专利名称：擦拭清扫装置和擦拭清扫方法
技术领域：
本发明涉及擦拭清扫装置和擦拭清扫方法。
背景技术：
以往，在液晶显示装置等的制造中，为了提高针对形成于玻璃基板的边缘部的端子部安装IC(Integrated Circuit :集成电路)芯片、配线基板等的安装工序中的质量和成品率，在该安装工序之前采用以除去附着于玻璃基板的端子形成面的异物为目的的清扫工序。作为在这样的清扫工序中所使用的清扫装置，已知使用带状的长条片材进行擦拭清扫的装置。例如，在专利文献I中公开了如下清扫装置其一边使作为被处理体的平板前进一边对该平板的两面供给清洗液，以通过一对压辊从表里两侧夹着该平板的方式将研扫带(长条片材)按压到该平板的表面，并且使这些研扫带在与平板的前进方向相反的方向行进，使按压到该平板的单面的研扫带进一步在横向往复移动而同时研扫平板的两面。并且记载了 由此，能以短时间高度地将平板的两面研扫得平坦且洁净。
_4] 现有技术文献 _5] 专利文献专利文献I :特开2001-62696号公报
发明内容
发明要解决的问题但是，在如上述的清扫装置中使用清洗液擦拭清扫，因此被清扫的基板表面为湿润状态，有可能在向安装工序等下一工序中搬运的中途漂浮异物再次附着。在异物再次附着于基板的端子形成面的情况下，在安装于该端子形成面的IC芯片、配线基板与基板上的端子之间产生连接不良，制造成品率下降。因此，为了防止异物向基板表面的再次附着，考虑到在使用清洗液进行了擦拭清扫后擦拭该基板表面的湿气，但是当与使用清洗液的擦拭异物用的片材分开地将湿气擦拭用的片材追加到清扫装置时，需要这2个片材，因此运行成本增加。本发明是鉴于这样的方面而完成的，其目的在于能以低成本防止异物向被处理体的再次附着。用于解决问题的方案为了达成上述目的，本发明在利用浸溃有清洗液的长条片材擦拭附着于被处理体的异物后利用处于干燥状态的上述长条片材擦拭擦拭异物后的被处理体的湿气。具体地，本发明以如下擦拭清扫装置为对象，采取后面的技术方案，该擦拭清扫装置具备搬运单元，其沿着搬运路径将被处理体搬运到清扫作业位置；片材供给单元，其设于上述搬运路径侧方的上方，供给带状的长条片材；第I按压头，其在上述清扫作业位置的搬运路径上方能上下运动地靠近配置，通过向下方移动将从上述片材供给单元供给的长条片材按压到上述搬运单元上的被处理体；以及清洗液供给单元，其在上述第I按压头附近对上述长条片材浸溃地供给清洗液，在进行上述被处理体的向搬运方向的移动和上述第I 按压头的向上述被处理体的搬运方向的反方向的移动中的至少一方的动作的过程中，使浸溃有上述清洗液的长条片材以规定按压力在上述被处理体上滑动，由此擦拭附着于该被处理体的异物。S卩，第I发明的特征在于，具备第2按压头，其相对于上述第I按压头在上述被处理体的搬运方向下游侧能上下运动地并设，通过向下方移动将上述长条片材按压到上述被处理体；片材反转单元，其以上述长条片材的被上述第I按压头向上述被处理体按压的按压面和被上述第2按压头向上述被处理体按压的按压面为相反面的方式使上述长条片材反转，构成为在进行上述被处理体的向搬运方向的移动和上述第2按压头的向上述被处理体的搬运方向的反方向的移动中的至少一方的动作的过程中，使由上述清洗液供给单元供给清洗液前的干燥状态的上述长条片材或者使经过上述第I按压头而使浸溃的清洗液干燥后的状态的上述长条片材以规定按压力在上述被处理体上滑动，由此擦拭该被处理体的湿气。第2发明在第I发明中，其特征在于，上述长条片材包括表面粗糙度在一面和另一面不同的布，构成为利用表面粗糙度小的一方的长条片材面擦拭附着于上述被处理体的异物，利用表面粗糙度大的一方的长条片材面擦拭上述被处理体的湿气。第3发明在第I发明或者第2发明中，其特征在于，在上述第I按压头和第2按压头上，以从头上部依次经过头顶端部和头下部输送的方式缠绕有上述长条片材，上述片材反转单元具备设于上述第I按压头后侧的第I反转导辊和设于上述第2按压头后侧的第2 反转导辊，该第I反转导辊和第2反转导辊配置成相互的间隔朝向上述搬运单元侧扩大的八字状，构成为利用该第I反转导辊和第2反转导辊使上述长条片材从上述第I按压头和第2按压头中的一方反转而架设到另一方。第4发明在第I至第3发明中的任一发明中，其特征在于，上述片材供给单元、第 I按压头、清洗液供给单元、第2按压头以及片材反转单元还以相对于上述清扫作业位置的上述搬运单元上的被处理体呈对称的方式设于上述搬运单元的下方。另外，本发明也以擦拭附着于被处理体的异物的擦拭清扫方法为对象。S卩，第5发明的特征在于，在擦拭清扫方法中，使从片材供给单元供给的带状的长条片材依次架设到第I按压头和第2按压头，使上述长条片材架设到上述第I按压头并且对该长条片材浸溃地供给清洗液，利用上述第I按压头将浸溃有该清洗液的长条片材按压到上述被处理体并使其滑动，由此擦拭附着于该被处理体的异物，利用上述第2按压头将供给上述清洗液前的干燥状态的长条片材按压到擦拭异物后的上述被处理体并使其滑动， 由此擦拭该被处理体的湿气。第6发明在第5发明中，其特征在于，当经过上述第2按压头的长条片材架设到上述第I按压头时，以上述长条片材的被上述第I按压头向上述被处理体按压的按压面和被上述第2按压头向上述被处理体按压的按压面为相反面的方式使上述长条片材反转。另外，第7发明的特征在于，在擦拭清扫方法中，使从片材供给单元供给的带状的长条片材依次架设到第I按压头和第2按压头，使上述长条片材架设到上述第I按压头并且对该长条片材浸溃地供给清洗液，利用上述第I按压头将浸溃有该清洗液的长条片材按压到上述被处理体并使其滑动，由此擦拭附着于该被处理体的异物，使经过上述第I按压头的长条片材反转并且干燥，利用上述第2按压头将反转的干燥状态的上述长条片材按压到擦拭异物后的上述被处理体并使其滑动，由此擦拭该被处理体的湿气。一作用一接着，对本发明的作用进行说明。根据第I至第7发明，利用第I按压头将浸溃有清洗液的长条片材按压到被处理体并使其滑动，由此擦拭清扫附着于该被处理体的异物，接着，利用第2按压头将干燥状态的长条片材按压到擦拭异物后的处于湿润状态的被处理体并使其滑动，由此擦拭该被处理体的湿气，因此可防止在向该清扫工序后的下一工序中搬运被处理体的中途漂浮异物再次附着于该被处理体。而且，利用I条长条片材对被处理体连续进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭，因此与分开地准备擦拭异物用的片材和湿气擦拭用的片材的情况相比， 可减少运行成本。因此，能以低成本防止异物向被处理体的再次附着。此外，根据第I发明，利用片材反转单元使长条片材的被第I按压头向被处理体按压的按压面和被第2按压头向被处理体按压的按压面为相反面，由此，长条片材的一面和另一面在使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭中被分开使用，因此能利用I条长条片材对被处理体良好地进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭。S卩，在利用第2按压头将供给清洗液前的干燥状态的长条片材按压到被处理体并使其滑动的情况下，长条片材在经过第2按压头后被输送到第I按压头。在该情况下，即使利用第2按压头用长条片材将利用第I按压头用长条片材没有擦拭掉的异物与湿气一起擦拭，由于该长条片材之后被输送到第I按压头而擦拭异物时，该长条片材的异物擦拭面是反转后的未使用面，因此利用第2按压头被长条片材先擦拭的异物不会转印、再次附着到被处理体。另一方面，在利用第2按压头将经过第I按压头而使浸溃的清洗液已干燥的状态的长条片材按压到被处理体并使其滑动的情况下，长条片材在经过第I按压头后被输送到第2按压头。在该情况下，当利用第2按压头用长条片材擦拭湿气时，该长条片材的湿气擦拭面是反转后的未使用面，因此利用第I按压头被长条片材先擦拭的异物不会转印、再次附着到被处理体。因此，无论哪种情况，均可利用I条长条片材对被处理体良好地进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭。根据第2发明，利用表面粗糙度小的一方的长条片材面擦拭附着于被处理体的异物，因此清洗液也渗透到例如端子图案等微细的台阶，能高质量地擦拭清扫被处理体。而且，当擦拭异物的长条片材面的表面粗糙度小时，长条片材面与被处理体表面之间的摩擦阻力比较高，不过，该摩擦阻力由于长条片材浸溃清洗液而减小。因此，用长条片材擦拭附着于被处理体的异物，由此可防止被处理体从规定位置偏移以及被处理体表面损伤，并且可减少由于该摩擦而引起的静电的产生。另外，用表面粗糙度大的一方的长条片材面擦拭被处理体的湿气，因此，即使是干燥状态，该长条片材面与被处理体表面的摩擦阻力也比较低，可防止被处理体从规定位置偏移以及被处理体表面损伤，并且可减少由于该摩擦而引起的静电的产生。根据第3发明，片材反转单元以采用一对导辊的简单的构成实现，因此能简化擦拭清扫装置的构成。但是，附着于被处理体的里面的异物在将安装部件安装于被处理体的表面的情况下与其连接没有直接关联，但是安装部件向被处理体表面的安装是支撑其里面而进行的， 因此有可能被处理体和安装部件的平行度产生误差，安装部件与被处理体连接不良。与此相对，根据第4发明，能在被处理体的表面和里面的两面并行地连续进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭，因此能有效地擦拭清扫被处理体的两面。由此，可防止如下情况由于异物附着于被处理体的里面，支撑被处理体里面而进行的安装部件的安装之际对安装部件的连接带来不良影响，能更可靠地在被处理体表面连接安装部件。而且， 具有相对于清扫作业位置的搬运单元上的被处理体在上方和下方对称的同样构成，所以能以简单的构成实现擦拭清扫装置。根据第6发明，利用第I按压头使长条片材的与被第2按压头向被处理体按压的按压面相反一侧的面在被处理体上滑动，由此即使利用第2按压头用长条片材将利用第I 按压头用长条片材没有擦拭的异物与湿气一起擦拭，当该长条片材之后被输送到第I按压头而用一面擦拭异物时，该擦拭异物面是反转后的未使用面。因此，被长条片材的另一面擦拭的异物不会转印、再次附着到被处理体，可利用I条长条片材对被处理体良好地进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭。根据第7发明，也利用第2按压头使经过第I按压头后反转并且使清洗液已干燥的状态的长条片材在被处理体上滑动，由此当用长条片材的一面擦拭湿气时，该湿气擦拭面是反转后的未使用面。因此，在长条片材的另一面擦拭的异物不会转印、再次附着到被处理体，可利用I条长条片材对被处理体良好地进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭。发明效果根据本发明，在利用浸溃有清洗液的长条片材擦拭附着于被处理体的异物后，利用处于干燥状态的上述长条片材对擦拭异物后的被处理体的湿气进行擦拭，所以能以低成本防止异物向被处理体的再次附着。由此，在擦拭清扫例如显示面板的端子部的情况下， 能实现安装于显示面板的IC芯片、配线基板等安装部件与面板端子部的良好连接，其结果是，能使显示装置的制造成品率提高。
图I是概略性地示出实施方式I的擦拭清扫装置的立体图。图2是示出实施方式I的擦拭清扫装置的擦拭清扫动作的放大立体图。图3是概略性地示出使用擦拭清扫装置清扫的液晶显示面板的立体图。图4是概略性地示出使用擦拭清扫装置制造的液晶显示装置的立体图。图5是概略性地示出实施方式2的擦拭清扫装置的立体图。
具体实施例方式下面，基于附图详细说明本发明的实施方式。此外，本发明并不限于下面的各实施方式。《发明的实施方式I》本实施方式的擦拭清扫装置是用片材擦拭、清扫附着于例如液晶显示面板、有机 EL(ElectroLuminescence :电致发光)显示面板、等离子体显示面板等显示面板、配线基板等板状的被处理体中的端子部的粒子等异物的装置。在本实施方式中，作为被处理体列举在边缘部的一边侧形成有端子部的液晶显示面板为例进行说明。<液晶显示面板的构成>图3中示出液晶显示面板P的整体立体图。液晶显示面板P具有将设有TFT (Thin Film Transistor :薄膜晶体管)等的TFT 基板I和设有彩色滤光片等的彩色滤光片基板2隔着封入液晶层3的框状的密封材料4而贴合的结构。TFT基板I的边缘部的一边侧比彩色滤光片基板2更突出，该突出部分构成端子部(下面也称为面板端子部)U。该面板端子部It的彩色滤光片基板2侧的表面为端子形成面，省略图示，但用于连接到IC芯片和配线基板的多个端子露出到外部地形成于该端子形成面。<擦拭清扫装置的概略构成>图I中示出本实施方式的擦拭清扫装置S的整体立体图。擦拭清扫装置S具备一边保持一边搬运液晶显示面板(下面仅称为显示面板)P 的搬运单元；以及擦拭清扫搬运单元上的显示面板P的端子部It的擦拭清扫单元15。<搬运单元的构成>搬运单元具备搬运工作台10，其以端子部It在擦拭清扫单元15侧伸出的方式将端子形成面设为上侧而载置显示面板P;水平移动机构(未图示)，其使搬运工作台10沿着搬运路径(下面称为工作台搬运路径)水平移动；以及升降移动机构(未图示)，其使搬运工作台10升降移动。搬运工作台10在上表面形成有与真空泵等真空抽吸单元连接的多个吸附口(未图示)，构成为通过真空抽吸单元的驱动来吸附保持所载置的显示面板P。该搬运工作台 10能与水平移动机构及升降移动机构进行装卸，可根据显示面板P的尺寸采用适当大小的搬运工作台10。水平移动机构构成为能使载置于上表面的显示面板P沿着与端子部It的伸出方向(下面称为端子部伸出方向)正交的搬运方向移动，使得伸出到搬运工作台10外侧的端子部It通过擦拭清扫单元15的清扫作业位置(与后述的第I按压头或者第2按压头重叠的位置)。图I中的箭头5示出搬运工作台10的移动方向、即显示面板P的搬运方向(下面称为面板搬运方向)。另一方面，升降移动机构构成为根据保持于搬运工作台10上的显示面板P的端子部It (TFT基板I)的厚度，将其高度位置相对于擦拭清扫单元15调节到规定位置。<擦拭清扫单元15的概略构成>擦拭清扫单元15在清扫作业位置靠近工作台搬运路径的侧方而设置，包括擦拭清扫显示面板P的端子部It表面的表面清扫机构20A ;以及擦拭清扫显示面板P的端子部 It里面的里面清扫机构20B。<表面清扫机构20A的构成>表面清扫机构20A整体上设于工作台搬运路径侧方的上方，具备靠近清扫作业位置的工作台搬运路径的上方而配置的第I按压头23和第2按压头25 ;设于第2按压头25 的后侧上方的输送滚筒21 ;设于第I按压头23的后侧上方的卷取滚筒22 ;设于第I按压头 23与卷取滚筒22之间的第I反转导辊26a ;在第2按压头25的后侧设于输送滚筒21的下方的第2反转导棍26b ;设于输送滚筒21与第2反转导棍26b之间的多个第I导棍27 ;以及在第I按压头23的后侧设于卷取滚筒22的下方的第2导辊28。输送滚筒21和卷取滚筒22构成供给带状的长条片材6的片材供给单元。输送滚筒21被保持为卷绕有未使用的长条片材6的状态，其旋转轴处于与面板搬运方向平行的方向，输送长条片材6。卷取滚筒22被保持为使旋转轴和输送滚筒21平行，以能卷取从输送滚筒21被输送后经过第I按压头23和第2按压头25的使用完的长条片材6。长条片材6是用所谓的斜纺、混纺等技法编织的具有液体浸溃性的织布，网纹的粗糙度在一面和另一面不同。由此，长条片材6的网纹细的一面(图I中空白表面)的表面粗糙度比网纹粗的另一面(图I中斜线表面)的表面粗糙度小。此外，长条片材6是织布，但可以是编入合成纤维的纺布、无纺布等布，只要是具有液体浸溃性的片材即可。第I按压头23和第2按压头25以其顶端部朝向工作台搬运路径侧的方式在面板搬运方向并设，第I按压头23设于面板搬运方向上游侧，第2按压头25设于面板搬运方向下游侧。而且，第I按压头23和第2按压头25构成为分别独立地上下运动，在面板端子部 It的清扫作业前配置于从与清扫作业位置的搬运工作台10上的显示面板P的端子部It表面相同的高度位置向上方离开的初始位置。并且，第I按压头23和第2按压头25通过向下方移动以规定按压力将长条片材6按压到面板端子部U。在这些第I按压头23和第2按压头25的上部构成有两侧面向上方突出而限制长条片材6的片材宽度方向的偏移的一对导片(图2所示的)23g、25g。另外，在第I按压头 23的侧部连接着作为将清洗液浸溃地供给长条片材6的清洗液供给单元的清洗液供给喷嘴24。该清洗液供给喷嘴24将有机溶剂、液态臭氧作为清洗液对第I按压头23供给。 在该第I按压头23的上表面23s形成排出口 23h，排出口 23h使从清洗液供给喷嘴24供给的清洗液通过形成于该头内部的流路朝向长条片材6排出。并且，针对通过第I按压头 23的上表面23s的长条片材6，利用清洗液供给喷嘴24，使有机溶剂从与面板端子部It的接触面侧的相反面侧浸溃到与面板端子部It的接触面侧而进行供给。在此，当使用乙醇、 IPA(Isopropyl Alcohol :异丙醇)等有机溶剂作为清洗液时，不仅面板端子部It上的尘埃、玻璃片，而且在附着有油脂的情况下也能有效地除去。第I反转导辊26a和第2反转导辊26b构成片材反转单元26，片材反转单元26 以长条片材6的与被第2按压头25向面板端子部It按压的按压面相反的一侧的面为被第 I按压头23向面板端子部It按压的按压面的方式使长条片材6反转。这些第I反转导辊 26a和第2反转导辊26b配置成相互的间隔朝向工作台搬运路径侧扩大的八字状。并且，从输送滚筒21输送的长条片材6通过各第I导辊27以在保持规定张力的状态下架设到第2按压头25的方式被缠绕。在第2按压头25上，长条片材6以从头上部依次经过头顶端部和头下部而被输送的方式、且表面粗糙度小的一方的长条片材面为外侧面、即向面板端子部It按压的按压面的方式与端子部伸出方向平行地被缠绕。缠绕于第2 按压头25而向头后方折回的长条片材6以在使被第2按压头23向面板端子部It按压的按压面朝向上侧的状态下架设到第I反转导辊26a的方式缠绕到第2反转导辊26b。从第 2反转导辊26b缠绕到第I反转导辊26a的长条片材6以使其上侧面和下侧面反转而架设到第I按压头23的方式被缠绕。长条片材6以从头上部依次经过头顶端部和头下部而被输送的方式、且以利用片材反转单元26而反转的表面粗糙度大的一方的长条片材面为外侧面(向面板端子部It按压的按压面)的方式与端子部伸出方向平行地被缠绕在第I按压头23上。被缠绕于第I按压头23而向头后方折回的长条片材6通过第2导辊28以在保持规定张力的状态下卷取到卷取滚筒22的方式被卷回。<表面清扫机构20A的动作>在上述构成的表面清扫机构20A中，使输送滚筒21和卷取滚筒22驱动，由此，长条片材6依次经过各第I导辊27和第2按压头25而被输送，接着依次经过第2反转导辊 26b和第I反转导辊26a而被输送，在该过程中，一面和另一面反转，然后，依次经过第I按压头23和第2导辊28而被输送，以卷取到卷取滚筒22的方式行进。此外，在图I中，输送滚筒21、卷取滚筒22、导辊26a、26b、27、28侧方的箭头示出各自的旋转方向。并且，在利用搬运使搬运工作台10上的显示面板P通过清扫作业位置的过程中，在如上所述使长条片材 6行进的状态下使第I按压头23向下方移动，将浸溃有清洗液的长条片材6的一面(表面粗糙度小的一方的面)按压到面板端子部It并使其滑动，由此擦拭该面板端子部It表面的异物。而且，使第2按压头25向下方移动，将供给清洗液前的片材行进方向上游侧的处于干燥状态的长条片材6的另一面(表面粗糙度大的一方的面)按压到擦拭异物后的面板端子部It表面并使其滑动，由此擦拭该面板端子部It表面的湿气。<里面清扫机构20B的构成、动作>里面清扫机构20B整体上设于工作台搬运路径侧方的下方，具备与表面清扫机构 20A同样的输送滚筒21、卷取滚筒22、第I按压头23、清洗液供给喷嘴24、第2按压头25、 片材反转单元26 (第I反转导辊26a和第2反转导辊26b)、第I导辊27以及第2导辊28， 它们以相对于清扫作业位置的搬运工作台10上的显示面板P在上方和下方对称于表面清扫机构20A的方式设置。在此，对里面清扫机构20B的与表面清扫机构20A相同的要素在图I中标注相同附图标记，省略其说明。在这样的构成的里面清扫机构20B中，在利用搬运使搬运工作台10上的显示面板 P通过清扫作业位置的过程中，与表面清扫机构20A同步地在使长条片材6行进的状态下使第I按压头23向上方移动，将浸溃有清洗液的长条片材6的一面(表面粗糙度小的一方的面)按压到面板端子部It并使其滑动，由此擦拭该面板端子部It里面的异物。而且，使第 2按压头25向上方移动，将供给清洗液前的片材行进方向上游侧的处于干燥状态的长条片材6的另一面(表面粗糙度大的一方的面)按压到擦拭异物后的面板端子部It表面并使其滑动，由此擦拭该面板端子部It里面的湿气。一清扫方法一接着，一边参照图I和图2 —边对使用上述擦拭清扫装置S擦拭清扫显示面板P 的端子部It的方法进行说明。图2是示出擦拭清扫装置S的擦拭清扫动作的立体图。此外，在图2中省略里面清扫机构20B的构成。另外，图2中的长条片材6上的箭头示出片材行进方向。首先，利用搬运机器人等，如图I所示，在位于面板搬运方向上游侧的初始位置的状态下的搬运工作台10上，以端子部It伸出到擦拭清扫单元15侧的方式载置作为被处理体的显示面板P，然后，使连接到该搬运工作台10的真空抽吸单元驱动，由此从各吸附口排出搬运工作台10与显示面板P之间的空气，使显示面板P吸附保持于搬运工作台10表面。在该阶段，输送滚筒21和卷取滚筒22不驱动，长条片材6不是行进状态。接着，驱动升降移动机构，由此根据面板端子部It的厚度将搬运工作台10上的显示面板P的高度位置调整到规定位置。与此同时，驱动水平移动机构，由此将保持于搬运工作台10上的显示面板P搬运到其端子部It与各第I按压头23重叠的清扫作业位置。然后，当各第I按压头23位于伸出到搬运工作台10外侧的面板端子部It的搬运方向上游侧的端部上下时，在两清扫机构20A、20B中，使输送滚筒21和卷取滚筒22驱动， 由此使长条片材6以依次架设到第2按压头25和第I按压头23的方式行进。利用该片材行进动作，从输送滚筒21被输送的长条片材6在清洗液供给前的干燥状态下架设到第2按压头25，在经过第2按压头25后架设到第I按压头23，此时，利用片材反转单元26使其一面和另一面反转而架设到第I按压头23，并且在该头上表面23s或者头下表面浸溃地供给清洗液，在经过第I按压头23后被卷取到卷取滚筒22。另外，此时，使表面清扫机构20A的第I按压头23向下方移动，与此同步地使里面清扫机构20B的第I按压头23向上方移动。由此，利用两第I按压头23夹着面板端子部 It在其表面和里面分别按压浸溃有清洗液的长条片材6。在这样将行进状态的长条片材6 按压到面板端子部It的两面的状态下，接着驱动水平移动机构，由此沿着搬运路径进一步搬运搬运工作台10上的显示面板P，使第I按压头23沿着面板端子部U。在该过程中，使浸溃有清洗液的长条片材6的一面(表面粗糙度小的一方的面)在面板端子部It的两面滑动，由此擦拭该面板端子部It两面的异物。而且，当各第2按压头25位于擦拭异物后的面板端子部It部分的上下时，如图2 所示，使表面清扫机构20A的第2按压头25向下方移动，与此同步地使里面清扫机构20B 的第2按压头25向上方移动。由此，利用两第2按压头25夹着面板端子部It在其表面和里面按压供给清洗液前的处于干燥状态的长条片材6。并且，在将行进状态的长条片材6按压到面板端子部It的两面的状态下，各第2按压头25也与各第I按压头23 —起在其面板搬运方向下游侧沿着面板端子部U。在该过程中，使供给清洗液前的处于干燥状态的长条片材6的另一面(表面粗糙度大的一方的面)在擦拭异物后的处于湿润状态的面板端子部 It的两面滑动，由此擦拭该面板端子部It两面的湿气。这样，当面板端子部It通过清扫作业位置时，在该面板端子部It的表面和里面并行地依次连续地进行异物的擦拭和湿气的擦拭。并且，当面板端子部It通过了清扫作业位置时，在两清扫机构20A、20B中，使输送滚筒21和卷取滚筒22的驱动停止，停止片材行进动作，并且当面板端子部It通过了时使第I按压头23和第2按压头25时分别向上方移动或者向下方移动到初始位置。然后，利用水平移动机构的驱动，将搬运工作台10上的显示面板P搬运到面板分离位置(图I中双点划线所示的位置)，然后，解除搬运工作台10的各吸附口对显示面板P 的吸附，由此从搬运工作台10表面分离显示面板P。如上所述，能擦拭清扫显示面板P的端子部U。然后，将这样擦拭清扫的显示面板 P搬运到安装工序中，针对该面板端子部It安装IC芯片51和配线基板52等安装部件，由此能制造图4所示的液晶显示装置50。一实施方式I的效果一根据该实施方式1，利用第I按压头23将浸溃有清洗液的长条片材6按压到面板
11端子部It并使其滑动，由此擦拭清扫附着于该面板端子部It的两面的异物，接着利用第2 按压头25将供给清洗液前的处于干燥状态的长条片材6按压到擦拭异物后的处于湿润状态的面板端子部It并使其滑动，由此擦拭该面板端子部It的两面的湿气，在面板端子部It 的表面和里面并行地连续进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭，因此能有效地擦拭清扫面板端子部It的两面。并且，能抑制在向清扫工序后的下一工序中搬运显示面板P的中途漂浮异物再次附着于该面板端子部It的两面。并且，利用片材反转单元26使长条片材6的被第I按压头23向面板端子部It按压的按压面和被第2按压头25向面板端子部It按压的按压面成为相反面，由此，长条片材 6的一面和另一面在使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭中被分开使用。由此，即使利用第2按压头25用长条片材6将利用第I按压头23用长条片材6没有擦拭掉的异物与湿气一起擦拭，但当该长条片材6之后被输送到第I按压头23而擦拭异物时，该长条片材6的异物擦拭面是反转后的未使用面，因此不会利用第2按压头25将被长条片材6先擦拭的异物转印到面板端子部It而再次附着。因此，能各利用I条长条片材6在面板端子部It的表面和里面良好地进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭。而且，当擦拭清扫面板端子部It时，利用表面粗糙度小的一方的长条片材面擦拭附着于面板端子部It的异物，因此在端子图案的微细的台阶也浸透清洗液，能高质量地擦拭清扫端子形成面(端子部It表面)。而且，因为擦拭异物的长条片材面的表面粗糙度小， 所以长条片材面与面板端子部It之间的摩擦阻力比较高，但该摩擦阻力由于长条片材6 浸溃清洗液而降低。因此，用长条片材6擦拭附着于面板端子部It的异物，由此能防止显示面板P从规定位置偏移以及端子形成面损伤，并且能减少由于该摩擦而引起的静电的产生。另外，用表面粗糙度大的一方的长条片材面擦拭面板端子部It的湿气，因此，即使是干燥状态，该长条片材面和面板端子部It的摩擦阻力也比较低，能防止显示面板P从规定位置偏移以及端子形成面损伤，并且能减少由于该摩擦而引起的静电的产生。并且，该实施方式I的擦拭清扫装置S的片材反转单元26以一对导辊26a、26b的简单的构成实现，因此能简化擦拭清扫装置S的构成。而且，具有相对于清扫作业位置的搬运工作台10上的显示面板P在上方和下方呈对称的同样的构成，所以能以简单的构成实现擦拭清扫装置S。综上，能以简单的构成良好地擦拭清扫显示面板P的端子部It的两面，且也能抑制异物向该擦拭清扫后的面板端子部It的再次附着。因此，能抑制如下情况由于在安装于显示面板P的IC芯片51、配线基板52等安装部件与面板端子部It之间夹着异物、以及异物附着于面板端子部It的里面，当支撑显示面板P里面而进行安装部件51、52的安装时对安装部件51、52的连接带来不良影响，能实现安装部件51、52向面板端子部It的良好连接。其结果是，能提高液晶显示装置50的制造成品率。《发明的实施方式2》图5是本实施方式的擦拭清扫装置S的整体立体图。此外，下面对与图I至图4 相同的部分标注相同附图标记，省略其详细说明。在上述实施方式I中，长条片材6以从第2按压头25输送到第I按压头23的方式缠绕，利用第2按压头25使供给清洗液前的处于干燥状态的长条片材6在擦拭异物后的面板端子部It滑动，由此擦拭该面板端子部It的湿气，但在本实施方式中，长条片材6以
12从第I按压头23输送到第2按压头25的方式缠绕，利用第2按压头25使在经过第I按压头23后已干燥的状态的长条片材6在擦拭异物后的面板端子部It滑动，由此擦拭该面板端子部It的湿气。该擦拭清扫装置S在第I按压头23和第2按压头25的后侧分别具备空气喷嘴 40。该空气喷嘴40构成为其顶端的吹出口以与第I按压头23和第2按压头25之间的行进路径中途的长条片材6表面、例如由第I按压头23向面板端子部It按压的按压面朝向上侧的部分相对的方式配置，当长条片材6从第I按压头23输送到第2按压头25时，对该长条片材6吹出压缩空气而使清洗液干燥。一清扫方法一接着，对使用上述擦拭清扫装置S擦拭清扫显示面板P的端子部It的方法进行说明。首先，与上述实施方式I同样，使显示面板P吸附保持于在面板搬运方向上游侧的初始位置配置的状态下的搬运工作台10表面，接着驱动升降移动机构和水平移动机构，由此根据面板端子部It的厚度将搬运工作台10上的显示面板P的高度位置调整到规定位置，并且对保持于搬运工作台10上的显示面板P以其端子部It通过清扫作业位置的方式进行搬运。并且，面板端子部It在通过清扫作业位置的过程中，当各第I按压头23位于伸出到搬运工作台10外侧的面板端子部It的搬运方向上游侧的端部上下时，在两清扫机构 10A.20B中，使输送滚筒21和卷取滚筒22驱动，由此使长条片材6以依次架设到第I按压头25和第2按压头23的方式行进。利用该片材行进动作，从输送滚筒21被输送的长条片材6架设到第I按压头23，并且在该头上表面23s或者头下表面浸溃地供给清洗液，当在经过第I按压头23后架设到第2按压头25时，利用片材反转单元26使其一面和另一面反转，并且利用空气喷嘴40的压缩空气的吹出而使清洗液干燥，在经过第2按压头25后被卷取到卷取滚筒22。另外，此时使各第I按压头23驱动(向下方移动或者向下方移动)，由此利用两第I按压头23夹着面板端子部It将长条片材6按压到其表面和里面。而且，当各第2按压头25位于面板端子部It的搬运方向上游侧的端部上下时，使这些各第2按压头25驱动(向下方移动或者向上方移动)，由此由两第2按压头25夹着面板端子部It而将清洗液干燥后的长条片材6按压到其表面和里面。这样，在显示面板P的搬运过程中，使浸溃有清洗液的长条片材6的一面(表面粗糙度小的一方的面)在面板端子部It两面滑动，由此擦拭该面板端子部It两面的异物，接着使干燥状态的长条片材6的另一面(表面粗糙度大的一方的面)在擦拭异物后的处于湿润状态的面板端子部It两面滑动，由此擦拭该面板端子部It两面的湿气。然后，与上述实施方式I同样，在两清扫机构20A、20B中，使输送滚筒21和卷取滚筒22的驱动停止，停止片材行进动作，并且使第I按压头23和第2按压头25分别移动到初始位置。并且，利用水平移动机构的驱动将搬运工作台10上的显示面板P搬运到面板分离位置(图5中双点划线所示的位置)，解除搬运工作台10的各吸附口对显示面板P的吸附，由此从搬运工作台10表面分离显示面板P。如上所述，能擦拭清扫显示面板P的端子部lt，然后，将显示面板P搬运到安装工序中，针对该面板端子部It安装IC芯片51和配线基板52等安装部件，由此能制造图4所示的液晶显示装置50。一实施方式2的效果一根据该实施方式2，长条片材6在经过第I按压头23后被输送到第2按压头25， 但当从第I按压头23架设到第2按压头25时，长条片材6的清洗液是干燥的，所以能利用第2按压头25使干燥状态的长条片材6在擦拭异物后的面板端子部It滑动，能擦拭该面板端子部It的湿气。并且，利用片材反转单元26分开使用长条片材6的一面和另一面而进行使用清洗液的异物的擦拭和湿气的擦拭，因此当利用第2按压头25用长条片材6擦拭湿气时，该长条片材6的湿气擦拭面是反转后的未使用面，利用第I按压头23用长条片材6先擦拭的异物不会转印、再次附着到面板端子部U。因此，能利用各I条长条片材6有效地擦拭清扫面板端子部It的表面和里面，能防止在向清扫工序后的下一工序搬运显示面板P的中途漂浮异物再次附着于该面板端子部U。因此，能得到与上述实施方式I同样的效果，能使液晶显不装置50的制造成品率提闻。《其它的实施方式》在上述实施方式I中构成为具备片材反转单元26，长条片材6当从第2按压头 25架设到第I按压头23时反转，但本发明不限于此，可以不具备片材反转单元26，长条片材6的被第I按压头23向面板端子部It按压的按压面和被第2按压头25向面板端子部 It按压的按压面为相同面。即使这样构成，也能利用浸溃有清洗液的长条片材6擦拭清扫附着于该面板端子部It的异物，接着利用干燥状态的长条片材6擦拭擦拭异物后的面板端子部It的湿气，因此能抑制在向该清扫工序后的下一工序搬运显示面板P的中途漂浮异物再次附着于该面板端子部U。在上述各实施方式中，在搬运搬运工作台10上的显示面板P的过程中，进行附着于面板端子部It的异物的擦拭和擦拭异物后的面板端子部It的湿气的擦拭，但本发明不限于此。例如，擦拭清扫单元15可以构成为能使第I按压头23和第2按压头25在面板搬运方向的反方向一体地移动，在使这些第I按压头23和第2按压头25移动的过程中针对面板端子部It进行异物的擦拭和湿气的擦拭。而且，可以在进行显示面板P向搬运方向的移动和第I按压头23和第2按压头25向面板搬运方向的反方向的移动两者的过程中，针对面板端子部It进行异物的擦拭和湿气的擦拭。在上述各实施方式中，片材反转单元26包括第I反转导辊26a和第2反转导辊 26b，但本发明不限于此，片材反转单元26只要构成为以长条片材6的被第I按压头23向面板端子部It按压的按压面和被第2按压头25向面板端子部It按压的按压面为相反面的方式使长条片材6反转即可。例如，片材反转单元26可以包括设于第I按压头23或者第2按压头25的后侧的I个反转导辊，在第I按压头23或者第2按压头25与反转导辊之间的片材行进路径上长条片材6扭转而进行反转。如果这样构成，能以I个导辊构成片材反转单元26，因此能进一步简化擦拭清扫装置S的构成而紧凑地形成。在上述各实施方式中，列举具备搬运工作台10作为搬运单元的构成为例进行说明，但本发明不限于此，搬运单元可以包括多个搬运辊，多个搬运辊通过一边在上下夹着显示面板P —边旋转而保持显示面板P，能采用具有一边支撑显示面板P —边搬运的臂的搬运机构等公知的搬运单元。
在上述各实施方式中，擦拭清扫单元15具备表面清扫机构20A和里面清扫机构 20B，但本发明不限于此，可以仅包括表面清扫机构A和里面清扫机构B中的一方。例如，擦拭清扫单元15可以构成为仅包括表面清扫机构20A，仅擦拭清扫面板端子部It的表面。 另外，也可以在擦拭清扫面板端子部It的表面后使显示面板P的表面和里面反转，接着擦拭清扫面板端子部It的里面。工业h的可利用件如上所述，本发明对于擦拭清扫装置和擦拭清扫方法有用，特别是适合于期望以低成本抑制异物向被处理体的再次附着的擦拭清扫装置和擦拭清扫方法。附医I标记说明
S擦拭清扫装置
P液晶显示面板(被处理体)
5被处理体的搬运方向
6长条片材
10搬运工作台(搬运单元)
21输送滚筒(片材供给单元)
22卷取滚筒(片材供给单元)
23第I按压头
24清洗液供给喷嘴(清洗液供给单元)
25第2按压头
26片材反转单元
26a第I反转导辊
26b第2反转导辊
权利要求
1.一种擦拭清扫装置，其特征在于，具备搬运单元，其沿着搬运路径将被处理体搬运到清扫作业位置；片材供给单元，其设于上述搬运路径侧方的上方，供给带状的长条片材；第I按压头，其在上述清扫作业位置的搬运路径上方能上下运动地靠近配置，通过向下方移动将从上述片材供给单元供给的长条片材按压到上述搬运单元上的被处理体；以及清洗液供给单元，其在上述第I按压头附近对上述长条片材浸溃地供给清洗液，在进行上述被处理体的向搬运方向的移动和上述第I按压头的向上述被处理体的搬运方向的反方向的移动中的至少一方的动作的过程中，使浸溃有上述清洗液的长条片材以规定按压力在上述被处理体上滑动，由此擦拭附着于该被处理体的异物，上述擦拭清扫装置具备第2按压头，其相对于上述第I按压头在上述被处理体的搬运方向下游侧能上下运动地并设，通过向下方移动将上述长条片材按压到上述被处理体；以及片材反转单元，其以上述长条片材的被上述第I按压头向上述被处理体按压的按压面和被上述第2按压头向上述被处理体按压的按压面为相反面的方式使上述长条片材反转， 构成为在进行上述被处理体的向搬运方向的移动和上述第2按压头的向上述被处理体的搬运方向的反方向的移动中的至少一方的动作的过程中，使由上述清洗液供给单元供给清洗液前的干燥状态的上述长条片材或者经过上述第I按压头而使浸溃的清洗液已干燥的状态的上述长条片材以规定按压力在上述被处理体上滑动，由此擦拭该被处理体的湿气。
2.根据权利要求I所述的擦拭清扫装置，其特征在于，上述长条片材包括表面粗糙度在一面和另一面不同的布，构成为利用表面粗糙度小的一方的长条片材面擦拭附着于上述被处理体的异物，利用表面粗糙度大的一方的长条片材面擦拭上述被处理体的湿气。
3.根据权利要求I或2所述的擦拭清扫装置，其特征在于，在上述第I按压头和第2按压头上，以从头上部依次经过头顶端部和头下部输送的方式缠绕有上述长条片材，上述片材反转单元具备设于上述第I按压头后侧的第I反转导辊和设于上述第2按压头后侧的第2反转导辊，该第I反转导辊和第2反转导辊配置成相互的间隔朝向上述搬运单元侧扩大的八字状，构成为利用该第I反转导辊和第2反转导辊使上述长条片材从上述第I按压头和第2按压头中的一方反转而架设到另一方。
4.根据权利要求I至3中的任一项所述的擦拭清扫装置，其特征在于，上述片材供给单元、第I按压头、清洗液供给单元、第2按压头以及片材反转单元还以相对于上述清扫作业位置的上述搬运单元上的被处理体呈对称的方式设于上述搬运单元的下方。
5.一种擦拭清扫方法，其特征在于，使从片材供给单元供给的带状的长条片材依次架设到第2按压头和第I按压头，使上述长条片材架设到上述第I按压头并且对该长条片材浸溃地供给清洗液，利用上述第I按压头将浸溃有该清洗液的长条片材按压到上述被处理体并使其滑动，由此擦拭附着于该被处理体的异物，利用上述第2按压头将供给上述清洗液前的干燥状态的长条片材按压到擦拭异物后的上述被处理体并使其滑动，由此擦拭该被处理体的湿气。
6.根据权利要求5所述的擦拭清扫方法，其特征在于，当经过上述第2按压头的长条片材架设到上述第I按压头时，以上述长条片材的被上述第I按压头向上述被处理体按压的按压面和被上述第2按压头向上述被处理体按压的按压面为相反面的方式使上述长条片材反转。
7.一种擦拭清扫方法，其特征在于，使从片材供给单元供给的带状的长条片材依次架设到第I按压头和第2按压头，使上述长条片材架设到上述第I按压头并且对该长条片材浸溃地供给清洗液，利用上述第I按压头将浸溃有该清洗液的长条片材按压到上述被处理体并使其滑动，由此擦拭附着于该被处理体的异物，使经过上述第I按压头的长条片材反转并且干燥，利用上述第2按压头将反转的干燥状态的上述长条片材按压到擦拭异物后的上述被处理体并使其滑动，由此擦拭该被处理体的湿气。
全文摘要
具备第2按压头，其相对于第1按压头在显示面板的搬运方向下游侧能上下运动地并设，通过向下方移动将长条片材按压到面板端子部；以及片材反转单元，其以长条片材的被第1按压头向面板端子部按压的按压面和被第2按压头向面板端子部按压的按压面为相反面的方式使长条片材反转，构成为在进行显示面板的向搬运方向的移动的过程中，使由清洗液供给喷嘴供给清洗液前的干燥状态的长条片材以规定按压力在面板端子部上滑动，由此擦拭面板端子部的湿气。
文档编号B65H5/00GK102596434SQ20108004909
公开日2012年7月18日 申请日期2010年7月8日 优先权日2009年11月4日
发明者增田幸则 申请人:夏普株式会社