技术总结
本实用新型公开了一种石英件运输装置，包括榫卯连接的至少两个运输车，每个运输车的底板、顶板、左侧板、右侧板和后背板组成容纳石英件的车体，底板底面四个顶点处均安装有一组万向轮，底板包括A层板、B层板和多个限位柱，A层板平行设于B层板上方，A层板和B层板均形成有与限位柱数量相同的通孔，B层板的通孔与A层板的通孔在竖直方向位置相对应，限位柱下端插在B层板的通孔中，限位柱上端插在A层板的通孔内，限位柱具有向外突出的凸缘，限位柱在凸缘与A层板之间套设有第一弹簧，在凸缘与B层板之间套设有第二弹簧。本实用新型可以减少石英件在运输过程损伤，延长石英件的使用寿命，同时还可以解决某些扩散炉管空间狭小难以进入的问题。
技术研发人员：吴怡晨
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.09.24