05mmol进行混合,经过均勻混合后,在1300°C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材，并将靶材装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为95mm。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽到1.0X 10_5Pa，氩气的工作气体流量为35SCCm，压强调节为4.0Pa，衬底温度为750°C，溅射功率为300W，得到的样品的化学式为Sra95ZnO2:0.05Ti4+，厚度为60nm，然后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0082]实施例7
[0083]选用纯度为99.99%的粉体，将BaO，ZnO和T12粉体按照摩尔数为0.97mmol，Immol和0.03mmol进行混合,经过均勻混合后,在1250°C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材，并将靶材装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为60mm。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽到5.0X 10_4Pa，氩气的工作气体流量为20SCCm，压强调节为2.0Pa，衬底温度为500°C，溅射功率为150W，得到的样品的化学式为Baa97ZnO2 = 0.03Ti4+的发光薄膜，厚度为150nm，然后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0084]实施例8
[0085]选用纯度为99.99%的粉体，将BaO，ZnO和T12粉体按照摩尔数为0.99mmol，Immol和0.0lmmol进行混合,经过均勻混合后,在900 °C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材，并将靶材装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为45mm。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽到1.0X 10_3Pa，氩气的工作气体流量为lOsccm，压强调节为0.5Pa，溅射功率为50W。得到的样品的化学式为Baa99Zn02:0.0lTi4+的发光薄膜，厚度为300nm，然后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0086]实施例9
[0087]选用纯度为99.99%的粉体，将BaO，ZnO和T12粉体按照摩尔数为0.95mmol，Immol和0.05mmol进行混合,经过均勻混合后,在1300°C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材，并将靶材装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为95mm。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽到1.0X 10_5Pa，氩气的工作气体流量为35SCCm，压强调节为5.0Pa，衬底温度为750°C，溅射功率为300W，得到的样品的化学式为Baa95ZnO2 = 0.05Ti4+的发光薄膜，厚度为60nm，然后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0088]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种钛掺杂碱土锌酸盐发光材料，其特征在于:其化学式为MehZnO2:xTi4+，MehZnO2是基质，Ti4+离子是激活元素,其中，x为0.01?0.05, Me为I丐元素、银元素及钡元素中的一种。
2.根据权利要求1所述的发光材料，其特征在于:所述X为0.03。
3.—种钛掺杂碱土锌酸盐发光材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 根据Μθι_χΖη02:xTi4+各元素的化学计量比称取MeO，ZnO和T12粉体并混合均匀，其中，X为0.01?0.05, MeO为氧化I丐、氧化银及氧化钡中的一种；及 将混合均匀的粉体在900 °C?1300 °C下烧结0.5小时?5小时即得到化学式为MehZnO2:xTi4+的钛掺杂碱土锌酸盐发光材料，x为0.01?0.05,Me为钙元素、锶元素及钡元素中的一种。
4.一种钛掺杂碱土锌酸盐发光薄膜，其特征在于，该钛掺杂碱土锌酸盐发光薄膜的材料的化学通式为Mei_xZn02:xTi4+, Me1^xZnO2是基质，Ti4+离子是激活元素，其中，x为0.01?0.05, Me为钙元素、锶元素及钡元素中的一种。
5.根据权利要求4所述的发光薄膜，其特征在于:所述发光薄膜的厚度为60nm?300nmo
6.一种钛掺杂碱土锌酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 根据Μθι_χΖη02:xTi4+各元素的化学计量比称取MeO，ZnO和T12粉体并混合均匀，将混合均匀的粉体在900°C?1300°C下烧结0.5小时?5小时得到靶材，其中，x为0.01?0.05, MeO为氧化I丐、氧化银及氧化钡中的一种； 将所述靶材以及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并将真空腔体的真空度设置为 1.0 X KT3Pa ?1.0 X KT5Pa ;及 调整磁控溅射镀膜工艺参数为:基靶间距为45mm?95mm，磁控溅射工作压强0.5Pa?5Pa，工作气体的流量为1sccm?40sccm，衬底温度为250°C?750°C，溅射功率为50W?300W，接着进行制膜，得到化学式为Mei_xZn02:XTi4+，Mei_xZn02是基质，Ti4+离子是激活元素，其中，X为0.01?0.05，Me为钙元素、锶元素及钡元素中的一种。
7.一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层的材料为钛掺杂碱土锌酸盐发光材料，该钛掺杂碱土锌酸盐发光材料的化学式为Mei_xZn02:xTi4+, Me1^xZnO2是基质，Ti4+离子是激活元素，其中，X为0.01?0.05, Me为I丐元素、银元素及钡元素中的一种。
8.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 提供具有阳极的衬底； 在所述阳极上形成发光层，所述发光层的材料为钛掺杂碱土锌酸盐发光材料，该钛掺杂碱土锌酸盐发光材料的化学式为Mei_xZn02:xTi4+,Me1^xZnO2是基质，Ti4+离子是激活元素，其中，X为0.01?0.05，Me为钙元素、锶元素及钡元素中的一种； 在所述发光层上形成阴极。
9.根据权利要求8所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的制备包括以下步骤: 根据MehZnO2:xTi4+各元素的化学计量比称取MeO，ZnO和T12粉体并混合均匀在900°C?1300°C下烧结0.5小时?5小时制成靶材，其中，x为0.01?0.05，MeO为氧化钙、氧化锶及氧化钡中的一种； 将所述靶材以及所述衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并将真空腔体的真空度设置为 1.0X KT3Pa ?1.0X KT5Pa ； 调整磁控溅射镀膜工艺参数为:基靶间距为45mm?95mm，磁控溅射工作压强0.5Pa?5Pa，工作气体的流量为1sccm?40sccm，衬底温度为250°C?750°C，溅射功率为50W?300W,接着进行制膜，在所述阳极上形成发光层。
10.根据权利要求8所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的厚度为60nm?300nm。
【专利摘要】一种钛掺杂碱土锌酸盐发光材料，其化学式为Me1-xZnO2：xTi4+，Me1-xZnO2是基质，Ti4+离子是激活元素，其中，x为0.01～0.05，Me为钙元素、锶元素及钡元素中的一种。该钛掺杂碱土锌酸盐发光材料制成的发光薄膜的电致发光光谱（EL）中，在646nm波长区都有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。本发明还提供该钛掺杂碱土锌酸盐发光材料的制备方法及其应用。
【IPC分类】H01L33-50, C09K11-55
【公开号】CN104673280
【申请号】CN201310633617
【发明人】周明杰, 陈吉星, 王平, 黄辉
【申请人】海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2013年11月30日