一种靶材箱的制作方法

本实用新型涉及靶材运输的技术领域，尤其涉及一种靶材箱。

背景技术：

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

为防止靶材在运输或者储藏的过程中发生变形或者发生氧化，需要对靶材进行真空保护，在相关技术中，先将靶材盛装于真空薄膜中，并抽真空，再将该真空薄膜与靶材一同收纳于靶材箱中，达到防止靶材在运输过程中发生变形或者发生氧化的效果。

但是，这将造成对真空薄膜的浪费，且在运输或者储藏的过程中，若真空薄膜破裂，将造成靶材被氧化。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供一种靶材箱，以解决在运输过程中因真空薄膜破裂而造成靶材被氧化的问题。

为解决以上技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种靶材箱，所述靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；

所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还设置有透明的视窗，所述视窗用于观察所述靶材箱内的靶材。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还开设有第二气孔，用于向呈真空状态的所述靶材箱内通入气体，以便于打开所述靶材箱。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还设置有压力表，所述压力表用于指示所述靶材箱内的真空压力。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还穿设有可转动的螺丝杆，所述螺丝杆伸入所述靶材箱内的一端设置有弹性块，所述螺丝杆转动时带动所述弹性块在所述靶材箱内移动，以使弹性块能够对所述靶材箱内的靶材进行固定。

可选的，所述箱体的底部还设置有至少四个转动轮。

可选的，所述箱盖的顶部还设置有与所述至少四个转动轮一一匹配的至少四个凹槽，其中，在多个靶材箱叠放时，上方的靶材箱的转动轮卡设于下方的靶材箱的凹槽内。

可选的，所述靶材箱还包括：

设置于所述箱体和/或箱盖上的拉手。

可选的，所述箱体和所述箱盖通过转轴转动连接。

可选的，所述箱体和所述箱体上分别设置有匹配的锁止结构。

在本实用新型实施例中，通过设置带气孔的靶材箱，这样，在将靶材装入靶材箱之后，即可对靶材箱抽真空或者还可以在抽真空之后通入惰性气体，以使靶材在储存和整个运输过程中都处于稳定的无氧环境，避免氧气或者空气中的腐蚀气体氧化靶材。且靶材箱为密封的箱体结构，相较于相关技术中采用真空薄膜对靶材进行真空防护的结构，其结构可靠性更高，在运输或者存储过程中不易损坏。可见，本实用新型实施例能够解决现有技术中因真空薄膜容易破裂而导致靶材被氧化的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的靶材箱在闭合状态的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的靶材箱在打开状态的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请同时参阅图1至图2，其中，图1是本实用新型实施例提供的靶材箱在闭合状态的结构示意图；图2是本实用新型实施例提供的靶材箱在打开状态的结构示意图。该靶材箱100用于盛装靶材。如图2所示，靶材箱100包括箱体1和箱盖2，箱体1或箱盖2上开设有第一气孔11。

其中，箱体1与箱盖2可密封连接以形成收容靶材的收容空间，第一气孔11用于与真空泵连接，以对靶材箱100进行抽真空，或者，第一气孔11用于向处于预设真空度的靶材箱100内通入惰性气体。

在具体应用过程中，可以先通过与第一气孔11连通的真空泵对靶材箱100进行抽真空，当靶材箱100内的真空度达到预设真空度之后，在通过第一气孔11向靶材箱100内通入惰性气体。

另外，靶材箱100还可以包括设置于靶材箱100内的固定结构3，用于固定靶材，防止靶材在靶材箱100内发生移动。

如图1所示，本实施方式中，第一气孔11设置于箱盖2的顶部，当然，第一气孔11还可以设置于箱盖2的侧面或者箱体1上，在此不作具体限定。

另外，可以在箱盖2与箱体1之间夹设密封圈，在靶材箱100闭合时，可以形成上述密封连接结构。

需要说明的是，上述对靶材箱100进行抽真空，表示利用真空泵使靶材箱100达到工业真空状态，从而达到靶材的存储要求，防止大量氧气氧化靶材。

其中，在靶材箱100达到预设真空度之后，可以通过第一气孔11向该靶材箱100充入惰性气体，保持靶材箱100内外气压一致或者相近，避免过大的气压差损坏靶材箱100。

上述预设真空度可以根据靶材的种类、存储要求、需要存储时间等因素确定。

另外，惰性气体可以是氩气、氮气等不容易发生化学反应的气体。

而且，靶材箱100的箱体1和箱盖2可以采用铝合金、不锈钢等金属材料制成，从而使靶材箱100轻便且结构可靠。

通过设置带气孔的靶材箱，这样，在将靶材装入靶材箱之后，即可对靶材箱抽真空或者还可以在抽真空之后通入惰性气体，以使靶材在储存和整个运输过程中都处于稳定的无氧环境，避免氧气或者空气中的腐蚀气体氧化靶材。且靶材箱为密封的箱体结构，相较于相关技术中采用真空薄膜对靶材进行真空防护的结构，其结构可靠性更高，在运输或者存储过程中不易损坏。可见，本实用新型实施例能够解决现有技术中因真空薄膜容易破裂而导致靶材被氧化的问题。

可选的，如图1或图2所示，靶材箱100的箱体1和/或箱盖2上还设置有透明的视窗4，该视窗4用于观察靶材箱100内的靶材。

本实施方式中，视窗4为玻璃视窗，且设置于箱盖2的顶部，在具体应用过程中，视窗4还可以设置于靶材箱100的侧边，以便多个靶材箱叠放时，仍然能够查看靶材箱100内的靶材，在此不对视窗4设置于靶材箱100上的具体位置作限定。

需要说明的是，视窗4的周沿与箱盖2密封连接，以确保靶材箱100的密封性能。

当然，视窗4还可以是其他透明视窗，例如：透明塑料视窗。

这样，能够在不打开靶材箱的情况下，对靶材箱内的靶材进行查看，以便及时发现靶材发生损坏或者发生氧化的情况，及时采取防治措施。

可选的，如图1或图2所示，靶材箱100还包括连通收容空间与外界的第二气孔12，用于向呈真空状态的靶材箱100内通入气体，从而增加靶材箱100内的压强，以便于打开靶材箱100。

在靶材箱100完成抽真空之后，需要通过第二气孔12向靶材箱100内通入气体，该气体可以是空气，从而防止靶材箱100的内外压强过大而难以打开。

本实施例中。第二气孔12与第一气孔11间隔设置，并共同设置于箱盖2的顶部。当然，第一气孔11和第二气孔12可以是同一个气孔，并且，可以设置于箱体1或箱盖2上的其他任意位置。只需确保该气孔同时具备与真空泵连接以进行抽真空和向靶材箱100内通入气体的功能即可。

例如，设置一根与第一气孔11连通的管道，并在该管道上设置一个可开关的阀门，在向靶材箱100内通入气体或者抽真空的时候，打开阀门，通入气体或者抽真空完成后，关闭阀门，以隔绝收容空间与外界的气体流通，从而利用第一气孔11实现第二气孔12的功能。

其中，如图2所示，所述靶材箱100的箱体1和箱盖2上还可以设置有覆盖第一气孔11和第二气孔12的气孔罩13。

这样，该气孔罩可以防止靶材箱在运输过程中破坏第一气孔或第二气孔的密封性能，造成空气进入靶材箱，从而提升了靶材箱的结构可靠性。

可选的，如图1或图2所示，靶材箱100的箱体1或箱盖2上还设置有压力表5，该压力5表用于指示靶材箱100内的真空压力。

这样，通过查看压力表指示的数值便能够判断出靶材箱内的真空度是否满足要求，避免靶材箱内的真空度未达到靶材的存储要求，而造成靶材被氧化。

可选的，如图2所示，固定结构3包括可转动的穿设于箱体1或箱盖2上的螺丝杆31，螺丝杆31伸入靶材箱100内的一端设置有弹性块32，螺丝杆31转动时带动弹性块32在靶材箱100内移动，以使弹性块32能够对靶材箱100内的靶材进行固定。

在应用过程中，在将靶材放置于靶材箱100中之后，可以在靶材箱100外转动螺丝杆31，从而带动弹性块32抵接于靶材箱100内的靶材上，从而固定该靶材。

另外，该弹性块32可以是EVA(乙烯-醋酸乙烯共聚物)泡棉，也可以是弹簧、树脂块等其他弹性结构。

本实施方式中，靶材箱100上设置有四个弹性块32和分别与四个弹性块32连接的六个螺丝杆31，其中，四个螺丝杆31固定于箱盖2，以分别驱动两个弹性块32上下移动，从而抵接于靶材箱100内的靶材的上侧面，防止靶材上下移动，另外两个螺丝杆31固定于箱体1的相对两侧，以分别驱动两个弹性块32从相对两侧夹紧靶材。

穿设与箱盖2的两个螺丝杆31连接于同一个弹性块32的两侧，分别使这两个螺丝杆31转动不同角度，可以使弹性块32发生倾斜，从而可以用于固定不同形状的靶材。

这样，在运输过程中，靶材箱发生颠簸时，可以为靶材箱中的靶材提供缓冲，从而避免靶材受损。

可选的，如图1或图2所示，箱体1的底部还设置有至少四个转动轮6。

本实施例中，靶材箱100为长方体，四个转动轮6分别对称的设置于靶材箱100的四个角。

当然，靶材箱100还可以是圆柱体、棱柱体等其他形状，转动轮6的位置也可以根据靶材箱100的形状而设置于其他位置，只需确保通过转动轮6可以实现推动靶材箱100在地面移动。

其中，转动轮6可以是万向轮，能够实现沿多个方向转动，从而推动靶材箱100沿多个方向移动。

这样，可以在搬运靶材箱的过程中，通过转动轮实现轻松的推动靶材箱，从而节省人力。

可选的，如图1所示，箱盖2的顶部还设置有与至少四个转动轮6一一匹配的至少四个凹槽7，其中，在多个靶材箱叠放时，上方的靶材箱的转动轮6卡设于下方的靶材箱的凹槽7内。

本实施例中，凹槽7的侧壁突出于箱盖2设置，当然，还可以使箱盖2的顶部向下凹陷而形成该凹槽。

在应用过程中，多个靶材箱上下叠放时，上方的靶材箱的转动轮6卡设于下方的靶材箱的凹槽7内，且凹槽7能够收容转动轮6的三分之二体积。

这样，能够在多个靶材箱叠放时，防止转动轮转动而使叠设于上方的靶材箱发生位移，甚至发生高处跌落，从而增加了靶材箱的结构稳定性。

可选的，如图1所示，靶材箱100还包括设置于靶材箱100的相对两侧边的至少两个拉手8。

本实施例中，箱体1的相对两短侧边分别设置有两个拉手8，当然，该拉手8还可以设置与箱盖2上，或者设置于箱体1的相对两长侧边上。

这样，方便了搬运过程中，搬运人员通过拉手方便的搬运靶材箱。

可选的，靶材箱100还包括转轴(未图示)，该转轴(未图示)使箱盖2和箱体1转动连接，以呈现如图1所示的闭合状态或者如图2所示的打开状态。

这样，可以方便靶材箱的打开和关闭，在关闭靶材箱时，无需将分离的箱盖和箱体进行对齐等操作。

可选的，如图1所示，箱体1和箱盖2上分别设置有匹配的锁止结构9。

其中，该锁止结构9可以是蝴蝶锁，包括分别固定于箱盖2和箱体1的第一锁体91和第二锁体92，在靶材箱100关闭后，第一锁体91与第二锁体92配合，进行锁止，防止靶材箱100因运输过程中发生震动或者碰撞等而打开。

这样，在运输过程中，通过锁止结构，可以防止靶材箱因震动等因素而打开，提升靶材箱的结构可靠性。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。