红外检测滤光透镜的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及红外滤光片领域，尤其是一种红外检测滤光透镜。
【背景技术】
[0002]红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)是通过非接触探测红外能量(热量)，并将其转换为电信号，进而在显示器上生成热图像和温度值，并可以对温度值进行计算的一种检测设备。红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)能够将探测到的热量精确量化或测量，使您不仅能够观察热图像，还能够对发热的故障区域进行准确识别和严格分析。
[0003]红外热成像仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键，由于各种生物所发出来的红外能量(热能)是不同的，所以在日常使用中为了观察某种特定生物的热图像，人们往往会在探测器中添加红外滤光片，通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量(热能)，保证红外热成像仪的成像结果。
[0004]但是，目前的红外滤光片，其信噪比低，精度差，不能满足市场发展的需要。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的红外检测滤光透镜。
[0006]为了达到上述目的，本发明所设计的红外检测滤光透镜，包括以Si为原材料的基板、第一镀膜层和以第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间，其特征是所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有300nm厚度的Ge层、187nm厚度的ZnS层、184nm厚度的Ge层、147nm厚度的ZnS层、123nm厚度的Ge层、231nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、170nm厚度的ZnS层、llOnm厚度的Ge层、188nm厚度的ZnS层、109nm厚度的Ge层、219nm厚度的ZnS层、94nm厚度的Ge层、200nm厚度的ZnS层、157nm厚度的Ge层、223nm厚度的ZnS层、127nm厚度的Ge层、269nm厚度的ZnS层、171nm厚度的Ge层、253nm厚度的ZnS层、143nm厚度的Ge层、266nm厚度的ZnS层、141nm厚度的Ge层、236nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、314nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、228nm厚度的ZnS层、156nm厚度的Ge层、403nm厚度的ZnS层、146nm厚度的Ge层、390nm厚度的ZnS层、178nm厚度的Ge层、424nm厚度的ZnS层、193nm厚度的Ge层、291nm厚度的ZnS层、194nm厚度的Ge层、375nm厚度ZnS层、238nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、201nm厚度的Ge层、391nm厚度的ZnS层、206nm厚度的Ge层、401nm厚度的ZnS层、284nm厚度的Ge层、479nm厚度的ZnS层、279nm厚度的Ge层、574nm厚度的ZnS层、269nm厚度的Ge层、507nm厚度的ZnS层、327nm厚度的Ge层、474nm厚度的ZnS层、283nm厚度的Ge层、685nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、544nm厚度的ZnS层、497nm厚度的Ge层、206nm厚度的ZnS层、465nm厚度的Ge层、1155nm厚度的ZnS层，所述的第二镀膜层为llOOnm厚度的C层。所述的基板为直径3cm的单面凸透镜，其凸出面与第一镀膜层接触，且凸出面的凸出半径为4.3cm。
[0007]上述各材料对应的厚度，其允许在公差范围内变化，其变化的范围属于本专利保护的范围，为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
[0008]本发明所得到的一种红外检测滤光透镜，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。另外还将基板设置为单面凸透镜，进一步增加了检测效果，该滤光片5%Cut on = 5500±400nm，7500?13500nm，Tavg2 70%，1500?4000nm，Tavg < 0.1 % ,Τ < 1.0% ,4000?5000nm，Tavg <0.5%。
【附图说明】
[0009]图1是实施例整体结构示意图。
[0010]图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
[0011 ]图中:第一镀膜层1、基板2、第二镀膜层3。
【具体实施方式】
[0012]下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
[0013]实施例1。
[0014]如图1、图2所示，本实施例描述的红外检测滤光透镜，包括以Si为原材料的基板2、第一镀膜层1和以第二镀膜层3，且所述基板2设于第一镀膜层1与第二镀膜层3之间，其特征是所述第一镀膜层1由内向外依次排列包含有300nm厚度的Ge层、187nm厚度的ZnS层、184nm厚度的Ge层、147nm厚度的ZnS层、123nm厚度的Ge层、231nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、170nm厚度的ZnS层、llOnm厚度的Ge层、188nm厚度的ZnS层、109nm厚度的Ge层、219nm厚度的ZnS层、94nm厚度的Ge层、200nm厚度的ZnS层、157nm厚度的Ge层、223nm厚度的ZnS层、127nm厚度的Ge层、269nm厚度的ZnS层、171nm厚度的Ge层、253nm厚度的ZnS层、143nm厚度的Ge层、266nm厚度的ZnS层、141nm厚度的Ge层、236nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、314nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、228nm厚度的ZnS层、156nm厚度的Ge层、403nm厚度的ZnS层、146nm厚度的Ge层、390nm厚度的ZnS层、178nm厚度的Ge层、424nm厚度的ZnS层、193nm厚度的Ge层、291nm厚度的ZnS层、194nm厚度的Ge层、375nm厚度ZnS层、238nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、201nm厚度的Ge层、391nm厚度的ZnS层、206nm厚度的Ge层、401nm厚度的ZnS层、284nm厚度的Ge层、479nm厚度的ZnS层、279nm厚度的Ge层、574nm厚度的ZnS层、269nm厚度的Ge层、507nm厚度的ZnS层、327nm厚度的Ge层、474nm厚度的ZnS层、283nm厚度的Ge层、685nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、544nm厚度的ZnS层、497nm厚度的Ge层、206nm厚度的ZnS层、465nm厚度的Ge层、1155nm厚度的ZnS层，所述的第二镀膜层3为llOOnm厚度的C层。所述的基板2为直径3cm的单面凸透镜，其凸出面与第一镀膜层接触，且凸出面的凸出半径为4.3cm。
【主权项】
1.一种红外检测滤光透镜，包括以Si为原材料的基板(2)、第一镀膜层(1)和以第二镀膜层(3)，且所述基板(2)设于第一镀膜层(1)与第二镀膜层(3)之间，其特征是所述第一镀膜层(1)由内向外依次排列包含有300nm厚度的Ge层、187nm厚度的ZnS层、184nm厚度的Ge层、147nm厚度的ZnS层、123nm厚度的Ge层、231nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、170nm厚度的ZnS层、llOnm厚度的Ge层、188nm厚度的ZnS层、109nm厚度的Ge层、219nm厚度的ZnS层、94nm厚度的Ge层、200nm厚度的ZnS层、157nm厚度的Ge层、223nm厚度的ZnS层、127nm厚度的Ge层、269nm厚度的ZnS层、171nm厚度的Ge层、253nm厚度的ZnS层、143nm厚度的Ge层、266nm厚度的ZnS层、141nm厚度的Ge层、236nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、314nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、228nm厚度的ZnS层、156nm厚度的Ge层、403nm厚度的ZnS层、146nm厚度的Ge层、390nm厚度的ZnS层、178nm厚度的Ge层、424nm厚度的ZnS层、193nm厚度的Ge层、291nm厚度的ZnS层、194nm厚度的Ge层、375nm厚度ZnS层、238nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、201nm厚度的Ge层、391nm厚度的ZnS层、206nm厚度的Ge层、401nm厚度的ZnS层、284nm厚度的Ge层、479nm厚度的ZnS层、279nm厚度的Ge层、574nm厚度的ZnS层、269nm厚度的Ge层、507nm厚度的ZnS层、327nm厚度的Ge层、474nm厚度的ZnS层、283nm厚度的Ge层、685nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、544nm厚度的ZnS层、497nm厚度的Ge层、206nm厚度的ZnS层、465nm厚度的Ge层、1155nm厚度的ZnS层，所述的第二镀膜层(3)为llOOnm厚度的C层，所述的基板为直径3cm的单面凸透镜，其凸出面与第一镀膜层接触，且凸出面的凸出半径为4.3cm。
【专利摘要】本发明公开了一种红外检测滤光透镜，包括以Si为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以C为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明所得到的红外检测滤光透镜，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。该滤光片5％Cut？on＝5500±400nm，7500～13500nm，Tavg≥70％，1500～4000nm，Tavg≤0.1％，T≤1.0％，4000～5000nm，Tavg≤0.5％。
【IPC分类】G02B5/20
【公开号】CN105487155
【申请号】CN201511021171
【发明人】王继平, 吕晶, 胡伟琴
【申请人】杭州麦乐克电子科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月30日