24英寸长度的一英寸柱中加入Amberlite树脂，分别制备25g同时包 含酸性阳离子树脂和碱性阴离子树脂的Amberlite?IRN150离子交换树脂床。Amberlite 材料用lkg去离子水洗涤，然后用320kg甲醇冲洗。
[0079] 如上所述的聚合物溶液/混合物以5g/分钟的流速通过已冲洗的Amberlite?IRN 150柱。所述方法在20摄氏度的环境温度下进行。在不同通过量水平下收集离子交换后的 样品以用于后续硅分析。离子交换后的样品随后进一步用10倍其体积的水沉淀，然后真空 干燥。将被干燥的聚合物样品提交用于硅分析，并且结果如下示出。
[0080]橾作的通讨量
[0081]
[0082]
[0083]实例5 (比较例）
[0084] 重复实例1，不同的是使用Amberlite?IRN150离子交换树脂，聚合物溶液（200g 的聚合物和700g的甲醇）在环境温度下以10g/分钟的速度通过具有0. 1和0. 04μm孔径 的MeissnerChemdyne聚丙稀过滤器以试图除去娃杂质。聚合物溶液中的初始娃含量（预 处理）为294ppb。过滤后，使用0. 1μm过滤器的含量为307ppb，而使用0. 04μm过滤器的 硅含量为289ppb。结果显示硅含量在过滤后样品中没有变化，表明了过滤技术的使用不起 作用。
[0085] 结果展示了本发明方法容易从包含硅的聚合物中除去硅杂质，并且使得经处理的 聚合物可以直接用作光致抗蚀剂材料。
[0086] 当具体反应条件、反应物和设备如上所述用于使本领域技术人员能够实施本发明 时，本领域技术人员能够作出修改和调整，这些修改和调整亦为本发明的明显的延伸。如下 述权利要求所展示的，本发明的这些明显延伸或等同形式旨在本发明的范围之内。
【主权项】
1. 一种用于从包含硅的聚合物中除去硅杂质的方法，所述方法包括以下步骤：（1)将 所述聚合物溶解于第一溶剂中以制成溶液，（2)将非溶剂加入所述溶液，以及（3)使来自步 骤（2)的所述溶液与酸性阳离子交换树脂和碱性阴离子交换树脂的混合物接触足够的一 段时间以基本上从步骤（2)的所述溶液中除去所述硅。2. 根据权利要求1所述的方法，其中所述聚合物已由选自以下的单体或单体的组合来 制备：苯乙烯、苯乙烯-丙烯酸、烯烃、乙酸乙烯酯、酸酐、丙烯酸、丙烯酸酯、降冰片烯、氟代 丙烯酸酯、氟代甲基丙烯酸酯、丙烯腈、马来酸酐、以及它们的混合物。3. 根据权利要求1所述的方法，其中所述第一溶剂选自一类液体，其中溶解于所述第 一溶剂中的所述聚合物占所述第一溶剂的重量的至少25%。4. 根据权利要求1所述的方法，其中所述非溶剂选自一类液体，其中溶解于所述非溶 剂中的所述聚合物占所述非溶剂的重量的最多25%。5. 根据权利要求1所述的方法，其中在所述方法中使用的所述非溶剂占与所述树脂接 触的所述溶液的重量的约〇. OOOl %至约1. 00%。6. 根据权利要求3所述的方法，其中所述第一溶剂选自甲醇、乙酸乙酯、甲基乙基酮、 四氢呋喃、以及它们的混合物。7. 根据权利要求4所述的方法，其中所述非溶剂选自水、和己烷、庚烷、甲醇、甲苯、以 及它们的混合物。8. -种纯化聚合物的方法，所述聚合物衍生自选自以下的酰氧基苯乙烯或烷氧基苯乙 烯，其中R为-C(O)R5或-R5;所述聚合物作为均聚物或共聚物，所述均聚物或共聚物具 有以下单体中的一种或多种： 具有式II的丙烯酸酯单体，并且/或者具有一种或多种烯键式不饱和可共聚单体，其选自苯乙烯、4-甲基苯乙烯、 其中烷基部分SC1-C5直链或支链的苯乙烯醇盐、叔丁基苯乙烯、丙烯酸环己酯、丙烯酸 叔丁基酯、甲基丙烯酸叔丁基酯、马来酸酐、马来酸二烷基酯、富马酸二烷基酯和氯乙烯，其 中： DR1和R 2相同或不同且独立地选自： 氢； 氟、氯、溴； 具有式CnHxFy的烷基和氟代烷基，其中η为1至4的整数，X和y为0至2n+l的整数， 并且X和y之和为2n+l， 苯基和甲苯基； ii) R3选自： 氢； 甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基和叔丁基； iii) R4为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、叔戊基、苄基、环己基、 9-蒽基、2-羟乙基、肉桂基、金刚烷基、甲基或乙基或者 羟基金刚烷基、异冰片基、2-乙氧基乙基、正庚基、正己基、2-羟丙基、2-乙基丁基、 2_甲氧基丙基、2-(2-甲氧基乙氧基）、氧代四氢呋喃、羟基三甲基丙基、氧代氧杂三环壬 基、2-萘基、2-苯乙基、苯基、 以及它们的混合；并且 iv) R5为 C1-C4烷基， 所述方法基本上包括使在其中包含硅杂质的所述聚合物在其聚合后经历包括以下步 骤的方法：（1)将所述聚合物溶解于第一溶剂中以制成溶液，（2)将非溶剂加入所述溶液， 以及（3)使所述溶液与酸性阳离子交换树脂和碱性阴离子交换树脂的混合物接触足够的 一段时间，使得所述硅杂质基本上从步骤（2)的所述溶液中除去。9. 根据权利要求8所述的方法，其中所述第一溶剂选自乙酸乙酯、甲基乙基酮、四氢呋 喃、甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、叔丁醇以及它们的混合物。10. 根据权利要求8所述的方法，其中所述酰氧基苯乙烯为乙酰氧基苯乙烯单体且为 所使用的唯一单体。11. 根据权利要求10所述的方法，其中所述纯化形式的乙酰氧基苯乙烯聚合物在其中 具有基于所述聚合物的重量计小于约75ppb的娃材料。12. 根据权利要求11所述的方法，其中所述第一溶剂为甲醇。13. 根据权利要求8所述的方法，其中在所述聚合后，存在通过加入另外的第一溶剂且 在催化量的催化剂的存在下进行的所述聚合物的酯交换的另外步骤。14. 根据权利要求13所述的方法，其中在所述酯交换步骤后，存在通过使所述混合物 通过离子交换床以便从其中除去所述催化剂来从所述醇溶剂中的酯交换产物的反应混合 物中除去所述催化剂的另外步骤。15. 根据权利要求14所述的方法，其中在所述方法的硅除去步骤之前，所述方法在无 水基上进行。16. 根据权利要求15所述的方法，其中所述聚合物包含200ppb至1000 ppb的娃杂质。17. 根据权利要求16所述的方法，其中在所述硅除去步骤后，存在另外的步骤，其中所 述第一溶剂被除去并被光致抗蚀剂相容溶剂所替代。18. 根据权利要求17所述的方法，其中所述光致抗蚀剂相容溶剂选自乙二醇醚、乙二 醇醚乙酸酯、无羟基或酮基的脂族酯、以及它们的混合物。19. 根据权利要求18所述的方法，其中所述光致抗蚀剂相容溶剂为丙二醇单甲基醚乙 酸酯或乳酸乙酯。20. 根据权利要求1所述的方法，其中由于所述第一溶剂在其中包含足够量的所述非 溶剂，未向所述聚合物溶液中加入所述非溶剂。
【专利摘要】本发明公开了一种用于从聚合物中除去硅杂质的方法，该方法包括以下步骤：(1)将所述聚合物溶解于第一溶剂中以制成溶液，(2)将非溶剂加入所述溶液，以及(3)使包含所述非溶剂的所述溶液与酸性阳离子交换树脂和碱性阴离子交换树脂的混合物接触足够的一段时间以基本上从步骤(2)的溶液中除去所有所述硅。
【IPC分类】C08L25/18, C08F6/12, C08J3/09, C08F6/02
【公开号】CN105358590
【申请号】CN201480037374
【发明人】M·T·希恩, Q·戴
【申请人】E.I.内穆尔杜邦公司
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2014年7月28日
【公告号】WO2015017295A1