技术特征：
1.一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：包括放置层，所述放置层上设有水箱组件、吸水件及安装件，所述水箱组件定位于所述放置层，所述水箱组件与所述吸水件连接；所述吸水件铺设于所述放置层表面，所述安装件定位于所述放置层，且所述安装件盖合于所述吸水件表面；所述安装件靠近所述吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部，每一所述定位部定位晶圆拋光盘，当所述安装件定位于所述放置层时，晶圆拋光盘压合于吸水件表面。2.根据权利要求1所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述水箱组件包括水箱及输水管，所述水箱与所述吸水件相邻设置，所述输水管与所述水箱连通，所述输水管嵌入所述吸水件内部，所述输水管向所述吸水件内部输出液体。3.根据权利要求2所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述输水管表面设有多个输水孔。4.根据权利要求3所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述输水管呈环形设置。5.根据权利要求1所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述放置层表面设有多个凸起的安装块，多个所述安装块环设于所述安装件的外周侧，所述安装件扣合于所述安装块。6.根据权利要求2所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述水箱组件还包括水泵，所述水泵设于所述水箱及所述输水管之间。7.根据权利要求1所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述定位部为所述安装件表面的凹陷结构，当晶圆拋光盘定位于所述定位部时，所述晶圆拋光盘凸起于所述安装件的表面。8.根据权利要求2所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述水箱远离所述吸水件一侧设有观察部，所述观察部为透明材质。9.根据权利要求1-8中任一项所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述放置层的数量为多个，多个所述放置层依次设置。10.根据权利要求9所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：在最底部的放置层的底面连接有移动轮。
技术总结
本发明公开了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，包括放置层，放置层上设有水箱组件、吸水件及安装件，水箱组件定位于放置层，水箱组件与吸水件连接，吸水件铺设于放置层表面，安装件盖合于吸水件表面，安装件靠近吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部，每一定位部定位晶圆拋光盘，当安装件定位于放置层时，晶圆拋光盘压合于吸水件表面。通过将晶圆抛光盘一侧贴附压合吸水件，使得晶圆抛光盘在转移过程中可以立即进行润湿处理，不需要额外设置润湿处理的针对性设备，降低生产设备的成本。同时，通过在转运车架上设置吸水件给晶圆抛光盘润湿，使得晶圆抛光盘的转运和润湿两个工序结合在一起同步进行，提高了晶圆生产的效率。提高了晶圆生产的效率。提高了晶圆生产的效率。
技术研发人员：王飞 董晓龙 巫枝盛
受保护的技术使用者：深圳市瓦力自动化有限公司
技术研发日：2022.07.08
技术公布日：2022/9/2