石英件运输装置的制作方法

本实用新型涉及半导体集成电路领域，具体属于一种适用于扩散炉管多种机台维护保养的石英件运输装置。

背景技术：

在半导体FAB中，各生产工艺都对应不同功能且结构复杂的精密设备，这些设备能否正常运行则决定了工厂的生产效率以及产品的质量和良率，因此，对半导体设备进行定期的维护保养(PM)是行业内众所周知且不可缺少的工艺。

半导体生产过程中热扩散工艺所用的设备是高温扩散炉，对扩散炉进行维护保养时需要将扩散炉内的石英件进行搬运。目前，在生产过程中石英件搬运周转方式主要有人工搬运和运输车搬运两种，前者搬运困难，耗费大量的人力，且由于石英件本身是易碎品，故在搬运过程中稍不注意就会导致石英件碰破，后者的搬运车多为长方形车身，其用于同时运载boat(石英舟)和tube(石英管)，故整个搬运车的体积较大，使用过程中灵活性较差。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种石英件运输装置，可以同时运输多种石英件及工具，避免石英件在运输过程中发生破碎或损坏。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的石英件运输装置包括至少两个运输车，所述运输车采用榫卯连接；

每个运输车都包括底板、顶板、左侧板、右侧板和后背板，所述底板、顶板、左侧板、右侧板和后背板组成容纳石英件的车体，底板的底面四个顶点处均安装有万向轮；

所述底板包括A层板、B层板和多个限位柱，所述A层板平行地设于B层板的上方，所述A层板和B层板均形成有与限位柱数量相同的通孔，且B层板的通孔与A层板的通孔在竖直方向上的位置一一对应，所述限位柱的下端插装在B层板的通孔中，限位柱的上端插装在A层板的通孔内，所述限位柱形成有向外突出的凸缘，所述限位柱在凸缘与A层板之间的部分套设有第一弹簧，且限位柱在凸缘与B层板之间的部分套设有第二弹簧。

在上述结构中，所述第一弹簧的内径大于A层板的通孔直径，第一弹簧的外径小于限位柱凸缘的外边界尺寸，第一弹簧的上端抵在A层板的底面，第一弹簧的下端抵在限位柱的凸缘顶面。

在上述结构中，所述第二弹簧的内径大于B层板的通孔直径，第一弹簧的外径小于限位柱凸缘的外边界尺寸，第二弹簧的上端抵在限位柱的凸缘底面，第一弹簧的下端抵在B层板的顶面。

较佳的，所述B层板的下方设有C层板，B层板和C层板之间设有网格状的支撑架，且B层板的通孔与支撑架的网格空间相对应，所述支撑架的高度不小于A层板在第一弹簧和第二弹簧均达到最大压缩量时的下移距离。

进一步的，所述C层板的下方还设有D层板，且C层板和D层板之间设有缓冲层。

在上述结构中，每个运输车都设有把手，所述把手与运输车的车体榫卯连接。

在上述结构中，所述运输车的后背板形成有挂钩凹槽，所述挂钩凹槽内通过销轴安装有隐藏式挂钩。

较佳的，所述挂钩的上端和下端靠近挂钩凹槽底部的一侧设有倒角面，当隐藏式挂钩收起时，挂钩的外表面与后背板的外壁在同一平面内，当隐藏式挂钩打开时，隐藏式挂钩以销轴为中心向外转动，其上端伸出挂钩凹槽外，下端的倒角面与挂钩凹槽底部贴合。

优选的，所述万向轮的圆周面和外端面覆有橡胶层。

优选的，所述底板底面每个顶点处的万向轮包括两个。

本实用新型的运输装置可以对放置于运输车上各种形状的石英件进行可靠限位，从而减少石英件在维修保养的运输过程中受到的损伤，提高石英件的使用寿命，降低石英件的更换频率，同时还可以根据实际需要拆分运输装置以适应不同的运输量以及解决某些扩散炉管空间狭小难以进入的问题。

附图说明

图1为本实用新型的运输装置的整体立体图：

图2为本实用新型的运输装置中底板的结构示意图；

图3为本实用新型的运输装置中把手的结构示意图；

图4为本实用新型的运输装置中卡闩的结构示意图；

图5为本实用新型的运输装置中隐藏式挂钩未打开的示意图；

图6为本实用新型的运输装置中隐藏式挂钩打开的示意图。

其中附图标记说明如下：

1为底板；11为A层板；12为B层板；13为限位柱；14为第一弹簧；15为C层板；16为缓冲层；17为D层板；18为支撑架；19为第二弹簧；2为顶板；3为万向轮；4为把手；5为卡闩；6为隐藏式挂钩；7为支撑板。

具体实施方式

以下结合附图给出本实用新型的具体实施方式，但本实用新型并不限于以下的实施方式，根据下面的说明书和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需要说明的是。附图均采用非常简化的形式，且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

第一实施例

本实施例提供的石英件运输装置，包括至少两个运输车，如图1所示，这些运输车采用榫卯连接；每个运输车都包括底板1、顶板2、左侧板、右侧板和后背板，所述底板1、顶板2、左侧板、右侧板和后背板组成容纳石英件的车体，底板的底面四个顶点处均安装有万向轮3。

所述底板1包括A层板11、B层板12和多个限位柱13，所述A层板11平行地设于B层板12的上方。所述限位柱13的下端插装在B层板12的通孔中，限位柱13的上端插装在A层板11的通孔内。

如图2所示，所述A层板11上形成有与限位柱13数量相同的通孔，B层板12 上也形成有与限位柱13数量相同的通孔，且B层板12上的通孔与A层板11的通孔在竖直方向上的位置一一对应。

所述限位柱13形成有向外突出的凸缘，所述限位柱13在凸缘与A层板11之间的部分套设有第一弹簧14，且限位柱13在凸缘与B层板12之间的部分套设有第二弹簧19。

第一弹簧14的内径大于A层板11的通孔直径，第一弹簧14的外径小于限位柱 13凸缘的外边界尺寸，第一弹簧14的上端抵在A层板11的底面，第一弹簧14的下端抵在限位柱13的凸缘顶面。

第二弹簧19的内径大于B层板12的通孔直径，第一弹簧19的外径小于限位柱 13凸缘的外边界尺寸，第二弹簧19的上端抵在限位柱13的凸缘底面，第一弹簧19 的下端抵在B层板12的顶面。

当石英件未放置到运输装置中时，限位柱13的顶端与A层板11的顶面齐平，当石英件放置到运输装置后，由于石英件的重力作用，两弹簧被进一步地压缩，A层板 11逐渐向下移动，这样限位柱13的上端从A层板11的通孔中逐渐伸出，从而对A 层板11上的石英件进行限位，以防止石英件发生水平移动。

在实际生产过程中，需要运输转移的石英件有可能形状并不规则，当这种石英件放置在运输车的底板上时，很有可能会压到限位柱13，为了保证在运输过程中对石英件进行有效地定位，B层板12的下方设有C层板15，B层板12和C层板15之间设有网格状的支撑架18，且B层板12的通孔与支撑架18的网格空间相对应，当限位柱13被石英件压到时，B层板12和C层板15之间的空格区域可以供限位柱13向下移动。

所述支撑架18的高度不小于A层板11在第一弹簧14和第二弹簧19均达到最大压缩量时的下移距离，这样可以保证运输车的底板有足够的空间可以保证石英件被准确可靠地限位。

优选的，D层板17和C层板15之间设有缓冲层16。

第二实施例

在第一实施例的基础上，每个运输车都设有把手4，如图3所示，所述把手4与运输车的车体榫卯连接。把手4所在的运输车侧板的外壁固定安装有至少两块支撑板 7，所述支撑板7相互平行，每块支撑板7的外边缘形成有至少一个向内延伸的热电偶摆放孔，且所有支撑板7上的热电偶摆放孔在竖直方向的位置分别相对应。

运输车的把手4被拆卸后可以在支撑板7的热电偶摆放孔中摆放热电偶。热电偶摆放孔处设有卡闩5，如图4所示，所述卡闩5的一端通过铰链安装在摆放孔一侧的车体上，卡闩5的另一端为┓型的卡台，该卡台卡在摆放孔另一侧的车体上。

第三实施例

在第一实施例的基础上，为了在运输车上悬挂维保常用工具，所述运输车的后背板还形成有挂钩凹槽，所述挂钩凹槽内通过销轴安装有隐藏式挂钩6，所述挂钩6 的上端和下端靠近挂钩凹槽底部的一侧设有倒角面，当隐藏式挂钩6收起时，如图5 所示，挂钩的外表面与后背板的外壁在同一平面内，当隐藏式挂钩6打开时，如图6 所示，隐藏式挂钩6以销轴为中心向外转动，其上端伸出挂钩凹槽外，下端的倒角面与挂钩凹槽底部贴合。

为了减少运输过程的振动，万向轮3的圆周面和外端面覆有橡胶层。同时，较佳的，每个顶点处的万向轮3为一组，每组包括两个。

本实用新型的运输装置可以减少石英件在维修保养的运输过程中受到的损伤，提高石英件的使用寿命，降低石英件的更换频率，同时还可以根据实际需要拆分运输装置以适应不同的运输量以及解决空间狭小难以进入的问题。

以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，该实施例仅仅是本实用新型的较佳实施例，并非用于限定本实用新型。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员做出的等效置换和改进，均应视为在本实用新型所保护的技术范畴内。