一种应用于硅棒的运棒车的制作方法

本实用新型涉及半导体新材料硅单晶制备技术领域，具体涉及一种应用于硅棒的运棒车。

背景技术：

目前国际主流集成电路依然是使用硅基材料，市场占有率达高。集成电路硅片加工处理环境中不能有其他杂质，否则硅片就会受到污染，影响器件性能。加工生产标准半导体硅片时，需要用到更大尺寸的单晶硅材料作为加工时相应的辅助材料。因此大尺寸单晶硅材料有着良好的市场前景。

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位。

在生产实践中，大直径硅棒的取运一直是一个难题。由于投料量的提高，硅棒的重量越来越重。目前均是采用人力搬运并且是没有安全防护，会存在一定的风险。若采用人力去搬运，会对员工的身体健康造成一定的负担。由于在转运的过程中，会有检测、运输、开断等诸多环节，存在多次搬运的问题，对工作造成了很大的不便。

因此，一种能够便于单晶硅检测、运输和开断的应用于硅棒的运棒车为了解决问题的关键。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种应用于硅棒的运棒车，设有多对滚动支撑装置，便于对硅棒进行检测和运送。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，一种应用于硅棒的运棒车，包括：

车体；

V型板/弧形板，其前端铰接在车体的前端，用于在水平状态下承托硅棒；以及

支杆，其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方，用于支撑V型板/弧形板的末端；

液压翻转装置，其设置在所述车体与V型板/弧形板之间，用于所翻转述V型板/弧形板；

侧托板，其竖直设置在所述V型板/弧形板前端，用于在竖直状态下承托硅棒；

多对滚动支撑装置，其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧，用于支撑硅棒；

其中，在所述多对滚动支撑装置的上端设有可旋转地轮辊。

优选的是，所述滚动支撑装置包括：

支撑块，其通过位置调节装置设置在所述侧托板上；

弧型杆，其下端与支撑块通过转轴连接；以及

扭簧，其套设在所述转轴上；

轮辊，其可旋转地设置在所述弧型杆的前端，用于与所述硅棒相抵接。

优选的是，所述位置调节装置包括：

两个滑槽件，其并列设置在所述V型板/弧形板上，在所述滑槽件上设有纵向的凹槽内，在所述滑槽件的侧面上设有齿形槽；

两个支撑板，其分别插入所述凹槽内，在所述支撑板上分别通孔，其用于连接所述支撑块；以及

两个金属销，所述金属销前部的直径大于后部的直径；所述金属销穿过所述通孔和齿形槽；所述金属销后部的直径小于所述齿形槽的最小内径，前部的直径等于所述齿形长槽的最大内径，在所述金属销的前端设有限位块，金属销的末端设有拉环，在金属销的后部套设有弹簧。

优选的是，液压翻转装置为液压缸，其铰接在所述所述车体和所述V型板/弧形板之间。

优选的是，还包括：

减震器，其设置在所述支杆上，用于提供阻尼力。

优选的是，在所述侧托板的中心设有通孔，在所述通孔外周设有旋转轴承。

优选的是，在所述车体底部的前端设有两个定向滚轮，在所述车体底部末端设有两个万向滚轮。

优选的是，在所述轮辊上设有弹性橡胶。

优选的是，还包括：

链条，其设置在所述V型板/弧形板，用于捆绑硅棒。

优选的是，所述侧托板由外周向中心设有向下倾斜的锥度。

本实用新型的有益效果是：1、设有多对滚动支撑装置，在滚动支撑装置的前端设有轮辊，能够滚动支撑所述硅棒，便于对硅棒进行检测；2、所述支杆上设有减震器，能够减少硅棒在运输途中的所受的振动；3，在所述托板上设有轴承，便于旋转硅棒；4、在所述滚动支撑装置的下部设有位置调节装置，通过位置调节装置能够调节滚动支撑装置在V型板/弧形板上的位置，便于夹持不同长度的硅棒。

附图说明

图1是本实用新型中一种应用于硅棒的运棒车的V型板/弧形板处于水平状态的立体图；

图2是本实用新型中一种应用于硅棒的运棒车的V型板/弧形板处于竖直状态的立体图；

图3是本实用新型中一种应用于硅棒的运棒车的V型板/弧形板处于水平状态的示意图；

图4是图3的A-A剖视图；

图5是本实用新型中位置调节装置的主视图；

图6是本实用新型中位置调节装置的俯视图；

图7是本实用新型中金属销的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

如图1-7所示，本实用新型的一种实现形式，为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括：

车体110由金属材料制成，用于运输所述硅棒。在所述车体110的底部设有4个滚轮，在所述车体110的末端设有便于推动车体110的把手113；作为一种优选，位于车体前部的2个滚轮为定向滚轮111，位于车体后部的2个滚轮为万向滚轮112。

V型板/弧形板120，呈板状结构，由金属材料制成。V型板/弧形板120的前端铰接在车体的前端，用于在水平状态下承托硅棒；作为一种优选，所述V型板/弧形板120由不锈钢材料制成。作为进一步优选，在所述V型板/弧形板120上设有用于提供缓冲力的弹性橡胶层。作为一种优选，V型板/弧形板120的前端设有转轴，并通过该转轴与车体的前端连接。

支杆130，其设置车体110的后部并位于在所述V型板/弧形板120的下方，用于支撑V型板/弧形板120的末端；作为一种优选，在所述支杆130上设有减震器131，能够提供阻尼力进而降低硅棒在运输过程中所受到的振动。

液压翻转装置140设置在所述车体110和所述V型板/弧形板120之间，用于所翻转述V型板/弧形板120；作为一种优选，液压翻转装置为液压缸，其铰接在所述所述车体110和所述V型板/弧形板之间120。

侧托板150竖直设置在所述V型板/弧形板120前端，用于在竖直状态下承托硅棒；在所述侧托板150的一侧设有支脚151，用于支撑所述侧托板150。在所述侧托板150的中心设有通孔152，作为一种优选，在所述通孔152外周设有旋转轴承。作为进一步优选，所述侧托板150由外周向中心设有向下倾斜的锥度。

多对滚动支撑装置160，其底部通过位置调节装置170设置在所述V型板/弧形板的两侧，用于支撑硅棒；其中，在所述滚动支撑装置160的前端设有可旋转地轮辊。作为一种优选，所述多对滚动支撑装置160包括：支撑块161、弧型杆162、转轴163、扭簧和轮辊164。支撑块，其通过位置调节装置设置在所述侧托板上；弧型杆162下端与支撑块161通过转轴163连接；扭簧套设在所述转轴163上；轮辊164可旋转地设置在所述弧型杆162的前端，用于与所述硅棒相抵接。作为进一步优选，在所述轮辊164与弧型杆162之间设有安装架165，轮辊164可旋转地架设在所述安装架165上。

在使用过程中，将运棒车1移至场地中，通过液压翻转装置140将V型板/弧形板120撑起，使V型板/弧形板120保持竖直，将硅棒2自炉体中移出放置在所述侧托板150上，在通过多对滚动支撑装置160将硅棒2固定，然后再次通过液压翻转装置140将V型板/弧形板120放置水平。滚动支撑装置160的轮辊164与硅棒2相抵接，硅棒2与轮辊164将能够产生滚动，旋转硅棒2，不断检查硅棒2的外周是否存在杂质，检查结束后，再通过车体110将硅棒2运输至存储地点。

在另一个实施例中，所述滚动支撑装置160包括：支撑块161、弧型杆162、转轴163、扭簧和轮辊164。支撑块161其通过位置调节装置设置在所述侧托板上；弧型杆162下端与支撑块161通过转轴163连接；扭簧套设在所述转轴163上；轮辊164可旋转地设置在所述弧型杆162的前端，用于与所述硅棒相抵接。作为进一步优选，在所述轮辊164与弧型杆162之间设有安装架165，轮辊164可旋转地架设在所述安装架165上。

在另一个实施例中，所述位置调节装置180包括：两个滑槽件181、两个支撑板184和两个金属销185。其中，两个滑槽件181并列设置在所述V型板/弧形板120上，在所述滑槽件181上设有纵向的凹槽182内，在所述滑槽件181的侧面上设有齿形槽183；两个支撑板184，其分别插入所述凹槽182内，在所述支撑板184上分别通孔184a，其用于连接所述支撑块161；所述金属销185前部的直径大于后部的直径；所述金属销185穿过所述通孔184a和齿形槽183；所述金属销185后部的直径小于所述齿形槽的最小内径，前部的直径等于所述齿形长槽的最大内径，在所述金属销185的前端设有限位块185b，金属销185的末端设有拉环185a。作为一种优选，在所述金属销185的后部套设有弹簧186。在使用过程中，当需要调整位置时，向内推动拉环185，使弹簧186压缩，使金属销185后部进入所述齿形槽，由于所述金属销185后部的直径小于所述齿形槽的最小内径，使支撑板184能够在凹槽182内移动，位置调整至合适位置后，停止挤压拉环185，使金属销185的前部进入所述齿形槽，由于金属销185的前部的直径等于所述齿形长槽的最大内径，进而将位置锁死。通过位置调节装置180能够调整滚动支撑装置160的位置，进而适应不同长度的硅棒。

在另一个实施例中，所述压翻转装置140为液压缸，其铰接在所述所述车体和所述V型板/弧形板之间。

在另一个实施例中，还包括：减震器131设置在所述支杆130上，用于提供阻尼力减少运输过程中的振动。

在另一个实施例中，在所述侧托板150的中心设有通孔152，在所述通孔152外周设有旋转轴承。

在另一个实施例中，在所述车体110底部的前端设有两个定向滚轮111，在所述车体110底部末端设有两个万向滚轮112。

在另一个实施例中，在所述轮辊164上设有弹性橡胶，弹性橡胶用于提供缓冲力和摩擦力，作为一种优选，所述弹性橡胶由丁苯橡胶材料制成。

在另一个实施例中，还包括：链条170。链条170设置在所述V型板/弧形板120，用于捆绑硅棒。

在另一个实施例中，所述侧托板150由外周向中心设有向下倾斜的锥度。由于硅棒底部呈圆锥体，侧托板150由外周向中心设有向下倾斜的结构便于承托硅棒。

如上所述本实用新型一种应用于硅棒的运棒车1，设有多对滚动支撑装置160，在滚动支撑装置的前端设有轮辊164，能够滚动支撑所述硅棒，便于对硅棒进行检测和开断；所述支杆130上设有减震器131，能够减少硅棒在运输途中的所受的振动；在所述托板150上设有轴承，便于旋转硅棒；在所述滚动支撑装置160的下部设有位置调节装置180，通过位置调节装置180能够调节滚动支撑装置在V型板/弧形板120上的位置，便于夹持不同长度的硅棒。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。