单侧上下料半导体设备及其物料传送装置的制作方法

文档序号:19836480发布日期:2020-02-04 13:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于单侧上下料半导体设备的物料传送装置,其特征在于,包括:一个或多个物料存放位组件、一个或多个移动底座、物料移动机构、导轨组件、一个或多个物料取放位组件,其中,

所述移动底座用于承载物料;

所述物料存放位组件设置在所述导轨组件的一侧,用于承载所述移动底座;

所述物料移动机构,设置在所述导轨组件上,可沿所述导轨组件移动,其包括一个或多个第一牵引组件,所述第一牵引组件用于将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述物料移动机构上,还用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动回所述物料存放位组件上;

所述物料取放位组件设置在所述导轨组件的另一侧,用于承载所述移动底座,其包括一个或多个第二牵引组件,所述第二牵引组件用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动到所述物料取放位组件上,还用于将所述移动底座从物料取放位组件移动回所述物料移动机构上。

2.如权利要求1所述的物料传送装置,其特征在于,所述移动底座包括:移动座、承载件,其中,

所述移动座的底部设置有滑轮,所述移动底座通过所述滑轮移动;

所述承载件设置于所述移动座的上部,与所述移动座固定连接,用于承载所述物料。

3.如权利要求2所述的物料传送装置,其特征在于,所述物料移动机构还包括:底座、第一驱动部、一个或多个第一滑轨、一个或多个第一定位块,其中,

所述第一牵引组件、所述第一驱动部、所述第一滑轨均设置在所述底座上,所述底座与所述导轨组件滑动配合;

所述第一驱动部用于驱动所述底座在所述导轨组件上移动;

所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向相交,所述第一定位块一一对应地设置于所述第一滑轨的侧壁上,所述移动底座上对应地设置有定位槽,所述第一牵引组件将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述第一滑轨上,所述第一定位块及定位槽配合以定位所述移动底座。

4.如权利要求3所述的物料传送装置,其特征在于,所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向互相垂直。

5.如权利要求1至4的任一所述的物料传送装置,其特征在于,所述第一牵引组件和所述第二牵引组件均包括:第二驱动部、主动轮、从动轮、张紧轮、传动件、牵引销,其中,

所述第二驱动部与所述主动轮连接,用于驱动所述主动轮转动;

所述主动轮和所述从动轮间隔设置,所述传动件连接所述主动轮和所述从动轮,所述主动轮转动时,所述传动件随之转动并带动所述从动轮转动;

所述张紧轮设置在所述主动轮和所述从动轮之间,顶抵于所述传动件上,用于调整所述传动件的张紧度;

所述牵引销固定设置在所述传动件上,所述移动底座上设置有与所述牵引销配合的牵引块,通过所述传动件的转动,所述牵引销配合所述牵引块,使所述移动底座移动。

6.如权利要求3所述的物料传送装置,其特征在于,所述物料存放组件包括:支撑框架、第二滑轨、第二定位块,其中,

所述第二滑轨的延伸方向与所述第一滑轨的延伸方向相同,所述物料移动机构通过在所述导轨组件上移动可选择性地使所述第一滑轨与所述第二滑轨对齐;

所述第二定位块设置于所述第二滑轨的侧壁上,与所述移动底座上的所述定位槽的位置对应,所述第一牵引组件将所述移动底座从所述第一滑轨移动到所述第二滑轨上,所述第二定位块与所述定位槽配合以定位所述移动底座。

7.如权利要求3所述的物料传送装置,其特征在于,所述物料取放位组件包括支撑架、第三滑轨、第三定位块,其中,

所述第三滑轨的延伸方向与所述第一滑轨的延伸方向相同,所述物料移动机构通过在所述导轨组件上移动可选择性地使所述第一滑轨与所述第三滑轨对齐;

所述第三定位块设置于所述第三滑轨的侧壁上,与所述移动底座上的所述定位槽的位置对应,所述第二牵引组件将所述移动底座从所述第一滑轨到所述第三滑轨上,所述第三定位块与所述定位槽配合以定位于所述移动底座。

8.如权利要求3所述的物料传送装置,其特征在于,所述导轨组件包括支座、导轨、齿槽,其中,

所述导轨和所述齿槽均设置在所述支座上;

所述导轨上设置有滑动块,所述底座与所述滑动块固定连接;

所述第一驱动部包括与所述齿槽配合的齿轮,所述第一驱动部驱动所述齿轮转动,通过所述齿槽与所述齿轮的配合带动所述底座在所述导轨上移动。

9.如权利要求3、6、7中任一项所述的物料传送装置,其特征在于,所述移动座的底部还设置有导向轮,所述导向轮与所述第一滑轨、所述第二滑轨或所述第三滑轨配合,用于在所述移动底座移动时限制其移动的方向。

10.一种单侧上下料半导体设备,其特征在于,包括如权利要求1至9的任一所述的物料传送装置。

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