本发明的一个方式涉及输送系统以及输送方法。
背景技术：
例如作为应用于半导体制造工厂的输送系统，公知有具备轨道、沿着轨道行驶且至少相对于工作站输送被输送物的多个输送车；以及与多个输送车分别进行通信且控制多个输送车各自的动作的控制器的输送系统(例如，参照专利文献1)。
专利文献1:日本专利第5309814号公报
在上述那样的输送系统中，当存在从工作站取得被输送物的装货请求的情况下，控制器针对输送车分配与装货请求对应的输送指令。这里，从提高被输送物相对于工作站的输送效率的观点考虑，控制器在新检测到比被分配了输送指令的输送车先抵达工作站且处于能够被分配输送指令的状况的另外的输送车的情况下，有时进行如下指令交换处理：在针对先前被分配了输送指令的输送车发送将输送指令削除的削除指令，然后针对新检测到的输送车新分配输送指令。
然而，在指令交换处理中，存在先前被分配了输送指令的输送车无法接收到削除指令的情况。或者，存在即便输送车针对控制器发送接收到了削除指令的旨意的响应，控制器也无法接收到该响应的情况。在这样的情况下，控制器无法掌握是否处于针对先前被分配了输送指令的输送车分配有输送指令的状态，无法向先抵达工作站的输送车分配输送指令。
技术实现要素：
因此，本发明的一个方式的目的在于，提供一种能够针对先抵达工作站的适当的输送车分配输送指令的输送系统以及输送方法。
本发明的一个方式的输送系统具备：轨道；多个输送车，上述输送车沿着轨道行驶，至少相对于工作站输送被输送物；以及控制器，其与多个输送车分别进行通信，控制多个输送车各自的动作，控制器构成为：当存在从工作站取得被输送物的装货请求的情况下，在检测到处于能够被分配与装货请求对应的输送指令的状况、且存在于距工作站不足第1距离的范围的输送车时，针对该输送车分配朝向目的地点行驶的行驶指令，其中，上述目的地点是工作站的上游侧的位置，且被设定为在该位置与工作站之间未新出现处于能够被分配输送指令的状况的输送车的地点，当在针对被分配了行驶指令的输送车分配输送指令前新检测到处于能够被分配输送指令的状况、且存在于距工作站不足第1距离的范围的另外的输送车时，针对新检测到的输送车分配行驶指令，针对被分配了行驶指令的输送车中的最先通过目的地点的输送车，分配输送指令。
在该输送系统中，当存在从工作站取得被输送物的装货请求的情况下，针对处于能够被分配与装货请求对应的输送指令的状况、且存在于距工作站不足第1距离的范围的多个输送车，重复地分配向目的地点行驶的行驶指令。这里，目的地点是工作站的上游侧的位置，且是在该位置与工作站之间未新出现处于能够被分配输送指令的状况的输送车的地点。而且，针对被分配了行驶指令的输送车中的最先通过目的地点的输送车，分配输送指令。由此，能够与到工作站为止的距离对应地向更加适当的输送车分配输送指令。由此，能够针对先抵达工作站的适当的输送车分配输送指令。
在本发明的一个方式的输送系统中，优选，目的地点是轨道的处于工作站的上游侧的合流点中的最接近工作站的合流点。在该情况下，从通过这样的合流点起到工作站为止，不会更换输送车的顺序，因此能够针对最适当的输送车分配输送指令。
在本发明的一个方式的输送系统中，优选，控制器构成为：在检测到处于能够被分配输送指令的状况、且最接近工作站的输送车时，针对该输送车分配行驶指令，在针对多个输送车分配了行驶指令的情况下，针对多个该输送车中的除最接近工作站的输送车外的其他输送车发送将行驶指令削除的削除指令。在该情况下，能够抑制未被分配输送指令的输送车的不必要的行驶。
在本发明的一个方式的输送系统中，优选，控制器在针对多个输送车分配了行驶指令的情况下，对多个该输送车各自的状态进行监视，当检测到状态满足削除条件的输送车时，针对该输送车发送将行驶指令削除的削除指令。在该情况下，能够抑制未被分配输送指令的输送车的不必要的行驶。
在本发明的一个方式的输送系统中，优选，被分配了行驶指令的输送车在到达与目的地点相距第2距离的抵达紧前地点时，将抵达紧前报告向控制器发送，控制器在从输送车接收到抵达紧前报告时，针对该输送车分配输送指令。在该情况下，能够针对输送车适当地分配输送指令。
在本发明的一个方式的输送系统中，优选，目的地点是轨道的处于工作站的上游侧的合流点中的最接近工作站的合流点，被分配了行驶指令的输送车在目的地点的上游侧，将请求通过目的地点的许可的通过许可请求向控制器发送，从输送车接收到通过许可请求的控制器，在该输送车处于能够通过目的地点的状况时，针对该输送车发送目的地点的通过许可，输送车在到达抵达紧前地点且接收到通过许可时，将抵达紧前报告向控制器发送。在该情况下，例如在实施对多个输送车通过合流点的顺序进行调整的控制时，能够针对先通过合流点的输送车分配优先度较高的输送指令。
在本发明的一个方式的输送系统中，优选，控制器在针对仅1台输送车分配了行驶指令的情况下，在尽管该输送车到达了抵达紧前地点但未从该输送车接收到抵达紧前报告时，针对另外的至少1台输送车新分配行驶指令。在该情况下，即便无法在输送车与控制器之间正确地进行通信，也能够继续进行输送处理。
本发明的一个方式的输送方法在具备轨道、沿着轨道行驶且至少相对于工作站输送被输送物的多个输送车、以及与多个输送车分别进行通信且控制多个输送车各自的动作的控制器的输送系统中被实施，在上述输送方法中包括第1步骤、第2步骤和第3步骤，当存在从工作站取得被输送物的装货请求的情况下，在上述第1步骤中，控制器在检测到处于能够被分配与装货请求对应的输送指令的状况、且存在于距工作站不足第1距离的范围的输送车时，针对该输送车分配朝向目的地点行驶的行驶指令，其中，上述目的地点是工作站的上游侧的位置，且被设定为在该位置与工作站之间未新出现处于能够被分配输送指令的状况的输送车的地点；在上述第2步骤中，控制器在针对被分配了行驶指令的输送车分配输送指令前新检测到处于能够被分配输送指令的状况、且存在于距工作站不足第1距离的范围的另外的输送车时，针对新检测到的输送车分配行驶指令；在上述第3步骤中，控制器针对被分配了行驶指令的输送车中的最先通过目的地点的输送车分配输送指令。
根据该输送方法，能够与上述输送系统相同地针对先抵达工作站的适当的输送车分配输送指令。
根据本发明的一个方式，能够针对先抵达工作站的适当的输送车分配输送指令。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式的输送系统的一部分的俯视图。
图2是用于对图1的输送系统的第1输送处理进行说明的俯视图。
图3是用于对图1的输送系统的第1输送处理进行说明的俯视图。
图4是用于对图1的输送系统的第1输送处理进行说明的俯视图。
图5是本发明的第2实施方式的输送系统的一部分的俯视图。
图6是用于对图5的输送系统的第2输送处理进行说明的俯视图。
图7是用于对图5的输送系统的第2输送处理进行说明的俯视图。
图8是用于对图5的输送系统的第2输送处理进行说明的俯视图。
图9是用于对图5的输送系统的第3输送处理进行说明的俯视图。
图10是用于对图5的输送系统的第3输送处理进行说明的序列图。
图11是用于对图5的输送系统的第3输送处理进行说明的俯视图。
图12是用于对图5的输送系统的第3输送处理进行说明的俯视图。
图13是用于对图5的输送系统的第3输送处理进行说明的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选的实施方式进行详细的说明。此外，在各图中对于相同或者相当的部分，标注相同的附图标记并省略重复的说明。
[第1实施方式]
如图1所示，输送系统1具备轨道10、顶棚输送车(输送车)20、以及控制器50。轨道10铺设于具备半导体处理装置110的半导体制造工厂的顶棚附近。顶棚输送车20为oht(overheadhoisttransfer：高架提升传送系统)，其以悬挂于轨道10的状态沿着轨道10单向地行驶。顶棚输送车20将收容有多个半导体晶圆的foup(frontopeningunifiedpod：晶圆传送盒)90作为被输送物来进行输送。控制器50与各顶棚输送车20进行通信并控制各顶棚输送车20的动作。
在轨道10的下方配置有多个工作站100。工作站100例如是设置于半导体处理装置110的装置端口。若在工作站100载置foup90，则收容于该foup90的半导体晶圆被收进半导体处理装置110。而且，该半导体晶圆在半导体处理装置110中被实施规定的处理后，再次收容于foup90。在图中，作为工作站100而示出了从轨道10的下游侧起依次配置的工作站100a、100b。
顶棚输送车20具有使foup90相对于工作站100移动载置的移动载置机构。移动载置机构例如由把持foup90的把持部和使把持部升降的升降机构构成。由此，顶棚输送车20在将要相对于工作站100移动载置foup90的位置停止，并在该状态下使移动载置机构执行动作，由此能够相对于该工作站100移动载置foup90。此外，foup90相对于工作站100的移动载置包括：将顶棚输送车20所保持(积载)的foup90向工作站100供给(卸货)的情况；和顶棚输送车20取得载置于工作站100的foup90(装货)的情况。
控制器50具有输送控制器50a和输送车控制器50b。输送控制器50a是相对于输送车控制器50b的上位控制器。输送控制器50a与输送车控制器50b以及制造控制器(未图示)进行通信。输送车控制器50b分别与输送控制器50a以及各顶棚输送车20进行通信。制造控制器与各半导体处理装置110进行通信，并针对输送控制器50a提出从各半导体处理装置110的工作站100取得foup90的装货请求。若输送控制器50a掌握装货请求的存在，则输送车控制器50b针对任一个顶棚输送车20分配与该装货请求对应的输送指令。
在第1实施方式的输送系统1中，实施以下说明的输送处理。作为一个例子，对在如下的状况下实施的第1输送处理进行说明。即，如图1所示，在配置于轨道10的下方的工作站100a，载置有应当由顶棚输送车20取得的foup90。
在这样的状况下，输送控制器50a掌握从工作站100a取得foup90的装货请求的存在。
输送车控制器50b检测到作为处于能够被分配与装货请求对应的输送指令的状况、且存在于距工作站100a不足第1距离的范围的顶棚输送车20的顶棚输送车20a。然后，输送车控制器50b针对顶棚输送车20a分配向目的地点11行驶的行驶指令(第1步骤)。此外，这里在靠工作站100b的上游侧且靠顶棚输送车20a的下游侧的位置，存在有正在对待相对于工作站100b卸货的foup90进行输送的顶棚输送车20b。
这里，处于能够被分配输送指令的状况的顶棚输送车20例如是处于未被分配用于从另外的工作站100取得foup90的行驶指令、输送指令等的状况(即为空置台车)的顶棚输送车20。另外，第1距离是预先设定的距离。
另外，目的地点11是工作站100a的上游侧的位置，且被设定为在该位置与工作站100a之间未新出现处于能够被分配输送指令的状况的顶棚输送车20的地点。换言之，即使在目的地点11与工作站100a之间存在作为空置台车的顶棚输送车20的情况下，输送车控制器50b也不会将该顶棚输送车20作为处于能够被分配输送指令的状况的新的顶棚输送车20而检测出来。在图中，目的地点11被设定于轨道10上的靠工作站100a的上游侧且靠工作站100b的下游侧的位置。
接着，如图2所示，顶棚输送车20b抵达工作站100b而向工作站100b供给foup90。由此，顶棚输送车20b成为能够被分配输送指令的状况。作为处于能够被分配输送指令的状况、且存在于距工作站100a不足第1距离的范围的另外的顶棚输送车20，输送车控制器50b在针对被分配了行驶指令的顶棚输送车20a分配输送指令前新检测到顶棚输送车20b。然后，输送车控制器50b针对顶棚输送车20b，与顶棚输送车20a重复地分配向目的地点11行驶的行驶指令(第2步骤)。
接着，如图3所示，输送车控制器50b针对被分配了行驶指令的顶棚输送车20中的最先通过目的地点11的顶棚输送车20(在图中，为顶棚输送车20b)分配输送指令(第3步骤)。
具体而言，被分配了行驶指令的顶棚输送车20a、20b在到达与目的地点11相距第2距离的抵达紧前地点时，将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送。在图中，顶棚输送车20b将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送。然后，输送车控制器50b在从顶棚输送车20b接收到抵达紧前报告时，针对顶棚输送车20b分配输送指令。
此外，第2距离是预先设定的距离。与目的地点11相距第2距离的范围所包含的区域被设定为比与工作站100相距第1距离的范围所包含的区域窄。
接着，如图4所示，顶棚输送车20b在轨道10上行驶至能够从工作站100a取得foup90的区域而停止，并通过使移动载置机构执行动作而从工作站100a取得foup90。由此，顶棚输送车20b完成从工作站100a取得foup90的输送指令。
与此相对地，顶棚输送车20a通过行驶至目的地点11，从而完成向目的地点11行驶的行驶指令，由此成为未被分配指令的状态(即，空置台车的状态)。
如以上说明的那样，对于第1实施方式所涉及的输送系统1以及在该输送系统1中实施的输送方法而言，当存在从工作站100a取得foup90的装货请求的情况下，针对处于能够被分配与装货请求对应的输送指令的状况、且存在于距工作站100a不足第1距离的范围的多个顶棚输送车20a、20b，重复地分配向目的地点11行驶的行驶指令。这里，目的地点11是工作站100a的上游侧的位置，且是在该位置与工作站100a之间未新出现处于能够被分配输送指令的状况的顶棚输送车20的地点。然后，针对被分配了行驶指令的顶棚输送车20a、20b中的最先通过目的地点11的顶棚输送车20b，分配输送指令。由此，能够与到工作站100a为止的距离对应地向更加适当的顶棚输送车20b分配输送指令。由此，能够对先抵达工作站100a的适当的顶棚输送车20b分配输送指令。
在输送系统1中，被分配了行驶指令的顶棚输送车20a、20b在到达与目的地点11相距第2距离的抵达紧前地点时，将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送，输送车控制器50b在从顶棚输送车20a、20b接收到抵达紧前报告时，针对该顶棚输送车20a、20b分配输送指令。因此，能够针对顶棚输送车20a、20b适当地分配输送指令。
[第2实施方式]
第2实施方式的输送系统1主要在轨道10的结构上与上述第1实施方式的输送系统1不同。即，轨道10具有相互合流、分支的多个区间。在图5中示出了轨道10中以包含合流点的方式构成的区间。轨道10构成为包括多个区间10a、10b、10c。轨道10具有区间10a以及区间10b合流的合流点12，在合流点12的下游侧具有区间10c。
在第2实施方式的输送系统1中，目的地点11是工作站100a的上游侧的轨道10的合流点中的最接近工作站100a的合流点12。即，这里目的地点11是上述的区间10a以及区间10b合流的合流点12。
区间10a以直线状与区间10c连接。区间10b从作为目的地点11的合流点12的近前拐弯并与区间10c连接。顶棚输送车20能够从区间10a通过合流点12而向区间10c行驶。另外，顶棚输送车20也能够从区间10b通过合流点12而向区间10c行驶。
在轨道10的下方配置有多个工作站100。在图中，工作站100a配置于区间10c的下方，工作站100b配置于区间10b的下方。
在第2实施方式所涉及的输送系统1中，实施以下说明的输送处理。作为一个例子，对在如下的状况下实施的第2输送处理进行说明。即，如图5所示，在配置于区间10c的下方的工作站100a载置有应当由顶棚输送车20取得的foup90。
在这样的状况下，输送控制器50a掌握存在从工作站100a取得foup90的装货请求的情况。
作为处于能够被分配与装货请求对应的输送指令的状况、且存在于距工作站100a不足第1距离的范围的顶棚输送车20，输送车控制器50b检测到顶棚输送车20a。然后，输送车控制器50b针对顶棚输送车20a，分配向作为目的地点11的合流点12行驶的行驶指令(第1步骤)。此外，这里顶棚输送车20a沿着区间10a行驶。另外，在区间10b中的工作站100b的上游侧，存在有正在对待相对于工作站100b卸货的foup90进行输送的顶棚输送车20b。
接着，如图6所示，顶棚输送车20b抵达工作站100b而向工作站100b供给foup90。由此，顶棚输送车20b成为能够被分配输送指令的状况。作为处于能够被分配输送指令的状况、且存在于距工作站100a不足第1距离的范围的另外的顶棚输送车20，输送车控制器50b在对被分配了行驶指令的顶棚输送车20a分配输送指令前新检测到顶棚输送车20b。而且，输送车控制器50b针对顶棚输送车20b，与顶棚输送车20a重复地分配向合流点12行驶的行驶指令(第2步骤)。
接着，如图7所示，输送车控制器50b针对被分配了行驶指令的顶棚输送车20中的最先通过合流点12的顶棚输送车20(在图中，为顶棚输送车20b)分配输送指令(第3步骤)。
具体而言，被分配了行驶指令的顶棚输送车20a、20b在到达与合流点12相距第2距离的抵达紧前地点时，将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送。在图中，顶棚输送车20b将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送。然后，输送车控制器50b在从顶棚输送车20b接收到抵达紧前报告时，针对顶棚输送车20b分配输送指令。
接着，如图8所示，顶棚输送车20b在区间10c上行驶至能够从工作站100a取得foup90的区域而停止，并通过使移动载置机构执行动作而从工作站100a取得foup90。由此，顶棚输送车20b完成从工作站100a取得foup90的输送指令。
与此相对地，顶棚输送车20a通过行驶至合流点12，从而完成向合流点12行驶的行驶指令，由此成为未被分配指令的状态(即，空置台车的状态)。
另外，在第2实施方式所涉及的输送系统1中，实施以下说明的输送处理。作为一个例子，对在如下的状况下实施的第3输送处理进行说明。即，如图9所示，在第3输送处理中，针对沿着不同区间10a、10b行驶的多个顶棚输送车20a、20b，实施对通过作为目的地点11的合流点12的顺序进行调整的控制亦即第1交叉点控制。这里，“通过合流点12”具体而言是指通过设定于合流点12的周围且禁止多个顶棚输送车20同时通过的锁定区域l。此外，这里存在装货请求的foup90为多个，在上述装货请求中预先设定有优先度。而且，如图9以及图10所示，在配置于区间10c的下方的工作站100a、100b，分别载置有应当由顶棚输送车20取得的foup90。
在这样的状况下，输送控制器50a掌握存在分别从工作站100a、100b取得foup90的装货请求的情况。
在载置于上述工作站100a、100b的foup90的装货请求中预先设定有优先度。这里，载置于工作站100a的foup90的装货请求的优先度比载置于工作站100b的foup90的装货请求的优先度高。即，多个顶棚输送车20需要先取得载置于工作站100a的foup90，之后取得载置于工作站100b的foup90。
在第1交叉点控制中，被分配了行驶指令的顶棚输送车20在锁定区域l的上游侧(即，合流点12的上游侧)将请求通过合流点12的许可的通过许可请求向输送车控制器50b发送。这里，顶棚输送车20a、20b在到达到目的地点11亦即合流点12为止的行驶所需的时间不足规定时间的位置时，将通过许可请求向输送车控制器50b发送。
这里，就顶棚输送车20a、20b到合流点12为止的行驶所需的时间不足规定时间的位置而言，若顶棚输送车20a、20b的行驶车速较高则包括距合流点12更长的距离的位置，反之若顶棚输送车20a、20b的行驶车速较低则仅包括距合流点12更近的距离的位置。
而且，从顶棚输送车20a、20b接收到通过许可请求的输送车控制器50b，在该顶棚输送车20a、20b处于能够通过合流点12的状况时，针对该顶棚输送车20a、20b发送合流点12的通过许可。具体而言，输送车控制器50b在未对其他顶棚输送车20发送合流点12的通过许可的情况下，针对该顶棚输送车20a、20b发送合流点12的通过许可。
然而，就在以直线状与区间10c连接的区间10a中行驶的顶棚输送车20a的行驶车速而言，比在从合流点12的近前拐弯且与区间10c连接的区间10b中行驶的顶棚输送车20b的行驶车速高。因此，顶棚输送车20a有时成为距合流点12的距离比顶棚输送车20b长的位置、且到合流点12为止的行驶所需的时间不足规定时间的位置。在该情况下，顶棚输送车20a比顶棚输送车20b先将合流点12的通过许可请求发送至输送车控制器50b，并从输送车控制器50b接收到合流点12的通过许可。
但是，由于顶棚输送车20b与顶棚输送车20a相比距合流点12的距离较短，因此，存在顶棚输送车20b比顶棚输送车20a先到达抵达紧前地点的情况。在该情况下，顶棚输送车20b比顶棚输送车20a先将抵达紧前报告发送至输送车控制器50b，从而被分配与优先度更高的载置于工作站100a的foup90的装货请求相对的输送指令。其结果是成为如下状态：针对未接收到合流点12的通过许可的顶棚输送车20b，分配了优先度更高的输送指令。另外，在该情况下，针对接收到合流点12的通过许可的顶棚输送车20a，分配优先度更低的输送指令。由此，顶棚输送车20b无法比顶棚输送车20a先通过合流点12，无法先实施优先度更高的输送指令。
与此相对地，在第3输送处理中，顶棚输送车20在到达抵达紧前地点且接收到合流点12的通过许可时，将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送。如图9以及图10所示，顶棚输送车20a在比顶棚输送车20b先到达到合流点12为止的行驶所需的时间不足规定时间的位置的情况下，比顶棚输送车20b先将合流点12的通过许可请求发送至输送车控制器50b(步骤s10)。与此相对地，输送车控制器50b针对顶棚输送车20a，发送合流点12的通过许可(步骤s11)。
接着，顶棚输送车20b到达到合流点12为止的行驶所需的时间不足规定时间的位置，并将合流点12的通过许可请求发送至输送车控制器50b(步骤s12)。但是，由于已经是针对顶棚输送车20a发送了合流点12的通过许可的状态，所以输送车控制器50b不对顶棚输送车20b发送合流点12的通过许可。
接着，顶棚输送车20a到达抵达紧前地点，将抵达紧前报告相对于输送车控制器50b发送(步骤s13)。即，顶棚输送车20a到达抵达紧前地点，且接收到合流点12的通过许可，因此将抵达紧前报告相对于输送车控制器50b发送。与此相对地，输送车控制器50b针对顶棚输送车20a，分配与优先度更高的载置于工作站100a的foup90的装货请求相对的输送指令(步骤s14)。
接着，如图10以及图11所示，接收到合流点12的通过许可的顶棚输送车20a通过合流点12而向工作站100a行驶。另一方面，未接收到合流点12的通过许可的顶棚输送车20b不通过合流点12，而在合流点12的上游侧待机直至顶棚输送车20a通过合流点12为止。
接着，在顶棚输送车20a通过合流点12后，顶棚输送车20b将合流点12的通过许可请求发送至输送车控制器50b(步骤s15)。例如，顶棚输送车20b也可以在被从输送车控制器50b通知顶棚输送车20a已经通过合流点12后，将合流点12的通过许可请求向输送车控制器50b发送，或者顶棚输送车20b也可以定期地反复将合流点12的通过许可请求向输送车控制器50b发送。与此相对地，输送车控制器50b针对顶棚输送车20b发送合流点12的通过许可(步骤s16)。
接着，顶棚输送车20b到达抵达紧前地点，将抵达紧前报告相对于输送车控制器50b发送(步骤s17)。即，顶棚输送车20b到达抵达紧前地点且接收到合流点12的通过许可，因此将抵达紧前报告相对于输送车控制器50b发送。与此相对地，输送车控制器50b针对顶棚输送车20b，分配与优先度更低的载置于工作站100b的foup90的装货请求相对的输送指令(步骤s18)。
接着，如图12所示，顶棚输送车20a在区间10c上行驶至能够从工作站100a取得foup90的区域而停止，并通过使移动载置机构执行动作而从工作站100a取得foup90。之后，顶棚输送车20b在区间10c上行驶至能够从工作站100b取得foup90的区域而停止，并通过使移动载置机构执行动作而从工作站100b取得foup90。
此外，在输送系统1中，在合流点12处，实施第2交叉点控制，即：使沿着优先方向的轨道行驶的多个顶棚输送车20先通过，使沿着不是优先方向的方向的轨道行驶的顶棚输送车20后通过。在该情况下，第3输送处理的实施起到特别好的效果。例如，如图13所示对如下情况进行说明：在配置于区间10c的下方的工作站100a、100b、100c分别配置有应当由顶棚输送车20取得的foup90，在各foup90的装货请求中预先设定有优先度。
这里，朝向合流点12，顶棚输送车20a、20b沿着区间10a行驶，顶棚输送车20c、20d、20e沿着区间10b行驶。此时，相对于顶棚输送车20a、20b、20d分配有行驶指令。这里，在顶棚输送车20a、20b、20d中的顶棚输送车20d位于到合流点12为止的行驶所需的时间不足规定时间的位置的情况下，在锁定区域l的上游侧，顶棚输送车20d第一个将合流点12的通过许可请求发送至输送车控制器50b。
但是，通过实施第2交叉点控制，从而输送车控制器50b使顶棚输送车20a、20b比顶棚输送车20d先通过。因此，顶棚输送车20d未处于能够通过合流点12的状况，由此输送车控制器50b即使在从顶棚输送车20d接收到通过许可请求的情况下，也不对顶棚输送车20d发送合流点12的通过许可。其结果是，能够针对先通过合流点12的顶棚输送车20a、20b，分配与优先度更高的载置于工作站100的foup90的装货请求相对的输送指令。
如以上说明的那样，对于第2实施方式所涉及的输送系统1以及在该输送系统1中实施的输送方法而言，例如图5所示，当存在从工作站100a取得foup90的装货请求的情况下，针对处于能够被分配与装货请求对应的输送指令的状况、且存在于距工作站100a不足第1距离的范围的多个顶棚输送车20a、20b，重复地分配向目的地点11亦即合流点12行驶的行驶指令。这里，目的地点11是工作站100a的上游侧的位置，且是在该位置与工作站100a之间未新出现处于能够被分配输送指令的状况的顶棚输送车20的地点。而且，针对被分配了行驶指令的多个顶棚输送车20a、20b中的最先通过合流点12的顶棚输送车20b，分配输送指令。由此，能够与到工作站100a为止的距离对应地，向更加适当的顶棚输送车20b分配输送指令。另外，通过使合流点12为目的地点11，能够调整通过合流点12的多个顶棚输送车20a、20b的顺序。由此，能够针对先抵达工作站100a的适当的顶棚输送车20b分配输送指令。
在输送系统1中，目的地点11是工作站100a的上游侧的轨道10的合流点中的最接近工作站100a的合流点12。在该情况下，从通过这样的合流点12起到工作站100a为止，不会更换顶棚输送车20a、20b的顺序，因此能够针对最适当的顶棚输送车20b分配输送指令。
在输送系统1中，被分配了行驶指令的顶棚输送车20a、20b在到达与合流点12相距第2距离的抵达紧前地点时，将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送，输送车控制器50b在从顶棚输送车20a、20b接收到抵达紧前报告时，针对该顶棚输送车20a、20b分配输送指令。因此，能够针对顶棚输送车20a、20b适当地分配输送指令。
在输送系统1中，目的地点11是工作站100a的上游侧的轨道10的合流点中的最接近工作站100a的合流点12，被分配了行驶指令的顶棚输送车20a、20b在合流点12的上游侧，将请求通过合流点12的许可的通过许可请求向输送车控制器50b发送。从顶棚输送车20a、20b接收到通过许可请求的输送车控制器50b在该顶棚输送车20a、20b处于能够通过合流点12的状况时，针对该顶棚输送车20a、20b发送合流点12的通过许可。顶棚输送车20a、20b在到达抵达紧前地点且接收到通过许可时，将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送。因此，在实施对多个顶棚输送车20a、20b通过合流点12的顺序进行调整的第1交叉点控制或者第2交叉点控制时，能够对先通过合流点12的顶棚输送车20分配优先度高的输送指令。
[输送系统1的削除处理]
在第1实施方式以及第2实施方式的输送系统1中，控制器50也可以对顶棚输送车20实施以下说明的削除处理。
作为削除处理的一个例子，对在如下的状况下实施的削除处理进行说明。即，在输送控制器50a掌握了存在从工作站100a取得foup90的装货请求的情况下，输送车控制器50b在检测到处于能够被分配输送指令的状况且最接近工作站100a的顶棚输送车20时，针对该顶棚输送车20分配行驶指令。其结果是，输送车控制器50b针对多个顶棚输送车20a、20b分配行驶指令。
在这样的状况下，输送车控制器50b在保持针对多个顶棚输送车20a、20b中的最接近工作站100a的顶棚输送车20b分配了行驶指令的状态下，针对与顶棚输送车20b相比到工作站100a较远的顶棚输送车20a，发送将行驶指令削除的削除指令。
如以上说明的那样，在第1实施方式以及第2实施方式所涉及的输送系统1的削除处理中，输送车控制器50b在检测到处于能够被分配输送指令的状况且最接近工作站100a的顶棚输送车20时，针对该顶棚输送车20分配行驶指令。而且，输送车控制器50b在针对多个顶棚输送车20a、20b分配了行驶指令的情况下，针对多个顶棚输送车20a、20b中的除最接近工作站100a的顶棚输送车20b外的其他顶棚输送车20a发送将行驶指令削除的削除指令。因此，能够抑制未被分配输送指令的顶棚输送车20a的不必要的行驶。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。
例如，目的地点11只要是工作站100的上游侧的位置，且是在该位置与工作站100之间未新出现处于能够被分配输送指令的状况的顶棚输送车20的地点即可，并不限定于上述实施方式中例示出的地点。
另外，当存在多个装货请求的情况下，也可以构成为输送车控制器50b在针对比装货请求的数量多的多个顶棚输送车20a、20b分配了行驶指令时，针对各顶棚输送车20中的、除与装货请求的数量相同的台数的顶棚输送车20中的可预料到先通过目的地点11的顶棚输送车20外的其他顶棚输送车20发送将行驶指令削除的削除指令。在该情况下，能够抑制未被分配输送指令的顶棚输送车20的不必要的行驶。
另外，在上述实施方式中，被分配了行驶指令的顶棚输送车20在到达与目的地点11相距第2距离的抵达紧前地点时，将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送，输送车控制器50b在从顶棚输送车20接收到抵达紧前报告时，针对该顶棚输送车20分配输送指令。但是，顶棚输送车20也可以不将抵达紧前报告向输送车控制器50b发送。在该情况下，输送车控制器50b优选为即使未从顶棚输送车20接收到抵达紧前报告，也对该顶棚输送车20分配输送指令。例如，输送车控制器50b也可以构成为对各顶棚输送车20的状态进行监视，当检测到被分配了行驶指令的顶棚输送车20到达了抵达紧前地点时，对该顶棚输送车20分配输送指令。
另外，输送系统1也可以不实施第1输送处理、第2输送处理以及第3输送处理的全部。即，输送系统1只要实施第1输送处理、第2输送处理以及第3输送处理中的至少一个输送处理即可。
另外，在上述实施方式中，输送车控制器50b也可以构成为在对比装货请求的数量多的多个顶棚输送车20分配了行驶指令的情况下，对各顶棚输送车20的状态进行监视，当检测到该状态满足削除条件的顶棚输送车20时，针对该顶棚输送车20发送将行驶指令削除的削除指令。削除条件是用于判断顶棚输送车20的行驶是否为不必要的条件，例如是基于从该顶棚输送车20到目的地点11的距离或者该顶棚输送车20的行驶持续时间等来决定的条件。在该情况下，能够抑制未被分配输送指令的顶棚输送车20的不必要的行驶。
另外，在上述实施方式中，输送车控制器50b也可以构成为在针对仅1台顶棚输送车20分配了行驶指令的情况下，尽管该顶棚输送车20抵达了抵达紧前地点但未从该顶棚输送车20接收到抵达紧前报告时，针对另外的至少1台顶棚输送车20新分配行驶指令。在该情况下，即便无法在顶棚输送车20与输送车控制器50b之间正确地进行通信，也能够继续进行输送处理。
另外，在上述实施方式中，本发明的输送系统1所输送的被输送物并不限定于收容有多个半导体晶圆的foup90，也可以是收容有玻璃晶圆、中间掩膜等的其他容器。另外，本发明的输送系统1并不限定于半导体制造工厂，也能够应用于其他的施设。
另外，在上述实施方式中，输送车控制器50b可以具有输送控制器50a所具有的功能的一部分或者全部，输送控制器50a可以具有输送车控制器50b所具有功能的一部分或者全部。或者，一个控制器50也可以具有输送控制器50a以及输送车控制器50b所具有的功能。
附图标记的说明
1...输送系统；10...轨道；11...目的地点；12...合流点；20、20a～20e...顶棚输送车(输送车)；50...控制器；90...foup(被输送物)；100、100a～100c...工作站。