一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架的制作方法

1.本发明属于晶圆转移设备领域，特别涉及一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架。


背景技术：

2.晶圆抛光盘是晶圆切片后获得的盘状结构，一般经历切片、粗磨、喷淋润湿、精磨的过程，由于晶圆生产为大批量的大型车间作业，所以切片和研磨工序均在不同的车间完成，故切片完成后需要将晶圆抛光盘转移到研磨车间。
3.喷淋润湿工序是为了在精磨之前对晶圆抛光盘需要研磨的表面进行润湿，这是进行研磨前的工艺要求，现有的喷淋润湿工艺一般有：浸泡、表面喷淋等方式，例如，浸泡则为将整个晶圆抛光盘浸入到泡水池中，整体进行润湿；表面喷淋为将晶圆抛光盘移动到喷淋区域，对待研磨表面喷洒清水或研磨液。
4.以上两种方式需要额外设置润湿工位，浸泡需要设置泡水池、喷淋需要设置喷淋机构，增加了晶圆生产设备的成本，同时在晶圆抛光盘润湿的转移过程也会导致晶圆生产效率较低。


技术实现要素：

5.本发明提供了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，旨在解决现有的晶圆润湿工艺带来的设备成本较高和生产效率较低的问题。
6.根据本技术实施例，提供了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，包括放置层，所述放置层上设有水箱组件、吸水件及安装件，所述水箱组件定位于所述放置层，所述水箱组件与所述吸水件连接；所述吸水件铺设于所述放置层表面，所述安装件定位于所述放置层，且所述安装件盖合于所述吸水件表面；所述安装件靠近所述吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部，每一所述定位部定位晶圆拋光盘，当所述安装件定位于所述放置层时，晶圆拋光盘压合于吸水件表面。
7.优选地，所述水箱组件包括水箱及输水管，所述水箱与所述吸水件相邻设置，所述输水管与所述水箱连通，所述输水管嵌入所述吸水件内部，所述输水管向所述吸水件内部输出液体。
8.优选地，所述输水管表面设有多个输水孔。
9.优选地，所述输水管呈环形设置。
10.优选地，所述放置层表面设有多个凸起的安装块，多个所述安装块环设于所述安装件的外周侧，所述安装件扣合于所述安装块。
11.优选地，所述水箱组件还包括水泵，所述水泵设于所述水箱及所述输水管之间。
12.优选地，所述定位部为所述安装件表面的凹陷结构，当晶圆拋光盘定位于所述定位部时，所述晶圆拋光盘凸起于所述安装件的表面。
13.优选地，所述水箱远离所述吸水件一侧设有观察部，所述观察部为透明材质。
14.优选地，所述放置层的数量为多个，多个所述放置层依次设置。
15.优选地，在最底部的放置层的底面连接有移动轮。
16.与现有技术相比，本发明提供的一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架具有以下有益效果：
17.通过在转运晶圆的转运车架上设置吸水件、水箱，利用晶圆单面研磨的特性，将晶圆抛光盘一侧固定在安装件上，另一侧则贴附压合吸水件，使得晶圆抛光盘在转移过程中可以立即进行润湿处理，不需要额外设置润湿处理的针对性设备，减少晶圆生产的设备要求，降低生产设备的成本。同时，通过在转运车架上设置吸水件给晶圆抛光盘润湿，使得晶圆抛光盘的转运和润湿两个工序结合在一起同步进行，提高了晶圆生产的效率。进一步地，本方案在转运车架上增设吸水件和水箱组件，通过简单的结构件安装即可实现晶圆抛光盘的转运和润湿同步进行，便于安装和维护，特别是可以针对现有的转运车架进行改装即可，不需要重新设计和采购新设备，使用门槛低，降低使用成本，便于推广。再进一步地，通过安装件定位晶圆抛光盘，使得晶圆抛光盘在研磨过程中可以将安装件作为基准定位，不需要拆除，便于晶圆研磨的自动化生产，提高定位精度。
附图说明
18.为了更清楚地说明本发明实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1是本发明第一实施例提供的一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架的结构示意图。
20.图2是本发明第一实施例提供的一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架中放置层的结构示意图。
21.图3是本发明第一实施例提供的一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架中安装件的结构示意图。
22.图4是本发明第一实施例提供的一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架中水箱的结构示意图。
23.附图标记说明：
24.1、水箱组件；11、水箱；111、观察部；12、输水管；13、水泵；
25.2、吸水件；
26.3、安装件；31、定位部；
27.4、安装块；
28.100、放置层；101、移动轮。
具体实施方式
29.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
30.还应当理解，在此本发明说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目
的而并不意在限制本发明。如在本发明说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
31.还应当进一步理解，在本发明说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
32.请结合图1、图2和图3，本发明第一实施例公开了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，包括放置层100，所述放置层100上设有水箱组件1、吸水件2及安装件3，所述水箱组件1定位于所述放置层100，所述水箱组件1与所述吸水件2连接，所述水箱组件1用于给吸水件2提供润湿的水源。
33.所述吸水件2铺设于所述放置层100表面，所述安装件3定位于所述放置层100，且所述安装件3盖合于所述吸水件2表面，也即所述安装件3架设在放置层100上，安装件3设于吸水件2的顶部。
34.所述安装件3靠近所述吸水件2一侧的表面上设有至少一个定位部31，每一所述定位部31定位晶圆拋光盘，当所述安装件3定位于所述放置层100时，晶圆拋光盘压合于吸水件2表面。
35.晶圆抛光盘需要放置在放置层100时，需要先定位到定位部31上，然后将安装件3扣合在放置层100上，同时，基于安装件3与吸水件2的相对位置，使得晶圆拋光盘压合在吸水件2的表面，基于吸水件2吸收的水源，使得晶圆拋光盘放置在放置层100的过程中，始终保持与吸水件2的压合接触，以通过吸水件2含有的水源，保持晶圆拋光盘在该侧面的湿润状态。
36.可以理解，在晶圆拋光盘的细磨工序中，只需要针对晶圆拋光盘的单侧面进行研磨，故在本方案的润湿方式，只需要保持晶圆拋光盘在待研磨表面侧的湿润状态即可，不需要将晶圆拋光盘的整体进行润湿，而不需要研磨的一侧就可以固定在安装件3中。
37.可以理解，在本实施例中，所述定位部31为所述安装件3表面的凹陷结构，晶圆拋光盘可以扣合在定位部31上预紧。或在一些其他实施例中，定位部31可以设置为夹爪的结构，用于夹持固定晶圆抛光盘。只要可以将晶圆抛光盘定位在定位部31即可，在此不再赘述。当晶圆拋光盘定位于所述定位部31时，所述晶圆拋光盘凸起于所述安装件3的表面，使得安装件3覆盖于吸水件2的状态下，晶圆抛光盘的表面可以实现压合在吸水件2上的效果，确保晶圆抛光盘的表面与吸水件2接触和润湿效果。
38.请继续结合图2和图3，所述水箱组件1包括水箱11及输水管12，所述水箱11与所述吸水件2相邻设置，所述输水管12与所述水箱11连通，所述输水管12嵌入所述吸水件2内部，所述输水管12向所述吸水件2内部输出液体。
39.可以理解，所述吸水件2可以选用吸水性能好的海绵，输水管12嵌入到吸水件2的内部，使得输出的液体可以直接被吸水件2直接吸收，水箱输出的液体可以选用清水或研磨液，在本实施例中，输出的液体为清水。
40.所述输水管12的表面开设有多个输水孔，多个输水孔等间距设置在输水管12表面，以通过输水管12的多个不同位置的输水孔，让吸水件2在多个不同的位置吸收水分，保持吸水件2在多个位置水分的均匀性，保持晶圆抛光盘表面润湿更均匀。
41.可以理解，所述水箱组件1还包括水泵13，所述水泵13设于所述水箱11及所述输水管12之间，用于驱动液体流动，同时设置阀体开关以控制输水管12的输出。
42.进一步地，所述输水管12呈环形设置，输水管12首尾相连，只通过输水孔向外排水，且所述输水管12的数量为2个、3个或者多个，多个所述输水管12呈环形同轴铺设于放置层100上，使得多个输水管12上的多个输水孔均匀分布在吸水件2内部的不同位置，进一步提高吸水件2每个区域的润湿效果。
43.请继续参阅图2，所述放置层100表面设有多个凸起的安装块4，多个所述安装块4环设于所述安装件3的外周侧，所述安装件3扣合于所述安装块4，安装块4的设置位置基于安装件3的结构进行调整，例如，在本实施例中，安装件3为圆盘结构，安装块4的数量可以选为三个，三个安装块4设置在安装件3外圆结构的三个位置，用于扣合安装件3。
44.可以理解，所述安装块4用于实现安装件3的可拆卸连接的同时，安装块4顶起安装件3，使得安装件3下部与吸水件2相邻。
45.请参阅图4，所述水箱11远离所述吸水件2一侧设有观察部111，所述观察部111为透明材质，便于用户通过观察部111观察水箱11内的水位。
46.请继续参阅图1，在本实施例中，所述放置层100的数量为多个，多个所述放置层100依次设置，也即在同一个转运移载车架上设置多个放置层100。同时，位于最底部的放置层100的底面连接有移动轮101，用于移动车架。
47.与现有技术相比，本发明提供的一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架具有以下有益效果：
48.通过在转运晶圆的转运车架上设置吸水件、水箱，利用晶圆单面研磨的特性，将晶圆抛光盘一侧固定在安装件上，另一侧则贴附压合吸水件，使得晶圆抛光盘在转移过程中可以立即进行润湿处理，不需要额外设置润湿处理的针对性设备，减少晶圆生产的设备要求，降低生产设备的成本。同时，通过在转运车架上设置吸水件给晶圆抛光盘润湿，使得晶圆抛光盘的转运和润湿两个工序结合在一起同步进行，提高了晶圆生产的效率。进一步地，本方案在转运车架上增设吸水件和水箱组件，通过简单的结构件安装即可实现晶圆抛光盘的转运和润湿同步进行，便于安装和维护，特别是可以针对现有的转运车架进行改装即可，不需要重新设计和采购新设备，使用门槛低，降低使用成本，便于推广。再进一步地，通过安装件定位晶圆抛光盘，使得晶圆抛光盘在研磨过程中可以将安装件作为基准定位，不需要拆除，便于晶圆研磨的自动化生产，提高定位精度。
49.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。