单侧上下料半导体设备及其物料传送装置的制作方法

本申请涉及半导体处理技术领域，具体而言，本申请涉及一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。

背景技术：

目前，随着国内半导体市场的持续火热以及市场对于相关产品的巨大需求，客户对于半导体设备的产能需求越来越高，同时对于成本要求也越来越高。而伴随着国内老龄化趋势越来越明显，人工成本也逐渐水涨船高。如何解决上述难题便摆在每个半导体设备供应商的面前。

目前，国内槽式清洗设备还普遍使用人工上下料，即由人工将承载有待清洗晶圆的花篮放置到清洗设备的上料位，待清洗完毕后再由人工从下料位将花篮取走。现阶段采用单个花篮或两个花篮较为普遍，花篮的清洗工艺时间一定，当清洗设备数量较多时操作人员需要在不同设备间频繁的进行上下料操作，若操作人员操作不及时，清洗设备就处于等待状态，从而影响清洗设备的清洗效率，而为了减少清洗设备的等待时间，就需配备更多的操作人员，但是人工成本又会大幅上升，导致经济效益较低。

技术实现要素：

本申请针对现有方式的缺点，提出一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置，用以解决现有技术存效率较低、人工成本较高及经济效益较低的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种用于单侧上下料半导体设备的物料传送装置，包括：一个或多个物料存放位组件、一个或多个移动底座、物料移动机构、导轨组件、一个或多个物料取放位组件，其中，所述移动底座用于承载物料；所述物料存放位组件设置在所述导轨组件的一侧，用于承载所述移动底座；所述物料移动机构，设置在所述导轨组件上，可沿所述导轨组件移动，其包括一个或多个第一牵引组件，所述第一牵引组件用于将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述物料移动机构上，还用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动回所述物料存放位组件上；所述物料取放位组件设置在所述导轨组件的另一侧，用于承载所述移动底座，其包括一个或多个第二牵引组件，所述第二牵引组件用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动到所述物料取放位组件上，还用于将所述移动底座从物料取放位组件移动回所述物料移动机构上。

于本申请的一实施例中，所述移动底座包括：移动座、承载件，其中，所述移动座的底部设置有滑轮，所述移动底座通过所述滑轮移动；所述承载件设置于所述移动座的上部，与所述移动座固定连接，用于承载所述物料。

于本申请的一实施例中，所述物料移动机构还包括：底座、第一驱动部、一个或多个第一滑轨、一个或多个第一定位块，其中，所述第一牵引组件、所述第一驱动部、所述第一滑轨均设置在所述底座上，所述底座与所述导轨组件滑动配合；所述第一驱动部用于驱动所述底座在所述导轨组件上移动；所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向相交，所述第一定位块一一对应地设置于所述第一滑轨的侧壁上，所述移动底座上对应地设置有定位槽，所述第一牵引组件将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述第一滑轨上，所述第一定位块及定位槽配合以定位所述移动底座。

于本申请的一实施例中，所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向互相垂直。

于本申请的一实施例中，所述第一牵引组件和所述第二牵引组件均包括：第二驱动部、主动轮、从动轮、张紧轮、传动件、牵引销，其中，所述第二驱动部与所述主动轮连接，用于驱动所述主动轮转动；所述主动轮和所述从动轮间隔设置，所述传动件连接所述主动轮和所述从动轮，所述主动轮转动时，所述传动件随之转动并带动所述从动轮转动；所述张紧轮设置在所述主动轮和所述从动轮之间，顶抵于所述传动件上，用于调整所述传动件的张紧度；所述牵引销固定设置在所述传动件上，所述移动底座上设置有与所述牵引销配合的牵引块，通过所述传动件的转动，所述牵引销配合所述牵引块，使所述移动底座移动。

于本申请的一实施例中，所述物料存放组件包括：支撑框架、第二滑轨、第二定位块，其中，所述第二滑轨的延伸方向与所述第一滑轨的延伸方向相同，所述物料移动机构通过在所述导轨组件上移动可选择性地使所述第一滑轨与所述第二滑轨对齐；所述第二定位块设置于所述第二滑轨的侧壁上，与所述移动底座上的所述定位槽的位置对应，所述第一牵引组件将所述移动底座从所述第一滑轨移动到所述第二滑轨上，所述第二定位块与所述定位槽配合以定位所述移动底座。

于本申请的一实施例中，所述物料取放位组件包括支撑架、第三滑轨、第三定位块，其中，所述第三滑轨的延伸方向与所述第一滑轨的延伸方向相同，所述物料移动机构通过在所述导轨组件上移动可选择性地使所述第一滑轨与所述第三滑轨对齐；所述第三定位块设置于所述第三滑轨的侧壁上，与所述移动底座上的所述定位槽的位置对应，所述第二牵引组件将所述移动底座从所述第一滑轨到所述第三滑轨上，所述第三定位块与所述定位槽配合以定位于所述移动底座。

于本申请的一实施例中，所述导轨组件包括支座、导轨、齿槽，其中，所述导轨和所述齿槽均设置在所述支座上；所述导轨上设置有滑动块，所述底座与所述滑动块固定连接；所述第一驱动部包括与所述齿槽配合的齿轮，所述第一驱动部驱动所述齿轮转动，通过所述齿槽与所述齿轮的配合带动所述底座在所述导轨上移动。

于本申请的一实施例中，所述移动座的底部还设置有导向轮，所述导向轮与所述第一滑轨、所述第二滑轨或所述第三滑轨配合，用于在所述移动底座移动时限制其移动的方向。

第二个方面，本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备，包括如第一个方面提供的物料传送装置。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：

本申请实施例通过将导轨组件设置于单侧上下料半导体设备的上下料端，然后在导轨组件的两侧设置物料存放位组件及物料取放位组件，并且在导轨组件上设置有物料移动机构，通过第一牵引组件及第二在牵引组件实现移动底座的移动，由此实现了物料在工艺过程中的自动上下料的操作，从而可以有效提高单侧上下料半导体设备的效率，大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间；并且由于导轨组件的一侧可以存放多个移动底座，因此可以有效降低操作人员的配备，从而不仅可以有效降低人工成本，而且还可以进一步提高工作效率。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例提供的物料传送装置与单侧上下料半导体设备配合的俯视示意图；

图2为本申请实施例提供的物料传送装置的俯视示意图；

图3为本申请实施例提供的物料存放位组件与移动底座配合的立体示意图；

图4为本申请实施例提供的移动底座与花篮及物料存放位组件配合的立体示意图；

图5为本申请实施例提供的移动底座的立体示意图；

图6为本申请实施例提供的承载件与花篮配合的立体示意图；

图7为本申请实施例提供的物料移动机构的立体示意图；

图8为本申请实施例提供的第一牵引组件及第二牵引组件的立体示意图；

图9为本申请实施例提供的第一牵引组件及第二牵引组件与移动底座配合的局部示意图；

图10为本申请实施例提供的物料存放位组件的立体示意图；

图11为本申请实施例提供的物料取放位组件的立体示意图；

图12为本申请实施例提供的导轨组件的局部示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

本申请实施例提供了一种用于单侧上下料半导体设备100的物料传送装置，包括：一个或多个物料存放位组件1、一个或多个移动底座2、物料移动机构3、导轨组件4、一个或多个物料取放位组件5，其中，移动底座2用于承载物料200；物料存放位组件1设置在导轨组件4的一侧，用于承载移动底座2；物料移动机构3，设置在导轨组件4上，可沿导轨组件4移动，其包括一个或多个第一牵引组件36，第一牵引组件36用于将移动底座2从物料存放位组件1移动到物料移动机构3上，还用于将移动底座2从物料移动机构3移动回物料存放位组件1上；物料取放位组件5设置在导轨组件4的另一侧，用于承载移动底座2，其包括一个或多个第二牵引组件54，第二牵引组件54用于将移动底座2从物料移动机构3移动到物料取放位组件5上，还用于将移动底座2从物料取放位组件5移动回物料移动机构3上。

如图1及图2所示，单侧上下料半导体设备100则可以是晶圆清洗设备，该物料200例如可以是装有待清洗的晶圆的晶圆承载盒(也称为花篮)，但是本申请实施例并不以此为限。导轨组件4具体可以设置于单侧上下料半导体设备100左侧，即单侧上下料半导体设备100的上下料端101，并且导轨组件4的延伸方向可以与单侧上下料半导体设备100的机械手102的移动方向呈一夹角，该夹角例如可以是90度，但是本申请实施例并不以此为限。

如图2所示，导轨组件4的上侧可以设置有多个物料存放位组件1，多个物料存放位组件1可以沿导轨组件4的延伸方向并列设置，物料存放位组件1可以用于承载移动底座2，而移动底座2则用于承载物料。在实际应用时，可以由吊装装置或者操作人员将多个承载有物料的移动底座2放置于物料存放位组件1上，但是本申请实施例并不限定将移动底座2放置于物料存放位组件1上的具体方式。采用上述设计，由于设置多个物料存放位组件1，不仅便于晶圆的存放，而且可以降低操作人员或者吊装装置的操作频率，从而可以有效提高工作效率，并且还可以大幅节省人力及物力的成本，进而有效的提高了本申请实施例的经济效益。需要说明的是，本申请实施例并不限定多个物料存放位组件1的数量，其可以根据导轨组件4的长度对应进行设置。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

如图2所示，物料移动机构3可以设置于导轨组件4上，并且物料移动机构3可以包括并列设置的两个第一牵引组件36，两个第一牵引组件36可以与任意两相邻的物料存放位组件1对齐。其中一个第一牵引组件36可以从物料存放位组件1上将移动底座2移动至物料移动机构3上，该移动底座2上承载有待清洗的物料；而另一个第一牵引组件36则可以从物料移动机构3上将移动底座2移动至物料存放位组件1上，该移动底座2上可以承载有清洗完成后的物料。在一些情况下，两个第一牵引组件36也可以同时从物料存放位组件1上将移动底座2移动至物料移动机构3上，或者同时从物料移动机构3上将移动底座2移动至物料存放位组件1上。

如图2所示，物料取放位组件5设置在导轨组件4的另一侧，用于承载移动底座2。具体来说，物料取放位组件5可以设置于导轨组件4与上下料端101之间，机械手102可以直接由物料取放位组件5处取放移动底座2。物料取放位组件5可以设置于机械手102的正下方，以便于机械手102抓取或放置移动底座2。采用上述设置，可以减少在物料在清洗过程中机械手102的等待时间，从而可以有效提高应用本申请实施例的单侧上下料半导体设备100的工作效率。进一步的，物料取放位组件5上还可以包括一个第二牵引组件54，当物料移动机构3与物料取放位组件5对齐时，第二牵引组件54可以将移动底座2由物料移动机构3上移动至物料取放位组件5上；第二牵引组件54还可以将移动底座2移回至物料移动机构3上。可选地，第一牵引组件36也可以将移动底座2移回至物料移动机构3上，但是本申请实施例并不以为限。

需要说明的是，并非本申请的所有实施例中都必须包括有物料取放位组件5，在一些其它实施例，机械手102也可以直接与物料移动机构3配合实现移动底座2的抓取或者放置。另外本申请实施也并不限定物料取放位组件5上的第二牵引组件54上的数量，第二牵引组件54也可以是多个。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

本申请实施例通过将导轨组件设置于单侧上下料半导体设备的上下料端，然后在导轨组件的两侧设置物料存放位组件及物料取放位组件，并且在导轨组件上设置有物料移动机构，通过第一牵引组件36及第二牵引组件实现移动底座的移动，由此实现了物料在工艺过程中的自动上下料的操作，从而可以有效提高单侧上下料半导体设备的效率，大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间；并且由于导轨组件的一侧可以存放多个移动底座，因此可以有效降低操作人员的配备，从而不仅可以有效降低人工成本，而且还可以进一步提高工作效率。

于本申请的一实施例中，移动底座2包括：移动座21、承载件22，其中，移动座21的底部设置有滑轮23，移动底座2通过滑轮23移动；承载件22设置于移动座21的上部，与移动座21固定连接，用于承载物料。

如图3所示，多个移动底座2分别与多个物料存放位组件1配合设置，移动底座2的数量可以与物料存放位组件1的数量对应设置，移动底座2可以用于承载多个物料200，且多个移动底座2即可以将物料200分为多组以便于物料200的传送，可以有效降低操作频率，从而可以大幅提高工作效率。移动底座2与物料存放位组件1之间可以采用滑动方式配合，在实际应用时，移动底座2可以在物料存放位组件1、物料移动机构3及物料取放位组件5之间滑动，从而可以便于物料的在传送，另外采用滑动配合的方式可以使得传送更加稳定，进而提高本申请实施例的安全性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定移动底座2的具体结构及数量，只要其可以满足承载物料并且可以带动物料相对移动即可。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

如图4及图5所示，移动座21可以包括连接板211、定位板212及侧支撑板213。连接板211可以采用中空板状结构，两个定位板212分别设置于连接板211相对的两个侧边上，两个定位板212可以用于安装承载件22。两个侧支撑板213可以设置于连接板211的下部，侧支撑板213的位置可以与定位板212的对应设置。侧支撑板213上可以设置有多个滑轮23。采用上述设计，不仅可以使得本申请实施的结构简易于维护，而且还可以有效降低本申请实施例的应用及维护成本。进一步的，由于设置在设置了滑轮23，还可以使得本申请实施例的移动座21的运行更加稳定，从而可以有效降低本申请实施例的故障率。

承载件22具体来说可以采用不锈钢管弯折制成，其具体结构可以参考如图5所示的形状。承载件22可以通过压紧块26配合螺栓27的方式固定设置于移动座21上，但是本申请实施例并不以此为限，例如两者还可以通过焊接的方式固定连接。进一步的，承载件22的左右两侧弯折角度可以与花篮6下部斜面相贴合定位，以防止花篮6左右倾覆。采用上述设计，可以使得移动座21与花篮6之间的定位所占的空间更小，结构更加紧凑。另外采用上述设计，即可以有效防止移动底座2在移动时花篮6发生倾覆，还可以防止在移动过种中花篮6在移动底座2中的位置发生偏移，从而造成机械手102无法夹取花篮6的现象发生。

需要说明的是，本申请实施例并不限定承载件22的具体实施方式，例如承载件22也可以采用其它金属材质制成的其它形状，只要其满足承载并定位花篮6的功能即可。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

如图6所示，花篮6底部可开设有沿晶圆的径向延伸的定位卡槽61，并且定位卡槽61可以是四个，其可以与承载件22的位置对齐设置，在实际应用时，定位卡槽61可以与承载件22卡合定位，从而实现对花篮6沿物料200轴向定位于承载件22上，即实现了花篮6前后侧的定位。采用上述设计，可以有效防止移动底座2在移动时花篮6发生前后侧的倾覆，还可以防止在移动过种中花篮6在移动底座2中的位置发生偏移，从而造成机械手102无法夹取花篮6的现象发生，因此不仅提高了本申请实施例的安全性，而且可以使得本申请实施例稳定性较高，进而可以有效提高生产效率。

需要说明的是，本申请实施例对于定位卡槽61的具体实施方式并不限定，定位卡槽61的截面形状可以三角形或者矩形结构。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，物料移动机构3还包括：底座31、第一驱动部32、一个或多个第一滑轨33、一个或多个第一定位块34，其中，第一牵引组件36、第一驱动部32、第一滑轨33均设置在底座31上，底座31与导轨组件4滑动配合；第一驱动部32用于驱动底座31在导轨组件4上移动；第一滑轨33的延伸方向与导轨组件4的延伸方向相交，第一定位块34一一对应地设置于第一滑轨33的侧壁上，移动底座2上对应地设置有定位槽25，第一牵引组件36将移动底座2从物料存放位组件1移动到第一滑轨33上，第一定位块34及定位槽25配合以定位移动底座2。可选地，第一滑轨33的延伸方向与导轨组件4的延伸方向互相垂直。

如图7及图12所示，底座31具体可以采用板状结构，其底部设置有四个滑块35用于与导轨组件4配合滑动，但是本申请实施例对此并不进行限定。第一驱动部32具体可以采用电机，第一驱动部32可以设置于底座31的一端部位置。在实际应用时第一驱动部32可以设置有齿轮，导轨组件4上可以设置有齿槽43，齿轮可以与齿槽43配合以带动物料移动机构3相对于导轨组件4移动，第一驱动部32也可以采用其它驱动结构，本申请实施例并不以此为限。采用上述设计，可以使得本申请实施结构简单，且可以有效降本申请实施例的应用及维护成本。

第一滑轨33可以并列的设置有四个，每两个第一滑轨33可以对应一个物料存放工位组件及物料取放工位组件，并且第一滑轨33的延伸方向可以与机械手102的移动方向平行设置，即第一滑轨33的延伸方向与导轨组件4的延伸方向互相垂直。第一滑轨33采用上述设计可以便于移动底座2在物料存放位组件1、物料移动机构3及物料取放位组件5之间滑动。进一步的，每个第一滑轨33之间还可以设置有一个第一牵引机构。

多个第一滑轨33的一侧可以均设置有第一定位块34，或者每两个第一滑轨33的一侧设置有一个第一定位块34。移动底座2的一侧或者两侧设置有定位槽25，第一定位块34及定位槽25配合以选择性地将移动底座2定位于滑轨上。第一定位块34具体可以采用球头柱塞，而定位槽25可以是设置于移动座21的侧支撑板213上。进一步的，可以在侧支撑板213上设置有凸块，凸块的顶部可开设有定位槽25。第一定位块34与定位槽25配合，以实现移动底座2的定位，进而实现移动底座2的定位。采用上述设计，可以实现当需要移动底座2移动时，第一定位块34与定位槽25即可脱离，反之亦然。因此本申请实施例不仅结构简单合理，而且易于应用及维护。

需要说明的是，本申请实施例对于移动底座2与第一滑轨33之间的定位结构并不限定，例如第一定位块34和定位槽25的位置可以互换。另外本申请实施例并不限定第一滑轨33及第一定位块34的数量，其数量可以根据实际需求自行调整设置。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，第一牵引组件36和第二牵引组件54均包括：第二驱动部71、主动轮72、从动轮73、张紧轮74、传动件75、牵引销76，其中，第二驱动部71与主动轮72连接，用于驱动主动轮72转动；主动轮72和从动轮73间隔设置，传动件75连接主动轮72和从动轮73，主动轮72转动时，传动件75随之转动并带动从动轮73转动；张紧轮74设置在主动轮72和从动轮73之间，顶抵于传动件75上，用于调整传动件75的张紧度；牵引销76固定设置在传动件75上，移动底座2上设置有与牵引销76配合的牵引块28，通过传动件75的转动，牵引销76配合牵引块28，使移动底座2移动。

如图8及图9所示，主动轮72可以设置于第二驱动部71上，从动轮73与主动轮72间隔设置，并且两者之间可以设置有传动件75，传动件75上可以设置有在牵引销76。张紧轮74设置于主动轮72与从动轮73之间，并且其可以由传动件75的内侧选择性顶抵于传动件75。在实际应用时，主动轮72可以将第二驱动部71的旋转运动转化为传动件75的直线运动，从而可以通过牵引销76与移动底座2的挂钩配合，以实现移动底座2的移动。进一步的，第二驱动部71可以通过正反向转动从而实现带动移动底座2滑动，以实现在在物料存放位组件1、物料移动机构3及物料取放位组件5之间滑动。采用上述设计，可以有效降低本申请实施例的应用及维护成本，进而可以提高经济效益。进一步的，还使得本申请实施例自动化程度较高，进一步减少操作人员的配备，从而可以大幅降低人力成本。

张紧轮74可以设置于物料移动机构3及物料取放位组件5上，并且其与物料移动机构3及物料取放位组件5之间可以滑动定位，从而实现传动件75的张紧度调节。采用上述设计，由于设置了张紧轮74，可以使得传动件75张紧度始终保持在最合适状态，从而可以使得第一牵引组件36和第二牵引组件54可以对移动底座2实现更为精准的控制。于本申请的一实施例中，传动件75可以采链条或者皮带，本申请实施例对此并不进行限定，但是上述各传动部件均应当对应传动件75的类型对应调整设置。采用上述设计，可以使得本申请实施例的应用更加广泛，并且便于应用及维护。

需要说明的是，本申请实施例并不限定第二驱动部71的具体实施方式，例如第二驱动部71可以采用电机来实现。另外本申请实施例对于张紧轮74的位置并不进行限定，例如张紧轮74也可以设置于传动件75的外侧。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，物料存放位组件1包括：支撑框架11、第二滑轨12、第二定位块13，其中，第二滑轨12的延伸方向与第一滑轨33的延伸方向相同，物料移动机构3通过在导轨组件4上移动可选择性地使第一滑轨33与第二滑轨12对齐；第二定位块13设置于第二滑轨12的侧壁上，与移动底座2上的定位槽25的位置对应，第一牵引组件36将移动底座2从第一滑轨33移动到第二滑轨12上，第二定位块13与定位槽25配合以定位移动底座2。

如图10所示，支撑框架11具体可以包括一个底板111及两个侧板112，两个侧板112设置于底板111的两侧边上，两个第二滑轨12分别设置于两个侧板112上。第二滑轨12的延伸方向可以与机械手102的移动方向平行设置，第二滑轨12的延伸方向可以与第一滑轨33的延伸方向相同。两个第二滑轨12可以均设置有第二定位块13，或者仅在某一个第二滑轨12的侧壁设置有第二定位块13。可选地，第二定位块13还可以设置于支撑框架11的侧壁上，但是本申请实施例并不以为限。第二定位块13的具体实施方式及与定位槽25的配合方式均可以参照第一定位块34，于此不再赘述。采用该设计，可以使得本申请实施例结构简单，便于使用及维护，同时还可以有效降低应用及维护成本。

需要说明的是，本申请实施例并不限定支撑框架11的具体实施方式，例如支撑框架11也可以采用一体式结构。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，物料取放位组件5包括支撑架51、第三滑轨52、第三定位块53，其中，第三滑轨52的延伸方向与第一滑轨33的延伸方向相同，物料移动机构3通过在导轨组件4上移动可选择性地使第一滑轨33与第三滑轨52对齐；第三定位块53设置于第三滑轨52的侧壁上，与移动底座2上的定位槽25的位置对应，第二牵引组件54将移动底座2从第一滑轨33到第三滑轨52上，第三定位块53与定位槽25配合以定位于移动底座2。

如图11所示，支撑架51具体可以包括第一横板511第二横板512及两个竖板513。第一横板511的两个侧边分别设置有竖板513，两个竖板513之间设置有第二横板512，第二横板512上可以设置有第二牵引组件54。两个第三滑轨52分别设置于两个竖板513上。第二滑轨12的延伸方向可以与机械手102的移动方向平行设置，且第三滑轨52的延伸方向可以与第一滑轨33及第二滑轨12的延伸方向相同。两个第三滑轨52的可以均设置有第三定位块53，或者仅在某一个第三滑轨52的侧壁设置有第三定位块53。可选地，第三定位块53还可以设置于第一横板511上，但是本申请实施例并不以为限。第三定位块53的具体实施方式及与定位槽25的配合方式均可以参照第一定位块34及第二定位块13，于此不再赘述。采用该设计，可以使得本申请实施例结构简单，便于使用及维护，同时还可以有效降低应用及维护成本。

需要说明的是，本申请实施例并不限定支撑框架11的具体实施方式，例如支撑框架11也可以采用一体式结构。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图12所示，导轨组件4包括支座41、导轨42及齿槽43，其中，导轨42和齿槽43均设置在支座41上；导轨42上设置有滑动块，底座31与滑动块固定连接；第一驱动部32包括与齿槽43配合的齿轮，第一驱动部32驱动齿轮转动，通过齿槽43与齿轮的配合带动底座31在导轨42上移动。两个导轨42可以并列设置于支座41上，齿槽43可以位于两个导轨42的内侧，并且设置于支座41上。采用上述设计，可以使得本申请实施结构简单，且可以有效降本申请实施例的应用及维护成本。

于本申请的一实施例中，如图5所示，移动座21的底部还设置有导向轮24，导向轮24与第一滑轨33、第二滑轨12或第三滑轨52配合，用于在移动底座2移动时限制其移动的方向。导向轮24具体可以安装于两个侧支撑板213上，侧支撑板213的前后两端可以设置有两个导向轮24，两个导向轮24的轴向均可以是竖向设置，导向轮24可以与第一滑轨33、第二滑轨12及第三滑轨52的内侧配合，用于当移动座21在物料存放位组件1、物料移动机构3及物料取放位组件5之间移动时，可以对移动座21进行导向，从而使得移动座21的移动更加稳定。

需要说明的是，本申请实施例并不限定导向轮24的具体实施方式，只要其可以实现对移动座21的移动方向进行限定即可。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

第二个方面，本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备，包括如第一个方面提供的物料传送装置。

应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：

本申请实施例通过将导轨组件设置于单侧上下料半导体设备的上下料端，然后在导轨组件的两侧设置物料存放位组件及物料取放位组件，并且在导轨组件上设置有物料移动机构，通过第一牵引组件及第二牵引组件实现移动底座的移动，由此实现了物料在工艺过程中的自动上下料的操作，从而可以有效提高单侧上下料半导体设备的效率，大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间；并且由于导轨组件的一侧可以存放多个移动底座，因此可以有效降低操作人员的配备，从而不仅可以有效降低人工成本，而且还可以进一步提高工作效率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。