物[化学式79]树脂102:下述结构的树脂(酸值=70mgkoh/g、mw=11,000、附注于主链的树脂表示重复单元的质量比。)[化学式80]<green组合物的制备>将由6.4质量份的c.i.颜料绿36、5.3质量份的c.i.颜料黄150、5.2质量份的分散剂(disperbyk-161、bykchemie公司制)、83.1质量份的pgmea组成的混合液通过珠磨机(直径为0.3mm的氧化锆珠)进行3小时的混合及分散而制备了颜料分散液。然后,进一步使用带有减压机构的高压分散机nano-3000-10(nihonb.e.e.co.,ltd.制)在2,000kg/cm3的压力下以流量500g/min进行了分散处理。将该分散处理重复进行10次而得到了green颜料分散液。混合并搅拌下述组成之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihonpallltd.制)进行过滤而制备了green组合物。green颜料分散液:73.7质量份树脂102(40%pgmea溶液):0.3质量份聚合性化合物(kayaraddpha、nipponkayakuco.,ltd.制):1.2质量份光聚合引发剂(irgacureoxe01、basf公司制):0.6质量份表面活性剂101:4.2质量份紫外线吸收剂(uv-503、daitochemicalco.,ltd.制):0.5质量份pgmea:19.5质量份<blue组合物的制备>将由9.7质量份的c.i.颜料蓝15:6、2.4质量份的c.i.颜料紫23、5.5质量份的分散剂(disperbyk-161、bykchemie公司制)、82.4质量份的pgmea组成的混合液通过珠磨机(直径为0.3mm的氧化锆珠)进行3小时的混合、分散而制备了颜料分散液。然后,进一步使用带有减压机构的高压分散机nano-3000-10(nihonb.e.e.co.,ltd.制)在2,000kg/cm3的压力下以流量500g/min进行了分散处理。将该分散处理重复10次而得到了blue颜料分散液。混合并搅拌下述组成之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihonpallltd.制)进行过滤而制备了blue组合物。blue颜料分散液:44.9质量份树脂102(40%pgmea溶液):2.1质量份聚合性化合物(kayaraddpha、nipponkayakuco.,ltd.制):1.5质量份聚合性化合物102:0.7质量份光聚合引发剂(irgacureoxe01、basf公司制):0.8质量份表面活性剂101:4.2质量份pgmea:45.8质量份<图案形成>利用旋转涂布法将实施例61的固化性组合物涂布在硅晶片上,以使制膜后的膜厚成为1.0μm,然后使用加热板,在100℃下加热了2分钟之后,进而使用加热板在200℃下加热了5分钟。接着,利用干式蚀刻法形成了2μm的拜耳图案(近红外线截止滤光片)。另外,本实施例中,形成了重复有如下彩色滤光片元件的2×2阵列的拜耳图案,所述彩色滤光片元件具有1个红色(red)元件、1个绿色(green)元件、1个蓝色(blue)元件及1个红外线透射滤光片元件。接着,利用旋转涂布法将red组合物涂布在红外线截止滤光片的拜耳图案上,以使制膜后的膜厚成为1.0μm,然后使用加热板在100℃下加热了2分钟。接着,使用i线步进曝光装置fpa-3000i5+(canoninc.制),隔着掩模以1,000mj/cm2曝光2μm的点图案。接着,使用0.3质量%的氢氧化四甲铵(tmah)水溶液,在23℃下进行60秒钟的旋覆浸没式显影。然后,通过旋转喷淋进行冲洗,进而用纯水进行了水洗之后,使用加热板,在200℃下加热5分钟,由此在红外线截止滤光片的拜耳图案上,对red组合物的固化膜进行了图案化。同样地,依次对green组合物、blue组合物进行图案化,从而形成了红、蓝及绿色着色图案。接着,利用旋转涂布法将上述红外线透射滤光片形成用组合物3涂布在形成有上述图案的膜上,以使制膜后的膜厚成为2.0μm之后,使用加热板在100℃下加热了2分钟。接着,使用i射线步进曝光装置fpa-3000i5+(canoninc.制),以1000mj/cm2隔着掩模对2μm方形拜耳图案进行了曝光。接着,使用0.3质量%的氢氧化四甲铵(tmah)水溶液,在23℃下进行60秒钟的旋覆浸没式显影。然后,通过旋转喷淋进行冲洗,进而用纯水进行了水洗之后,使用加热板在200℃下加热5分钟,由此在红外线截止滤光片的拜耳图案中未形成有上述着色图案的空白部分进行了红外线透射滤光片的图案化。根据公知的方法将其组装在固体摄像元件中。对所得到的固体摄像元件,在低照度的环境下(0.001勒克斯(lux))从红外发光二极管(红外led)光源照射光波长940nm的光,并进行图像的读取,其结果,清楚地观察到作为被摄体的图像。于2017年3月2日申请的日本专利申请第2017-039706号的发明其整体将通过参考而编入本说明书中。关于说明书中所记载的所有的文献、专利申请及技术规格,与具体地且各自记载的情况相同程度地,将各文献、专利申请及技术规格通过参考而编入本说明书中。符号说明110-固体摄像元件,111-红外线截止滤光片,112-彩色滤光片,114-红外线透射滤光片,115-微透镜,116-平坦化层。当前第1页12
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