专利名称：气雾生成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气雾生成装置，供给气体和液体在容器内生成气雾，通过输送流道输送该生成的气雾，并向目标物体喷雾，特别涉及用于生成冷却和润滑机床加工中心(machining center)、车床等工作机械的工具或被加工物体的气雾。
背景技术：
气雾(气体中含有的液体微粒)在例如医学领域中的吸入器、日常生活领域中的加湿器、洗涤或涂料剂方面的应用等各种技术领域中得到广泛应用。另外，气雾还用于工作机械的工具或被加工物体的冷却和润滑。
例如，在机械加工中，加工之间以及工具和被加工物体之间有较大的摩擦力作用，由于该摩擦力产生大量的热。因此，有必要使用冷却润滑介质(冷却润滑剂)来减小这些部件间的摩擦，并由此这些部件同时被冷却。
目前，这种润滑和冷却一般使用向加工点喷射较多量主要冷却润滑剂的方法。但在这种情况下，一方面，过剩供给的冷却润滑剂在周围飞散，使作业环境恶化，而且由于冷却润滑剂被大量消费，冷却和润滑装置的工作成本非常高，另一方面，由于环境原因，必须以复杂且高成本的方法处理用完的冷却润滑剂。
为了解决上述问题，近年来，所谓的最少量润滑(MQL)加工被实用化，并且开发出生成冷却和润滑工具或被加工物体的气雾的气雾生成装置。
这种气雾生成装置一般具有接受气体和液体(冷却润滑剂)的供给后在容器内生成气雾的喷射器；将上述气雾从上述容器导出的导管；通过与上述导管连通并供给运载气体，使上述气雾向上述导管的导出方向加速的运载气体喷出口。通过与上述导管连接的输送流道将上述气雾从喷嘴或工具的油孔向加工点喷雾。
图12所示为同时记载了上述气雾生成装置的特征曲线和输送流道的阻力曲线的所谓系统曲线图，表示气雾生成装置在适当的运转条件下运转的情况。
在图12中，实线曲线为气雾生成装置的特征曲线A1，表示在以对喷射器的气体供给压力为P1，对运载气体喷出口的运载气体供给压力为P2的情况下，气雾生成装置的吐出风量和容器内压力(吐出压力)之间关系。虚线曲线表示输送流道的风量和压力损失之间的关系，表示流道和喷嘴或工具油孔的阻力合成的阻力曲线R1。
气雾生成装置的运转点是作为特征曲线A1和阻力曲线R1的平衡点的交点(运转点C1)，气雾生成装置的容器内压力为P3，从气雾生成装置吐出的气雾风量为Q1。从喷射器喷射到容器内的气雾风量为假想线(运载气体喷出口的运载气体供给压力为0时的特征曲线)与容器内压力P3的交点的风量Q2。在此，风量差Q1-Q2为由于向运载气体喷出口供给运载气体而产生的气雾的加速风量，该加速风量可提高气雾从喷嘴或工具油孔喷射出的喷射速度，从而可提高气雾在加工点上的附着性，并且提高对碎粉等的排除能力。
但是，在使用现有气雾生成装置的实际加工现场，基于最少量润滑(MQL)加工的理念，每次都要求对应于加工内容，将对喷射器的气体供给压力设定为最适当的压力后进行加工，此时，每次改变喷射器的气体供给压力时，需要与此相对应地、将对运载气体喷出口的运载气体供给压力重新设定，这样不仅使操作者厌烦，而且屡次成为由于错误设定而造成加工不合格的原因。
图13表示在对喷射器的气体供给压力和对运载气体喷出口的运载气体供给压力不适当的状态下，运转气雾生成装置时的例子。该例表示对运载气体喷出口的运载气体供给压力P3相对于对喷射器的气体供给压力P1过高(P3对P1的比例P3/P1过大)，特征曲线A2相对上升的情况。喷射器的气体供给压力P1和输送流道的阻力(阻力曲线R1)与图12的情况相同。此时，气雾生成装置在运转点C2上运转，气雾生成装置的容器内压力为P4，从气雾生成装置吐出的气雾风量为Q3，从喷射器喷射到容器内的气雾风量为Q4。比较参照图12和图13可看出，在这种情况下，从喷射器喷射到容器内的气雾风量Q4变小。这样，喷射器中生成的气雾只是浓度低、不充足的气雾。因此就产生从气雾生成装置喷出的气雾(液体微粒)吐出量(从喷射器喷射到容器内的气雾的风量和浓度的积)非常少，冷却能力和润滑能力极低的问题。
另外，也可适用于使用例如小径钻头等输送流道阻力大的工具等的最少量润滑(MQL)加工，当扩大适用范围后，随着输送流道的阻力变大，无法得到充足的气雾吐出量，因此，现状是在扩大适用范围方面有一定限度。
图14表示输送流道的阻力(阻力曲线R2)过大的情况。对喷射器的气体供给压力P1和对运载气体喷出口的运载气体供给压力P2与图12的情况相同。此时，气雾生成装置在运转点C3上运转，气雾生成装置的容器内压力为P5，从气雾生成装置吐出的气雾风量和从喷射器喷射到容器内的气雾风量均为Q5。比较参照图12和图14可看出，在这种情况下，从喷射器喷射到容器内的气雾风量Q5也变小。这样，喷射器中生成的气雾也只是浓度低、不充足的气雾。因此就产生气雾生成装置的气雾(液体微粒)吐出量(从喷射器喷射到容器内的气雾的风量和浓度的积)非常少，冷却能力和润滑能力极低的问题。
例如可以增大喷嘴的吐出口径或工具的油孔孔径，来减小输送流道的阻力，在这样的情况下就不存在问题，但对于小径钻头等外径小的工具，因为有尺寸的制约，因而难以增大油孔孔径。因此，对于小径钻头等，很多情况下无法适用最少量润滑(MQL)加工。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的目的是提供一种气雾生成装置，该气雾生成装置不需要随着对喷射器的气体供给压力的改变，而对运载气体喷出口的运载气体供给压力进行复杂调节，并可进行小径钻头等的最少量润滑(MQL)加工。
为了实现上述目的，本发明的气雾生成装置包括接受来自气体供给源的气体和容器内的液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将所述容器内的所述气雾从所述容器导出的导管，以及与所述导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，还包括第1压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述喷射器供给气体的气体供给通路内；以及第2压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路内，将二次侧压力控制成将所述第1压力控制装置的二次侧压力以一定比例减压的压力。
通过如上所述构成气雾生成装置，随着对喷射器的气体供给压力的改变，对运载气体喷出口的运载气体供给压力被自动调节为适当压力(以一定比例将气体供给压力减压后的压力)，这样就不需要对运载气体喷出口的运载气体供给压力进行复杂调节，从而可以提高使用气雾生成装置的方便性。另外，这样可以防止由于对运载气体喷出口的运载气体供给压力的错误设定而造成的加工不合格。
对运载气体喷出口的运载气体供给压力(第2压力控制装置的二次侧压力)相对于喷射器的气体供给压力(第1压力控制装置的二次侧压力)的比率，根据气雾生成装置的特性多少有所不同，最好设定为0.5～0.7。
本发明的另一种气雾生成装置包括接受来自气体供给源的气体和容器内的液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将所述容器内的所述气雾从所述容器导出的导管，以及与所述导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，它还包括第1压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述喷射器供给气体的气体供给通路内；以及第2压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路内，将二次侧压力控制成将所述第1压力控制装置的二次侧压力以一定压差减压的压力。
通过如上所述构成气雾生成装置，随着对喷射器的气体供给压力的改变，对运载气体喷出口的运载气体供给压力被自动调节为适当压力(从气体供给压力减压一定压差后的压力)，这样就不需要对运载气体喷出口的运载气体供给压力进行复杂调节，从而可以提高使用气雾生成装置的方便性。另外，这样可以防止由于对运载气体喷出口的运载气体供给压力的错误设定而造成的加工不合格。
对喷射器的气体供给压力(第1压力控制装置的二次侧压力)与对运载气体喷出口的运载气体供给压力(第2压力控制装置的二次侧压力)的差压，根据气雾生成装置的特性多少有所不同，最好设定为0.15～0.25MPa。
所述第1压力控制装置也可以由减压阀构成。这样，通过用减压阀构成第1压力控制装置，可以实现结构的简单化和装置的低廉化。
所述第1压力控制装置也可以包括分别设定为不同压力且并列配置的多个减压阀、以及分别设置在该减压阀下流侧的多个电磁阀。这样，通过选择操作电磁阀，可以通过远距离操作阶段性地控制压力。根据这样的气雾生成装置，可以随着工作机械的自动工具更换(ATC)等，自动进行对喷射器的气体供给压力的设定变更，从而可以实现连续加工、提高生产性能。
所述第1压力控制装置也可以是比例压力控制阀。这样，通过由比例压力控制阀构成第1压力控制装置，可以对喷射器的气体供给压力连续(任意值)进行高精度控制，因而可以随着工作机械的自动工具更换(ATC)等，自动且高精度地进行对喷射器的气体供给压力的设定变更，从而可以实现连续加工、提高生产性能，同时实现节能化。
所述运载气体供给通路在所述第1压力控制装置的二次侧从所述气体供给通路分支形成，所述第2压力控制装置由定比减压阀或定差减压阀构成。这样可以实现结构的简单化和装置的低廉化。
所述第2压力控制装置也可以由比例压力控制阀构成，根据检测所述第1压力控制装置的二次侧压力的压力传感器信号进行控制。这样可以高精度地控制运载气体喷出口的运载气体供给压力，从而实现节能化。
本发明的另一种气雾生成装置，包括接受来自气体供给源的气体和容器内的液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、以及将所述容器内的所述气雾从所述容器导出的导管，其特征在于，包括使所述容器内的压力减压的内压减压装置。
图2与图14所示情况相同，表示同时记载了在输送流道阻力过大的情况下，通过上述内压减压装置使容器内的压力减压时的、气雾生成装置的特征曲线和输送流道的阻力曲线的系统曲线图。对喷射器的气体供给压力P1和对运载气体喷出口的运载气体供给压力P2以及输送流道的阻力(阻力曲线R2)，与图14所示情况相同。另外，图中的阻力曲线R3是将所述内压减压装置的阻力和输送流道的阻力(阻力曲线R2)合成的合成阻力曲线。此时，气雾生成装置在运转点C4上运转，气雾生成装置的容器内压力为P6，从喷射器喷射到容器内的气雾风量为Q6。从气雾生成装置经由输送流道后从例如小径钻头等工具的油孔喷射的气雾风量，为气雾生成装置的容器内压力P6和阻力曲线R2的交点的风量Q7。在此，风量差Q6-Q7是从所述内压减压装置向容器外放出的气体的风量。比较参照图2和图14可看出，在图2的情况下，从气雾生成装置经由输送流道后从小径钻头等工具的油孔喷射的气雾风量Q7比图14的情况减小若干，但从喷射器喷射到容器内的气雾风量Q6则变大，从而在喷射器中生成高浓度的有效气雾。结果，从气雾生成装置经由输送流道后从例如小径钻头等工具的油孔喷射的气雾(液体微粒)吐出量(从气雾生成装置经由输送流道后从小径钻头等工具的油孔喷射的气雾风量和浓度的积)增加。这样就可以得到小径钻头等的加工所需的充足的气雾吐出量。
根据这样的气雾生成装置，在输送流道阻力过大的情况下，通过内压减压装置使容器内的压力减压，也可以生成高浓度的有效气雾，因而可很好地进行小径钻头等的最少量润滑(MQL)加工。
所述内压减压装置例如包括通过节流机构将所述空间的所述气雾引导到过滤器的减压流道、和放出由所述过滤器从所述气雾分离出的气体的排气口，以及使由所述过滤器从所述气雾分离出的液体返回所述容器内的回流流道。这样，通过减压流道将被引导到过滤器的气雾分离成气体和液体，仅放出气体而使液体返回容器内，从而可以避免气雾损失，同时防止作业环境受污染。
所述排气口上也可以连接对由所述过滤器从所述气雾分离出的气体的放出进行控制的开关阀。这样，在输送流道阻力过大时打开开关阀，其它情况下关闭开关阀，来使内压减压装置发挥选择性作用，从而可以对应输送流道的阻力使气雾生成装置在适当的运转点上运转。
所述开关阀也可以是先导切换阀，该先导切换阀以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当容器内的压力上升到相对于对所述喷射器的气体供给压力一定比例压力时打开。这样，在输送流道阻力过大、容器内压上升到相对于对喷射器的气体供给压力一定比例压力时，先导切换阀机械打开，使内压减压装置发挥作用，其它情况下因为容器内压没有上升到相对于对喷射器的气体供给压力一定比例的压力，因此先导切换阀不打开，内压减压装置不发挥作用，这样，可以通过简单的结构，低成本地使气雾生成装置对应输送流道的阻力自动在适当的运转点上运转。容器内压相对于对喷射器的气体供给压力的比率根据气雾生成装置的特性多少有所不同，最好设定为0.8～0.9。
所述开关阀也可以是先导切换阀，该先导切换阀以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当容器内的压力上升到相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差时打开。这样，在输送流道阻力过大、容器内压上升到相对于对喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力时，先导切换阀机械打开，使内压减压装置发挥作用，其它情况下因为容器内压没有上升到相对于对喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力，因此先导切换阀不打开，内压减压装置不发挥作用，这样，可以通过简单的结构，低成本地使气雾生成装置对应输送流道的阻力自动在适当的运转点上运转。喷射器的气体供给压力和容器内压的压差根据气雾生成装置的特性多少有所不同，最好设定为0.05～0.1MPa。
所述减压流道上也可以设置定比泄压阀，该定比泄压阀在相对于对所述喷射器的气体供给压力规定比例的压力下动作。这样，在输送流道阻力过大、容器内压上升到相对于对喷射器的气体供给压力一定比例压力时，定比泄压阀机械打开，使内压减压装置发挥作用，其它情况下因为容器内压没有上升到相对于对喷射器的气体供给压力一定比例的压力，因此定比泄压阀不打开，内压减压装置不发挥作用，这样，可以通过简单的结构，低成本地使气雾生成装置对应输送流道的阻力自动在适当的运转点上运转。
所述减压流道上也可以设置定差泄压阀，该定差泄压阀在相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力下动作。这样，在输送流道阻力过大、容器内压上升到相对于对喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力时，定差泄压阀机械打开，使内压减压装置发挥作用，其它情况下因为容器内压没有上升到相对于对喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力，因此定差泄压阀不打开，内压减压装置不发挥作用，这样，可以通过简单的结构，低成本地使气雾生成装置对应输送流道的阻力自动在适当的运转点上运转。
所述内压减压装置也可以具有电磁阀，该电磁阀设置在所述排气口或所述减压流道上，根据检测对所述喷射器的气体供给压力的压力传感器和检测所述容器内压力的压力传感器的信号，被控制成使所述容器内的压力成为相对于对所述喷射器的气体供给压力一定比例的压力。这样，在输送流道阻力过大、容器内压上升到相对于对喷射器的气体供给压力一定比例的压力时，电磁阀打开，内压减压装置发挥作用；当容器内压下降时电磁阀关闭，从而控制容器内压成为相对于对喷射器的气体供给压力一定比例的压力，因此可以对应输送流道的阻力，自动且高精度地使气雾生成装置在适当的运转点上运转。
所述内压减压装置也可以具有电磁阀，该电磁阀设置在所述排气口或所述减压流道上，根据检测对所述喷射器的气体供给压力的压力传感器和检测所述容器内压力的压力传感器的信号，控制成使所述容器内的压力成为相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力。这样，在输送流道阻力过大、容器内压上升到相对于对喷射器的气体供给压力一定比例的压力时，电磁阀打开，内压减压装置发挥作用；当容器内压下降时电磁阀关闭，从而控制容器内压相对于对喷射器的气体供给压力具有一定压差，因此可以对应输送流道的阻力，使气雾生成装置自动且高精度地在适当的运转点上运转。
所述内压减压装置也可以具有电磁阀，该电磁阀设置在所述排气口或所述减压流道上，根据来自检测对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内压力之间压差的压差开关的信号，进行控制，使所述容器内的压力成为相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力。
所述开关阀也可以是通过先导切换阀动作的气控阀，所述先导切换阀，以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当所述容器内的压力上升到相对于对所述喷射器的气体供给压力的规定比例压力时打开。
所述开关阀也可以是通过先导切换阀动作的气控阀，所述先导切换阀，以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当所述容器内的压力上升到相对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差时打开。
发明效果根据本发明，随着对喷射器的气体供给压力的改变，运载气体喷出口的运载气体供给压力自动调节为适当压力，这样就不需要对运载气体喷出口的运载气体供给压力进行复杂调节，从而可以提高使用气雾生成装置的方便性。另外，这样可以防止由于对运载气体喷出口的运载气体供给压力的错误设定而造成的加工不合格。
另外，通过具备可将容器的内压控制为适当压力的内压减压装置，可以对应例如流道阻力过大的小径钻头等外径小的带油孔工具，扩大对小径钻头等的最少量润滑(MQL)加工适用范围。
图1所示为本发明第1实施例的气雾生成装置的概略结构。
图2所示为同时记载了利用图1所示气雾生成装置的内压减压装置使容器内的压力减压时的特征曲线和输送流道的阻力曲线的系统曲线图。
图3所示为本发明第2实施例的气雾生成装置的概略结构。
图4所示为本发明第3实施例的气雾生成装置的概略结构。
图5所示为本发明第4实施例的气雾生成装置的概略结构。
图6所示为本发明第5实施例的气雾生成装置的概略结构。
图7所示为本发明第6实施例的气雾生成装置的概略结构。
图8所示为本发明第7实施例的气雾生成装置的概略结构。
图9所示为本发明第8实施例的气雾生成装置的概略结构。
图10所示为本发明第9实施例的气雾生成装置的概略结构。
图11所示为本发明第10实施例的气雾生成装置的概略结构。
图12所示为同时记载了气雾生成装置在适当条件下运转时的、气雾生成装置的特征曲线和输送流道的阻力曲线的系统曲线图。
图13所示为同时记载了在对喷射器的气体供给压力和运载气体喷出口的运载气体供给压力不适当的状态下使气雾生成装置运转时的、气雾生成装置的特征曲线和输送流道的阻力曲线的系统曲线图。
图14所示为同时记载了在输送流道阻力过大的状态下使气雾生成装置运转时的、气雾生成装置的特征曲线和输送流道的阻力曲线的系统曲线图。
具体实施例方式
以下参照
本发明的实施例。
图1所示为本发明第1实施例的气雾生成装置的概略结构。该气雾生成装置包括在其下部容纳例如供给油等液体冷却润滑剂的液体供给源(油源)2的容器1。该容器1构成由盖3覆盖的压力容器。在形成于油源2上方的容器1的空间4内，喷射器11固定设置在盖3上并接受加压空气(气体)和油(液体)的供给，从喷射器11喷射出的气雾滞留在空间4内。喷射器11的加压空气(气体)供给是通过气体供给通路5进行。加压空气在通过设置在喷射器11内的节流部12时，截面面积增大从而产生吸引力，由于这种吸引力，油通过液体供给通路7从油源2被吸引到喷射器11。
喷射器11在其出口13将加压空气和油混合成气雾进行喷射。在喷射器11出口13的下方配置有圆锥形偏转体14，该偏转体14表面形成具有多个连续阶差的阶差结构。该偏转体14的圆锥形顶部被设计为与喷射器11的出口13对置，介由杆15和安装板16，由吊杆17从盖3上悬吊保持。盖3上设置有用于将空间4内的气雾从容器1导出的导管9和与导管9连通的运载气体喷出口8。对运载气体喷出口8的高压气体(运载气体)供给通过运载气体供给通路6进行，从运载气体喷出口8喷出的加压空气使空间4的气雾向导管9的导出方向加速。导管9和运载气体喷出口8可以设有多个。
从油源2延伸到喷射器11的液体供给通路7上设有流量计10，该流量计10具有流量指示部10a和防止逆流机构10b。另外，喷射器11上还设有用于调节液体供给通路7所供给的油流量的可调节流阀18。流量计10如上所述具有防止逆流机构10b，可以防止气雾生成装置停止时液体供给通路7中的油流回油源2，从而可以使液体供给通路7中始终充满油。而且，喷射器11上设有可调节流阀18，从而在气雾生成装置开始运转时，可以在启动后瞬间产生气雾。对喷射器11供油的液体供给装置也可以用于控制流量的定量泵代替上述流量计10和可调节流阀18。
对喷射器11的气体(加压空气)供给是从气体供给源(加压空气供给源)20开始，通过内部设置有过滤器21、减压阀22、压力计23、双口电磁阀24以及单向阀25的气体供给通路5进行。双口电磁阀24用于气雾生成装置的运转和停止操作，根据需要也可以是双口手动阀。对运载气体喷出口8的运载气体(加压空气)供给是在双口电磁阀24和单向阀25之间从气体供给通路5进行分支，并通过在内部设置有定比减压阀28和单向阀29的运载气体供给通路6来进行。
在此，上述减压阀22起到控制从气体供给源20向喷射器11供给的气体(加压空气)的二次侧压力的第1压力控制装置的作用，而上述定比减压阀28起到控制从气体供给源20向运载气体喷出口8供给的运载气体(加压空气)的二次侧压力的第2压力控制装置的作用。而且，该定比减压阀(第2压力控制装置)28控制减压阀(第1压力控制装置)22的二次侧压力，使二次侧压力成为减压到一定比例如0.5～0.7的压力。
这样，随着对喷射器11的气体供给压力的改变，对运载气体喷出口8的运载气体供给压力被自动调节为适当压力(将气体供给压力以一定比例减压后的压力)，因此不需要对运载气体喷出口8的运载气体供给压力进行复杂调节，从而可以提高使用气雾生成装置的方便性。另外，这样可以防止由于对运载气体喷出口8的运载气体供给压力的错误设定而造成的加工不合格。
盖3的上侧设置有使容器1内的压力减压的内压减压装置30、压力计41和供油用截止阀42。内压减压装置30包括过滤器31；通过可调节流阀32将空间4内的气雾引导到过滤器31的减压流道33；放出由过滤器31从气雾分离出的空气的排气口31a；临时储存由过滤器31从气雾分离出的油的储存部3 1b；回流流道35，具有在气雾生成装置停止时使储存部31b内的油返回容器1内的单向阀34。过滤器31的排气口31a上连接有双口电磁阀36和消音器37。减压流道33的可调节流阀32也可以是固定节流孔。另外，过滤器31的排气口31a上连接的双口电磁阀36根据用途也可以是双口手动阀。
这样，在具有使容器1内的压力减压的内压减压装置30，并且输送流道的阻力过大的情况下，通过由内压减压装置30使容器1内的压力减压，可以如下所述，使从气雾生成装置通过输送流道由例如小径钻头等工具的油孔喷射的气雾吐出量增加，从而可以得到小径钻头等的加工所需的充足的气雾吐出量，由此，可以很好地进行小径钻头等的最少量润滑(MQL)加工。
在使用上述结构的气雾生成装置，进行工作机械的工具或被加工物的冷却或润滑时，将输送流道50连接在导管9上，通过该输送流道50从喷嘴或工具的油孔喷射气雾。在图1所示例子中，为了易于理解其功能，将输送流道50进一步分支为3个分支流道52a、52b和52c，通过在各分支流道52a、52b和52c上分别设置的双口切换阀51a、51b和51c，可以根据需要选择使用分支流道52a、52b和52c。这在以下各例中相同。
即，分支流道52a的另一端与喷嘴53相连，可以从喷嘴53的前端53a向例如安装在工作机械的主轴55a上的铣刀54a的加工点，喷射气雾58a。分支流道52b的另一端与回转接头56b相连，可以通过工作机械的中空主轴55b，从例如外径为10～50mm左右的钻头54b(油孔的流道阻力在适当范围内)的油孔57b，将气雾58b喷射到加工点。分支流道52c的另一端与回转接头56c相连，可以通过工作机械的中空主轴55c，从例如外径为10mm以下的小径钻头54c(油孔的流道阻力过大)的油孔57c，将气雾58c喷射到加工点。
下面，先说明在上述结构的气雾生成装置中，使用钻头54b进行加工的情况。首先，在气雾生成装置运转之前，打开双口切换阀51b，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51b、分支流道52b、回转接头56b和中空主轴55b，从钻头54b的油孔57b喷射。油孔57b的流道阻力在适当范围内，例如在外径为10～50mm左右的钻头54b中，对喷射器11的加压空气供给压力(气体供给压力)按照经验为0.5～0.7MPa是适当的，例如设定减压阀22，使得减压阀(第1压力控制装置)22的二次侧压力成为0.6MPa，而定比减压阀(第2压力控制装置)28设定为该二次侧压力被减压为一次侧压力的0.5～0.7倍。钻头54b是作为油孔57b的流道阻力在适当范围内的例子，因而双口电磁阀36关闭，不使用内压减压装置30。
在此，在打开双口电磁阀24使气雾生成装置运转时，由减压阀22设定了压力的加压空气(气体)，通过气体供给通路5流入喷射器11，并且，由定比减压阀28相对于减压阀22的二次侧压力减压到规定比例的加压空气(运载气体)，通过运载气体供给通路6被供给到运载气体喷出口8。流入喷射器11的加压空气通过节流部12时，截面面积增大，从而产生吸引力，由于这种吸引力，油通过液体供给通路7从油源2被吸引到喷射器11。喷射器11在其出口13将加压空气和油混合成气雾后进行喷射。所喷射气雾中的粒径微小的气雾浮游在空间4内，粒径较大的则在偏转体14具有阶差结构的表面碰撞后附着其上。从喷射器11喷射的气雾流，在具有阶差结构的偏转体14的表面上高速流动，因而附着在偏转体14表面上的油雾被粉碎雾化，形成粒径微小的气雾。因此生成粒径非常小且粒径分布高密度集中的气雾。所生成的气雾(液体微粒)量的改变，可以通过在看流量计10的指示值的同时调节可调节流阀18，来控制流入喷射器11的油流量来实现，并且使用加工所需的最少量。从导管9吐出的气雾的输送借助容器1的内压进行，从运载气体喷出口8喷出的加压空气，使空间4的气雾向导管9的导出方向加速。
这种情况下的系统特征曲线如图12所示，气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51b、分支流道52b、回转接头56b和中空主轴55b，从钻头54b的油孔57b将气雾58b喷射到加工点上，从而可进行良好加工。
加工结束后，关闭双口电磁阀24，使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51b截断分支流道52b。
接下来说明利用使用喷嘴53的外部喷雾进行加工的情况。在这种情况下，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51a，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51a和分支流道52a，从喷嘴53的前端53a喷射。使用喷嘴53的外部喷雾中，对喷射器11的加压空气(气体)供给压力按照经验为0.2～0.4Mpa左右是适当的，例如变更减压阀22的设定，使减压阀22的二次侧压力成为0.3MPa。喷嘴53的流道阻力选定为适当值，因而这种情况下双口电磁阀36也关闭，不使用内压减压装置30。
在此，在打开双口电磁阀24使气雾生成装置运转时，由减压阀22设定了压力的加压空气通过气体供给通路5，流入喷射器11并生成气雾。此时，定比减压阀28自动相对于减压阀22的二次侧压力减压到规定比例的压力，因而不需要伴随减压阀22的改变设定，而对运载气体喷出口8的加压空气供给压力进行复杂调节，也不会产生由于错误设定造成的加工不合格。这种情况下的系统特征曲线也如图12所示，气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51a和分支流道52a，从喷嘴53的前端53a将气雾58a喷射到铣刀54a的加工点上，从而可进行良好加工。
加工结束后，关闭双口电磁阀24使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51a截断分支流道52a。
最后说明使用小径钻头54c进行加工的情况。在这种情况下，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51c，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c喷射。在如小径钻头54c的外径约小于10mm的钻头中，对喷射器11的加压空气的供给压力，按照经验为0.6～0.9MPa是适当的，例如变更减压阀22的设定，使减压阀22的二次侧压力为0.8MPa。小径钻头54c的油孔57c的流道阻力过大，因而打开双口电磁阀36，使内压减压装置30发挥作用。
在此，在打开双口电磁阀24使气雾生成装置运转时，由减压阀22设定了压力的加压空气，通过气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。从喷射器11喷射到空间4的气雾的一部分，通过内压减压装置30的减压流道33到达可调节流阀32，减压到接近大气压后被引导到过滤器31。气雾在过滤器31被分离成空气和油，分离出的空气通过排气口31a和双口电磁阀36后，从消音器37放出。在过滤器31分离出的油在气雾生成装置运转过程中，被储存在过滤器31的储存部31b中。从喷射器11喷射到空间4内的其余气雾从流道9吐出，经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c喷射。
这种情况下的系统特征曲线如图2所示。图2中的P1是对喷射器11的加压空气(气体)供给压力，P2是对运载气体喷出口8的加压空气(运载气体)供给压力，阻力曲线R2是包括小径钻头54c的油孔57c的阻力的输送流道整体的阻力曲线，阻力曲线R3是将内压减压装置30的流道阻力和阻力曲线R2合成后的合成阻力曲线。此时，气雾生成装置在实线所示的气雾生成装置的特征曲线A3和阻力曲线R3的交点(运转点C4)上运转。P6为容器1的内压，由内压减压装置30的可调节流阀32，将对喷射器11的加压空气供给压力减压到例如0.8～0.9的规定比例的压力，或者调节为具有0.05～0.1Mpa左右的压差。从喷射器11喷射到空间4的气雾风量成为Q6。从流道9经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c喷射的气雾风量，成为容器1的内压P6和阻力曲线R2的交点的风量Q7。在此，风量差Q6-Q7是从内压减压装置30放出的空气的风量。这样，在流道阻力过大的小径钻头54c的情况下，也可以通过内压减压装置30调节为适当内压，从而使从喷射器11喷射到空间4的气雾风量Q6变大，并生成浓度高的有效气雾。结果，从流道9经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c喷射的气雾(液体微粒)吐出量(从流道9经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c喷射的气雾风量和浓度的积)增加。这样可以得到小径钻头等的加工所需的充足的气雾吐出量。
定比减压阀(第2压力控制装置)28的二次侧压力，被减压至相对于减压阀(第1压力控制装置)22的二次侧压力规定比例的压力，但由于容器1的内压被设定为比定比减压阀28的二次侧压力高，因此在紧接启动后的过渡时间之后，单向阀29处于关闭状态，不向运载气体喷出口8供给加压空气。即，启动时急速上升，然后，由于小径钻头54c的油孔57c的直径非常小，因而以少量的气雾风量就可得到充足的气雾喷射速度，从而处于不需要来自运载气体喷出口8的加速风量的状态。
加工结束后，关闭双口电磁阀24使气雾生成装置停止，然后从小径钻头54c的油孔57c或消音器37抽出容器1内的压力，打开内压减压装置30的单向阀34，使过滤器31的储存部31b内的油经由单向阀34和回流流道35流入容器1中，滴下后返回油源2。
本实施例的气雾生成装置例如通常使用钻头54b进行加工，并且常常适合于使用喷嘴53或小径钻头54c进行加工的情况等使用状况。在本实施例中，为了方便说明，说明的是使用各自的工作机械进行钻头54b和小径钻头54c的加工的例子，但在实际加工现场，很多情况下也可以通过更换工具使用一种工作机械进行各种加工。
图3所示为本发明第2实施例的气雾生成装置的概略结构。在图3中，标注了与图1相同标记的部分表示相同或相当的部分。本实施例的气雾生成装置，在从油源2延伸到喷射器11的液体供给通路7上设置有比例流量控制阀19，可以通过远距离操作来控制油的流量。
喷射器11的加压空气(气体)供给是通过从加压空气供给源(气体供给源)延伸且在内部设置有过滤器21、多列(图示为3列)减压流道43a、43b和43c构成的压力控制流道43，以及单向阀25的气体供给通路5进行。该气体供给通路5的压力控制流道43下游侧设有压力计23。压力控制流道43作为对从气体供给源20向喷射器11供给的气体(加压空气)的二次侧压力进行控制的第1压力控制装置，因此，在该各条减压流道43a、43b和43c上，分别设置有减压阀22a、22b、22c和双口电磁阀24a、24b、24c。减压阀22a、22b、22c对应不同的加工，分别预先设定为适当压力，通过选择操作双口电磁阀24a、24b、24c，可以通过远距离操作阶段性地控制供给压力。对运载气体喷出口8的加压空气(运载气体)供给与第1实施例同样，是通过在压力计23和单向阀25之间进行分支，并在内部设置有定比减压阀(第2压力控制装置)28和单向阀29的运载气体供给通路6进行。
在内压减压装置30的排气口31a上连接有先导切换阀38，该先导切换阀38以对喷射器11的加压空气(气体)供给压力和容器1的内压作为先导压，当容器1的内压上升到喷射器11的加压空气供给压力的规定比例，例如在上升到0.8～0.9左右的压力时打开，这样，在输送流道的阻力过大的情况下，容器1的内压自动减压到适当压力。
以下先说明在本实施例的气雾生成装置中，使用钻头54b进行加工的情况。首先，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51b，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51b、分支流道52b、回转接头56b和中空主轴55b，从钻头54b的油孔57b喷射。再有，减压阀22a的二次侧压力作为用于喷嘴53的压力，被预先设定为例如0.3MPa，减压阀22b的二次侧压力作为用于钻头54b的压力，被预先设定为例如0.6MPa，减压阀22a的二次侧压力作为用于小径钻头54c的压力，被预先设定为例如0.8MPa。
在此，在打开双口电磁阀24b使气雾生成装置运转时，由减压阀22b设定的用于钻头54b的压力例如为0.6MPa的加压空气(气体)，经由气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，向运载气体喷出口8供给的加压空气的压力，自动地由定比减压阀28减压为减压阀22b二次侧压力的规定比例，因而气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51b、分支流道52b、回转接头56b和中空主轴55b，气雾58b从钻头54b的油孔57b喷射到加工点上，可进行良好加工。
加工结束后，关闭双口电磁阀24b使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51b截断分支流道52b。
接下来，说明通过使用喷嘴53的外部喷雾进行加工的情况。在这种情况下，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51a，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51a和分支流道52a，从喷嘴53的前端53a喷射。
在此，在打开双口电磁阀24a使气雾生成装置运转时，由减压阀22a设定的用于喷嘴53的压力例如为0.3MPa的加压空气，通过气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，向运载气体喷出口8供给的加压空气的压力，自动地由定比减压阀28减压到相对于减压阀22a的二次侧压力的规定比例，因而气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51a和分支流道52a，气雾58a从喷嘴53的前端53a喷射到铣刀54a的加工点上，，可进行良好加工。
加工结束后，关闭双口电磁阀24a使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51a截断分支流道52a。
最后，说明使用小径钻头54c进行加工的情况。在这种情况下，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51c，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c喷射。
在此，在打开双口电磁阀24c使气雾生成装置运转时，由减压阀22c设定的用于小径钻头54c的压力例如为0.8MPa的加压空气，通过气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，其压力由定比减压阀28自动地减压到相对于减压阀22c二次侧压力的规定比例的加压空气，被供给到运载气体喷出口8，因此容器1的内压急速上升到该压力。然后，容器1的内压进一步上升，达到喷射器11的加压空气(气体)供给压力的规定比例、例如0.8～0.9倍的压力时，先导切换阀38自动打开，内压减压装置30发挥作用，使容器1的内压维持适当压力。这样，气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出小径钻头所需的充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，气雾58a从小径钻头54c的油孔57c喷射到加工点上，可进行良好加工。
加工结束后，关闭双口电磁阀24c使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51c截断分支流道52c。
此时，从消音器37抽出容器1内的压力，打开内压减压装置30的单向阀34，使过滤器31的储存部31b中的油经由单向阀34和回流流道35流入容器1中，滴下返回油源2。
本实施例的气雾生成装置适合例如在频繁更换喷嘴53、钻头54b和小径钻头54c、且通过远距离装置连续进行加工时使用。
图4所示为本发明第3实施例的气雾生成装置的概略结构。在图4中，与图3使用相同标记的部分表示相同或相当的部分。本实施例的气雾生成装置，在减压流道33上设置了定比泄压阀39，来代替图3所示第2实施例的气雾生成装置中的先导切换阀38，该定比泄压阀39以喷射器11的加压空气(气体)供给压力的规定比例的压力进行工作。该第3实施例的气雾生成装置为图3所示第2实施例的气雾生成装置的替代实施例，其作用与图3所示第2实施例大致相同。
图5所示为本发明第4实施例的气雾生成装置的概略结构。在图5中，与图1使用相同标记的部分表示相同或相当的部分。在该实施例的气雾生成装置中，在从油源2延伸到喷射器11的液体供给通路7上，设置有比例流量控制阀19，可以通过远距离操作来控制油的流量。
对喷射器11的加压空气(气体)供给是通过气体供给通路5进行，所述气体供给通路5包括从加压空气供给源(气体供给源)延伸并且内部设置有过滤器21、比例压力控制阀44以及单向阀25的。在该气体供给通路5的比例压力控制阀44下流侧，设有压力传感器46和压力计23。运载气体喷出口8的加压空气(运载气体)的供给是通过运载气体供给通路6进行，该运载气体供给通路6在过滤器21和比例压力控制阀44之间从气体供给通路5分支，且在内部设置有比例压力控制阀45以及单向阀29。
在此，上述比例压力控制阀44作为第1压力控制装置，对从气体供给源20向喷射器11供给的气体(加压空气)的二次侧压力进行控制；上述比例压力控制阀45作为第2压力控制装置，对从气体供给源20向运载气体喷出口8供给的运载气体(加压空气)的二次侧压力进行控制。即，由传感器46测出的压力，作为电信号被发送到另外设置的控制盘(图上未示出)并进行演算处理。然后，上述控制盘控制比例压力控制阀45，使比例压力控制阀(第2压力控制装置)45的二次侧压力，成为相对于比例压力控制阀(第1压力控制装置)44的二次侧压力减压到规定比例的压力。
内压减压装置30的排气口31a上连接有双口电磁阀36，并且盖3的上侧设置有测量容器1内压的压力传感器47。另外设置的控制盘(图上未示出)，对来自压力传感器46、47的信号进行演算处理，从而对双口电磁阀36进行控制，使其在容器1的内压超过相对于喷射器11的加压空气(气体)供给压力的规定比例，例如0.8～0.9的压力时打开，并在该压力以下关闭，从而在输送流道阻力过大的情况下，可自动地将容器1的内压减压到适当的压力。
以下先说明在本实施例的气雾生成装置中，使用钻头54b进行加工的情况。首先，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51b，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51b、分支流道52b、回转接头56b和中空主轴55b，从钻头54b的油孔57b喷射。
在此，在由控制盘(图上未示出)输出与钻头54b用的设定压力例如0.6MPa相对应的电信号时，比例压力控制阀(第1压力控制装置)44动作，在比例压力控制阀44上设定的钻头54b用压力的加压空气，经由气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，控制盘(图上未示出)控制比例压力控制阀(第2压力控制装置)45，向运载气体喷出口8供给的加压空气，自动减压为相对于比例压力控制阀44二次侧压力规定比例的压力，因而气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51b、分支流道52b、气雾58b回转接头56b和中空主轴55b，从钻头54b的油孔57b喷射到加工点上，可进行良好加工。
加工结束后，关闭向比例压力控制阀44的信号输出，使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51b截断分支流道52b。
接下来说明通过使用喷嘴53的外部喷雾进行加工的情况。在这种情况下，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51a，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51a和分支流道52a，从喷嘴53的前端53a喷射。
在此，控制盘(图上未示出)输出对应喷嘴53用的例如0.3MPa的设定压力的电信号后，比例压力控制阀44动作，在比例压力控制阀44上设定的喷嘴53用压力的加压空气，经由气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，控制盘(图上未示出)控制比例压力控制阀45，使向运载气体喷出口8供给的加压空气，自动减压为相对于比例压力控制阀44二次侧压力的规定比例压力，因而气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51a和分支流道52a，气雾58a从喷嘴53的前端53a喷射到铣刀54a的加工点上，从而可进行良好加工。
加工结束后，关闭向比例压力控制阀44的信号输出，使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51a截断分支流道52a。
最后说明使用小径钻头54c进行加工的情况。在这种情况下，在气雾生成装置运转之前打开双口切换阀51c，使从导管9吐出的气雾可以经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c喷射。
在此，当由控制盘(图上未示出)输出对应小径钻头54c用的例如设定压力0.8 MPa的电信号时，比例压力控制阀44动作，由比例压力控制阀44为小径钻头54c设定了压力的加压空气，经由气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，比例压力控制阀45被控制盘(图上未示出)控制，使自动减压为相对于比例压力控制阀44的二次侧压力规定比例的压力的加压空气，被供给到运载气体喷出口8，因此容器1的内压急速上升到该压力。
然后，容器1的内压进一步上升，达到对喷射器11的加压空气(气体)供给压力的规定比例例如0.8～0.9的压力后，根据控制盘(图上未示出)的指令，双口切换阀36自动打开，内压减压装置30发挥作用，使容器1的内压维持适当压力。这样，气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出小径钻头54c所需的充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，气雾58a从小径钻头54c的油孔57c喷射到加工点上，可进行良好加工。
加工结束后，关闭向比例压力控制阀44输出的信号，使气雾生成装置停止，然后关闭双口切换阀51c截断分支流道52c。
此时，从消音器37抽出容器1内的压力，打开内压减压装置30的单向阀34，使过滤器31的储存部31b中的油经由单向阀34和回流流道35流入容器1中，滴下后返回油源2。
本实施例的气雾生成装置适合在频繁更换喷嘴53、钻头54b和小径钻头54c，并且通过远距离装置连续进行加工时使用。
图6所示为本发明第5实施例的气雾生成装置的概略结构。本实施例的气雾生成装置与图1所示第1实施例的气雾生成装置不同之处在于，使用定差减压阀128来代替图1所示气雾生成装置中的定比减压阀28，定差减压阀128的二次侧压力通过该定差减压阀(第2压力控制装置)128，成为从减压阀(第1压力控制装置)22的二次侧压力减压了一定压差，例如0.15～0.25MPa压差的压力。其它结构与图1所示相同。
根据本实施例，随着对喷射器11的气体供给压力的变更，对运载气体喷出口8的运载气体供给压力自动调节成适当压力，即从气体供给压力减压为具有一定压差，例如0.15～0.25MPa的压力，这样就不需要对运载气体喷出口8的运载气体供给压力进行复杂调节，从而可以提高使用气雾生成装置的方便性。
图7所示为本发明第6实施例的气雾生成装置的概略结构。与上述图6所示情况相同，本实施例的气雾生成装置与图3所示第2实施例的气雾生成装置不同之处在于，使用定差减压阀128来代替图3所示气雾生成装置中的定比减压阀28，而且，作为与内压减压装置30的排气口31a连接的先导切换阀138，使用以对喷射器11的加压空气(气体)供给压力和容器1的内压为先导压，当容器1内的压力相对于对喷射器11的加压空气供给压力具有一定压差，例如0.05～0.1MPa的压差时打开的阀门，当容器1内的压力上升到相对喷射器11的加压空气供给压力具有一定压差的压力时，先导切换阀138打开。其它结构与图3所示相同。
根据本实施例，与上述相同，在使用小径钻头54c进行加工时，打开双口电磁阀24c使气雾生成装置运转后，由减压阀22c设定的用于小径钻头54c的压力例如为0.8MPa的加压空气，通过气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，由定差减压阀128自动减压到相对于减压阀22c的二次侧压力具有规定压差，例如0.15～0.25MPa压差的加压空气，供给到运载气体喷出口8，因此容器1的内压急速上升到该压力。然后，容器1的内压进一步上升，达到相对于对喷射器11的加压空气(气体)供给压力具有规定压差，例如0.05～0.1MPa压差的压力后，先导切换阀138自动打开，内压减压装置30发挥作用，使容器1的内压维持适当压力。这样，气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出小径钻头所需的充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51c、分支流道52c、回转接头56c和中空主轴55c，从小径钻头54c的油孔57c将气雾58a喷射到加工点上，可进行良好加工。
图8所示为本发明第7实施例的气雾生成装置的概略结构。与上述情况相同，本实施例的气雾生成装置与图4所示第3实施例的气雾生成装置不同之处在于，使用定差减压阀128来代替图4所示气雾生成装置中的定比减压阀28，并且，设置定差泄压阀139，来代替设置在内压减压装置30的减压流道33内的定比泄压阀39，定差泄压阀139在容器1内的压力相对于对喷射器11的加压空气供给压力具有一定压差例如0.05～0.1MPa的压差时动作。其它结构与图4所示相同。
图9所示为本发明第8实施例的气雾生成装置的概略结构。本实施例的气雾生成装置与图5所示第4实施例的气雾生成装置不同之处在于，作为设置在运载气体供给通路6上的比例压力控制阀145，该比例压力控制阀(第2压力控制装置)145的二次侧压力，相对于比例压力控制阀(第1压力控制装置)44的二次侧压力，具有例如0.15～0.25MPa的规定压差。而且还具有对检测喷射器11的加压空气(气体)供给压力和容器1的内压之间压差的压差开关147，利用来自该压差开关147的信号，来控制内压减压装置30的双口电磁阀36，使容器1内的压力相对于对喷射器11的加压空气(气体)供给压力具有一定压差。其它结构与图5所示相同。
根据本实施例，与上述情况相同，在使用钻头54b进行加工时，在控制盘(图上未示出)向比例压力控制阀44输出钻头54b用的设定压力例如0.6MPa相对应的电信号后，比例压力控制阀(第1压力控制装置)44动作，对比例压力控制阀44为钻头54b设定的压力的加压空气，经由气体供给通路5流入喷射器11并生成气雾。此时，控制盘(图上未示出)控制比例压力控制阀(第2压力控制装置)145，使向运载气体喷出口8供给的加压空气，自动减压为相对于比例压力控制阀44的二次侧压力具有规定压差例如0.15～0.25MPa的压差的压力。而且，根据来自压差开关147的信号进行控制，使容器1内的压力相对于对喷射器11的加压空气(气体)供给压力具有一定压差。这样，气雾生成装置在适当的运转点上运转，从导管9吐出充足风量和浓度的气雾，经由输送流道50、双口切换阀51b、分支流道52b、回转接头56b和中空主轴55b，气雾58b从钻头54b的油孔57b喷射到加工点上，可进行良好加工。
图10所示为本发明第9实施例的气雾生成装置的概略结构。在图10中，标注与图3相同标记的部分表示相同或相当的部分。本实施例的气雾生成装置，在排气口31a上连接气控阀48，来代替图3所示第2实施例气雾生成装置中的先导切换阀38，通过以喷射器11的加压空气(气体)供给压力和容器1的内压作为先导压，且当容器1的内压上升到对喷射器11的加压空气供给压力的规定比例例如0.8～0.9的压力时打开的先导切换阀238进行动作。该第9实施例的气雾生成装置为图3所示第2实施例的气雾生成装置的替代实施例，其作用与图3所示第2实施例相同。
图11所示为本发明第10实施例的气雾生成装置的概略结构。在图11中，标注与图7相同标记的部分表示相同或相当的部分。本实施例的气雾生成装置，在排气口31a上连接气控阀148，来代替图7所示第6实施例气雾生成装置中的先导切换阀138，先导切换阀138通过将对喷射器11的加压空气(气体)供给压力和容器1内的压力作为先导压，当容器1的内压相对于对喷射器11的加压空气供给压力具有一定压差，例如0.05～0.1MPa差压时打开的先导切换阀338进行动作。该第10实施例的气雾生成装置为图7所示第6实施例的气雾生成装置的替代实施例，其作用与图7所示第6实施例相同。
权利要求
1.一种气雾生成装置，包括接受来自气体供给源的气体和容器内的液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将所述容器内的所述气雾从所述容器导出的导管、以及与所述导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，还包括第1压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述喷射器供给气体的气体供给通路内，以及，第2压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路内，将二次侧压力控制成将所述第1压力控制装置的二次侧压力以一定比例减压的压力。
2.一种气雾生成装置，包括接受来自气体供给源的气体和容器内的液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将所述容器内的所述气雾从所述容器导出的导管、以及与所述导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，还包括第1压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述喷射器供给气体的气体供给通路内，以及，第2压力控制装置，设置在从所述气体供给源向所述运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路内，将二次侧压力控制成将所述第1压力控制装置的二次侧压力以一定压差减压的压力。
3.如权利要求1或2所述的气雾生成装置，其特征在于，所述第1压力控制装置包括分别设定成不同压力且并列配置的多个减压阀、以及分别设置在该减压阀下流侧的多个电磁阀。
4.如权利要求1所述的气雾生成装置，其特征在于，所述运载气体供给通路在所述第1压力控制装置的二次侧从所述气体供给通路分支形成，所述第2压力控制装置由定比减压阀构成。
5.如权利要求2所述的气雾生成装置，其特征在于，所述运载气体供给通路在所述第1压力控制装置的二次侧从所述气体供给通路分支形成，所述第2压力控制装置由定差减压阀构成。
6.一种气雾生成装置，包括接受来自气体供给源的气体和容器内的液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、以及将所述容器内的所述气雾从所述容器导出的导管，其特征在于，包括使所述容器内的压力减压的内压减压装置。
7.如权利要求6所述的气雾生成装置，其特征在于，所述内压减压装置包括通过节流机构将所述容器内的所述气雾引导到过滤器的减压流道、放出由所述过滤器从所述气雾分离出的气体的排气口，以及使由所述过滤器从所述气雾分离出的液体返回所述容器内的回流流道。
8.如权利要求7所述的气雾生成装置，其特征在于，所述排气口上连接有开关阀，该开关阀对由所述过滤器从所述气雾分离出的气体的放出进行控制。
9.如权利要求8所述的气雾生成装置，其特征在于，所述开关阀是先导切换阀，该先导切换阀以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当所述容器内的压力上升到相对于对所述喷射器的气体供给压力的一定比例压力时打开。
10.如权利要求8所述的气雾生成装置，其特征在于，所述开关阀是先导切换阀，该先导切换阀以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当所述容器内的压力上升到相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差时打开。
11.如权利要求7所述的气雾生成装置，其特征在于，所述减压流道上设置有定比泄压阀，该定比泄压阀在相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定比例的压力下动作。
12.如权利要求7所述的气雾生成装置，其特征在于，所述减压流道上设置有定差泄压阀，该定差泄压阀通过相对于对所述喷射器的气体供给压力的一定压差进行动作。
13.如权利要求7所述的气雾生成装置，其特征在于，所述内压减压装置具有电磁阀，该电磁阀设置在所述排气口或所述减压流道上，根据来自检测对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内压力之间压差的压差开关的信号进行控制，使所述容器内的压力成为相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差的压力。
14.如权利要求8所述的气雾生成装置，其特征在于，所述开关阀是通过先导切换阀动作的气控阀，所述气控阀以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当所述容器内的压力上升到相对于对所述喷射器的气体供给压力一定比例的压力时打开。
15.如权利要求8所述的气雾生成装置，其特征在于，所述开关阀是通过先导切换阀动作的气控阀，所述气控阀以对所述喷射器的气体供给压力和所述容器内的压力作为先导压，当所述容器内的压力上升到相对于对所述喷射器的气体供给压力具有一定压差时打开。
全文摘要
本发明提供一种气雾生成装置，不需要随着对喷射器的气体供给压力的改变，而对运载气体喷出口的运载气体供给压力进行复杂调节，并可进行小径钻头等的最少量润滑(MQL)加工。该气雾生成装置，包括接受来自气体供给源的气体和容器内液体的供给后生成气雾并喷射到容器内的喷射器、将容器内的气雾从容器导出的导管，以及与导管连通的运载气体喷出口，其特征在于，它还包括在从气体供给源向喷射器供给气体的气体供给通路上设置的第1压力控制装置，以及第2压力控制装置，第2压力控制装置设置在从气体供给源向运载气体喷出口供给运载气体的运载气体供给通路上，将二次侧压力控制成将第1压力控制装置的二次侧压力以一定比例减压后的压力。
文档编号B05B7/26GK1524626SQ200410007339
公开日2004年9月1日 申请日期2004年3月1日 优先权日2003年2月28日
发明者泷川胜, 大野隆史, 史 申请人:株式会社荏原制作所